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7.2.3其他特种加工技术简介3认识平面四杆机构的类型及其判别条件离子束加工的加工原理、工艺特点、应用7.2.3.5铰链四杆机构的性质铰链四杆机构的性质复合加工的简介铰链四杆机构的性质7.2.3.6学习目标1.了解离子束加工的原理与特点;2.了解一些常见的复合加工。7.2.3.5离子束加工

离子束加工原理与电子束加工类似,也是在真空条件下,把氩(Ar)、氪(Kr)、疝(Xr)等惰性气体,通过离子源产生离子束并经过加速、集束、聚焦后,投射到工件表面的加工部位,以实现去除加工。

离子束加工有如下特点:

①离子束加工是目前特种加工中最精密、最微细的加工。离子刻蚀可达纳米级精度,离子镀膜可控制在亚微米级精度,离子注入的深度和浓度亦可精确地控制

②离子束加工在高真空中进行,污染少,特别适宜于对易氧化的金属、合金和半导体材料进行加工。

③离子束加工是靠离子轰击材料表面的原子来实现的,是一种微观作用,所以加工应力和变形极小,适宜于对各种材料和低刚度零件进行加工。

在目前的工业生产中,离子束加工主要应用于刻蚀加工(如加工空气轴承的沟槽、加工极薄材料等)、镀膜加工(如在金属或非金属材料上镀制金属或非金属材料)、注入切工(如某些特殊的半导体器件)等。

7.2.3.5离子束加工(1)复合切削加工7.2.3.6复合加工复合切削加工是将某些特种加工和普通切削加工整合在一起而产生的一种新的加工工艺方法。振动切削复合加工主要用于振动车削、振动刨削、振动铣削、振动拉削、振动攻丝,振动饺孔、振动钻孔、振动磨削及超精加工中。

7.2.3.6复合加工

(2)化学机械复合加工。化学机械复合加工指化学加工和机械加工的复合。所谓化学加工是利用酸、碱和盐等化学溶液对余属或某些非金属工件表面产生化学反应,腐蚀溶解而改变工件尺寸和形状的加工方法。

7.2.3.6复合加工(3)磁场辅助研抛加工。磁场辅助研抛加工通过在磁场作用下形成的磁流体使悬浮其中的非磁性磨粒能在磁流体的流功力和浮力作用下压向旋转的工件进行研磨和抛光,从而能提高精整加工的质量和效率。常用的磁场辅助的精整加工有磁性浮动抛光和磁性磨料精整加工。

7.2.3.6复合加工

(4)激光辅助车削。激光辅助车削(LAT)应用激光将金属工件局部加热,以改善其车削加工性,

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