8英寸铌酸锂晶体和钽酸锂晶体及晶圆片的产业化生产线改扩建项目环评资料环境影响

建设项目名称8英寸铌酸锂晶体和钽酸锂晶体及晶圆片的产业化生产线改扩建项目项目代码汪家富建设地点山东省济南市高新区临空经济区航天大道3599号楼国民经济行业类别C3985电子专用建设项目行业类别专用材料制造(电子化工材料制造除外)建设性质口新建技术改造建设项目申报情形☑首次申报项目不予批准后再次申报项目口超五年重新审核项目□重大变动重新报批项目备案)部门(选填)/备案)文号(选填)/总投资(万元)环保投资(万元)环保投资占比(%)2施工工期3个月是否开工建设用地(用海)面积(m²)无文件名称：济南国际标准地招商产业园临空片区(智规划(2022-2035)规划环境影响文件名称：《济南国际标准地招商产业园临空片区(智规划环境影响报告书》;审查文件名称及文号：《济南市生态环境局关于<济南国际标准地招商产业园临空片区(智能制造产业集聚区)总体规划环境影响报告书>的审查意见》(济环建管函[2023]G7号)。规划及规划环境影响评价符合性分析墙片区2.06km²)。号楼，位于济南国际标准地招商产业园临空片区(智能制造产业集本规划的时间期限为2022-2035年，规划基准年2022年，近期为2023-2025年，远期为2026-2035年。目前处于济南国际标准地招商产业园临空片区(智能制造产业集聚区)规划近期。改扩建项目为电子材料制造业，属于集聚区主导产业，符合集聚区产业定位要求。片区功能布局，塑造城市标志性景观，建设宜业、宜居、宜游②总体空间布局业邻里中心。审查意见要求改扩建项目情况性准地招商产业园临(智能制造产业集聚区)总体规划》(以下简概述)区(智能制造产业集聚区)规划范围为北至小马庄村，面积约12.65km²。改扩建项目位于规划范围内。(二)规划期限。本规划的时间期限为2022-2035规划基准年为2022年，近期为2023-2025年，远期为2026-2035年。改扩建项目建设时限为2024设项目。(三)产业定位。智能制造产业集聚区以电子信息、智能制造、生物医药、现代物流为主导产业，打造研发中心和制造中心“双中心模式”。改扩建项目属于园区主导产(四)基础设施规划来自东湖水库的引黄水和南水北调水。临空水厂以东湖水库为水源为园区及周边供水，供水能力为9.5万m³/d,可满足产业集聚区用水需求。收集后排入临空综合污水处理厂(总设计处理万m³/d,其中电子工业废水4.0万m³/d,市政综合污水5.5万m³/d)),经处理达到标准后，排入引清河，最终汇入小清河。雨水就近排入附近河道。由企业自备燃气锅炉提供。1,改扩建项目用水来自园区集2.改扩建项目采取雨污分流。污水进入济南市临空经济区区综合污水处理厂进一步处理：3.园区内无集中供热源，改扩建项目生产采用电加热：五、规划环评与项目环评联动建议据。内容可以适当简化。根据上表可知，改扩建项目建设符合规划环评审根据《山东省环境保护厅关于调整济南市部分饮用水水源保护区范围的复函》(鲁环函(2018)338号，智能制造产业集聚区南部区域约30米范围位于胶东输水干线济南至引黄济青段饮用水水源保护区准保护区内，面积约8.9hm²,上述区域列为限制开发区域。该区域应严格按照《中华人民共和国水污染防治法》的相关规定执行，该区域内禁严重的建设项目：改建建设项目，不得增加排污量。产业集聚区与《章丘区高官寨镇总体规划》(2016-2030)不相符地划定成果报批建设项目用地有关事宜，故本次不将上述地块应严格执行法定上位规划，待起步区国土空间规划发布实施后，除划定的8.9hm²限制开发区区域外，其他区域均划为适宜开发区区域。根据智能制造产业聚集区生态空间管制图(附图5),改扩建项目为国民经济行业类别控制级别C25石油、×××▲1、主要产品为电池类或半导体类产业产▲1、主要产品为电池类或半导体类产业产×××品制造×C2651初级形态塑料及合成树脂▲▲▲▲×××××▲C2740中成药生产▲▲▲x业×▲目进入：▲业x金属冶炼和×▲×▲▲C33金属×▲园区主导行业配套项目准许进入××C336金属表面处理及热处理加工▲×××C34通用★★★★★★★C3453齿轮及齿轮减、变速箱制造★★★★业★C35专用C3515建筑材料生产专用机械制造造★★★★★★★★★★★★★C37铁路、★C38电气★★★★★造★★★★★★★造★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★业★★★★★★★★★★★★G5442货运枢纽(站)★★G5449其他道路运输辅助活动★★★★★×★★★★★G6010邮政基础服务G5930低温仓储G5951谷物仓储G5952棉花仓储×★★★★★G6010邮政基础服务G5930低温仓储G5951谷物仓储G5952棉花仓储G6020快递服务G6030其他寄递服务★★★★★改扩建项目为C3985电子材料制造业，属于聚集区其他符合性分析改扩建项目为铌酸锂/钽酸锂晶体制造，根据国家发展和电元件、高分子固体电容器、超级电容器、无源集成元件、高密度互连多层挠性板、刚挠印刷电路板及封装载板、高密度高细线路(线宽/线距≤0.05mm)柔性电路板、合国家产业政策。保护红线和基本农田，用地符合济南市“三区根据《济南国际标准地招商产业园临空片区(智能制造产业集聚区)总体规划(2022-2035根据济南市自然资源和规划局签发的不动产权证书，改扩建项目厂房占地属于工业标准厂房用地，详见附件5。根据《关于以改善环境质量为核心加强环境影响评价管理的通知》(环环评[2016]150号)环境污染和生态破坏的作用。(1)生态保护红线保护红线(即胶东输水干线济南至引黄济青段饮用水水源保护区),与改扩建项目最近距离约改扩建项目与济南市“三区三线”划定成果位置关系示意图见附图(2)环境质量底线年，全市PM₂s年均浓度达到35μg/m³。到2025改扩建项目所在区域环境质量底线见表1-3。环境质量底线1大气环境质氧化碳浓度达标2根据《2023年济南市环境质量简报》,小清河(济南段水质类别为Ⅱ类：辛丰庄达到地表水V类标准，水质类别为Ⅲ类。3目标间平均等效声级为53.8分贝，达到《声环境质量标准》(GB3096-2414848-2017)Ⅲ类标准。及环境质量底线。(3)资源利用上线改扩建项目资源消耗量相对区域资源利用总量较少，符改扩建项目位于山东省济南市高新区临空经济区航天大道3599号中欧制造国际企业港B2号楼，根据《济南市人民政府关于实施“三线一单”生态环境分区管控的意见》(济政字[2021]45号)、济南市生态环境委员会办公室关于印发《济南市各区县生态环境准入清单(修订版)》的通知(2024.5.23)可知，改扩建项目位于高官寨街道一般管控单元(ZH37011430004)范围内，改扩建项目与济南市生态环境准入清单(总体要求)符合性分析见表1-4,与高官寨街道一般管控单元生态环境准入清单符合性分析见表1-5,济南市生态环境管控单元图见附图5。表1-4改扩建项目与济南市生态环境准入清单(总体要求)符合性分析表别改扩建项目情况空间布加强生态保护红线管控。按照《关于在国土空间规划中统筹划护地核心保护区原则上禁止人为活动，其他区域严格禁止开发性、项目外，仅允许对生态功能不造成破坏的有限人为活动。优先保护基本农田。对永久基本农田实行严环境质量的保护。合理布局工业企业项目。按照《山东省环境保护条例》要新建有污染物排放的工业项目(除在安全生产等方面有特殊要求的以外),应当进入工业园区或者工业聚集区。新建、搬迁涉重金属项目原则上应在现有合法设立的涉重金属园区或其他涉重金属产改扩建项目用地位于城镇开不涉及生态保护红线和基本目位于济南国际标准地招商产业园临空片区(智能制造产业集聚区)范围版为准)规定的限制类、淘汰类项目产业政策条目要求，关停淘汰协同减污降碳。改扩建项目为鼓励类，符合国控推进依法治污。严格执行《中华人民共和国环境保护法》《中华人民共和国大气污染防治法》《中华人民共和国水污染防治法》规以及国家、地方环境质量标准和污染物排放标准。改扩建项目依物排放总量指标审核及管理暂行办法》《山东污染物排放总量替代指标核算及管理办法》。污染物排放总量。险防控品或其他存在环境风险的企业事业单位采取风险防范措施，并根据《企业事业单位突发环境事件应急预案备案管理办法(试行)》的要求编制环境风险应急预案，定期开展应急演染事故。工企业混建：指导化工园区(集中区)内企业在满足相邻企业安全距离的同时，应综合考虑区域内企业总体布局和制，降低区域风险。切实做好化工园区(集中区)污水处理和危险废物处置。建立环境安全防控体系，安装环境在线监测监控系统。《工矿用地土壤环境管理办法(试行)》要求：加强对有色金属冶炼、石油开采、石油加工、化工、医药、电镀、制革等行业以及加畜禽养殖场等区域的监管。改扩建项目不属于化工行业，急预案制度，按风险应急预案。资源利增加。实施高污染燃料禁燃区控制，高污染燃料禁燃区内禁止现场销售、燃用高污染燃料，不得新建、改建、扩建燃用高污染燃料的积极创建节水典范城市。加强用水总量和用水强度控制，大力提升再生水利用水平。全面实施深度节水控水行动，降低供水管网漏损率，推广节水技术应用，提升城乡供用水系统智能化水平。抓好新旧动能转换起步区水资源节约集约利用，打造全国节水典范城 (济政发(2021)1号)要求，严格控制地下水开采，全面实行地改扩建项目不污染能源，项目约用水，且项目用水全部为自下水。环境管控单元编码行政区划积(km²)乡镇道)改扩建项目情况符合性省市县高官寨街道一般管控单元山东省济南市章丘区管控高官道管理纬度管控要求空间布局约束1、在不违背法律法规和规章的前提下，生态区域内按照《自然资源部生态环境部国家林业和草原发(2022)142号)、《山东省自然资源厅山东省共和国水污染防治法》:(1)在饮用水水源保护区内，根据济南市“三区三线”划定成果，改扩建项目用围内，不涉及生态保护红线，不涉及基本农田。改扩建项目距离最近的胶东输水干线济南至引黄济青段饮用水水源保护区约3.8km,不涉及东湖水库饮用水水源保护符合防止污染饮用水水体。(4)禁止在饮用水水源准保护区内新建、扩建对水体污染严重的建设项目：改建建设项目，不得增加排污量。处理厂(站)和工业企业水污染物排放标准按照《流域水污染物综合排放标准第3部分：小清河流域》(DB37/3416.3-2018)规定的污染物浓度限值和济南市人民政府发布的相关文件中加严标准执行。(GB39731-2020)表1间接排放限值、表2压电晶体材料单位产品基准排放量标准及济南临空经济开发区综合污水处理厂进水水质要求后排入济南临空经济开发区综合污水处理厂市政污水处理车间处理后排入小符合4、禁止在水源保护区范围内建设工业固废集中贮存、内的重污染行业企业。管线所属企业在设计阶段应尽量5、加强垃圾源头减量，全面推进垃圾分类，建立科学治理。壤环境管理办法(试行)》要求，加强对工业固体废物到合理处理。符合资源开发效率要求燃区划定文件的管控要求。8、执行全市资源利用效率总体要求。根据《济南市生态环境局(济环发[2022]34号),高污染燃料使用。改扩建项目符合济南市符合综上，改扩建项目符合济南市“三线一单”及济南市生态环境准改扩建项目情况改扩建项目产生的废气、废水、噪声改扩建项目为电子专用材料制造行业，不属于上述禁止建设项目。改扩建项目正依法开展环境影响评价。第四十四条：县级以上人民政府应当根据产业结构调整和产业布局优化的要求，引导工业企业入驻工业园区：新建有污染物排放的工业项目，除在安全生产等方面有特殊要求的以外，应当进入工业园区或者工业集聚改扩建项目厂址位于济南国际标准地集聚区)。恶臭气体、放射性物质以及噪声、振动、光辐射、电磁辐和重点污染物排放总量控制指标。改扩建项目废气、废水和噪声达标排放，固体废物均能合理处置。改扩建项目情况一落后聚焦钢铁、地炼、焦化、煤电、水泥、轮胎、煤炭、化工8个重点行备和落后产品全部淘汰出清。各市聚焦“高耗能、高污染、高排放、高风险”等行业，分类组织实施转移、压减、整合、关停任务。””改扩建项目为电行业，不属于以项目。备注：其他与项目不相关的条数未罗列在本表格改扩建项目情况求，禁止采用国家公布的淘汰工艺和落后设备，不得引进耗能高、污染大、生产粗放、不符合国家产业政策的项目。改扩建项目为鼓励类，符合当前国家产业政策。业进入产业园区或工业集聚区，并鼓励租赁标准厂房。按照“布局集中、用地集约、产业集聚、空间优化”的原则发展规划，明确主导产业、布局和产业发展方向，引导企业规范化、规模化、集约化发展。改扩建项目位于济南国际标准地招商产业园临空片区(智能制造产业集聚区),用地符三、科学把好项目选址关。新建有污染物排放聚区。各市要本着节约利用土地的原则，充分考虑项目周边环境、资金投入、推进速度等关键要素，合理选址，科学布局，切实做到符合用地政策，确保规划建设的项目有利于长远发改扩建项目位于济南国际标准地招商产业园临空片区(智能制造产业集聚区),用地属于工业用地，选址合理。四、严把项目环评审批关。新上项目必须严格执行环评审批“三挂求。改扩建项目不在禁止、限制开发的区域内，建设符合所在区域的“三线一单“控制要求。备注：其他与项目不相关的条数未罗列在本表格改扩建项目情况本市中心城区内，禁止新建、扩建水泥厂、粉磨站和混凝土搅拌大气污染防治要求的，由环境保护主管部门责令限期治理：完成治理的，报请同级人民政府责令搬迁或者拆除。本市中心城区内及主要交通干线两侧二公里内，不得新建石灰窑、石子厂、砖瓦厂。已建成的，由所在地县(市、区)人民政府责令限期关停。改扩建项目不属于的项目类型。在本市行政区域内禁止新建、扩建钢铁、石化等高污染项目。列入目录中淘汰类的钢铁、炼油、制革、染料、电镀、农药以及生产石棉制品、防水卷材塑料加工等生产企业或者相关设备，由所在地县(市、区者逐步淘汰：对限制类项目的新建、扩建不再予以审批。项目的通知》(发改办产业(2021)635号)符合性分析改扩建项目情况园区全、环保、用地、取水等规定或手续不齐全的园令其限期进行整改。在相关园区整改到位前，目(以GB/T4754-2017的制造业口径为准，下同)。工业园区的梳理规范于2021年10月底前全面完成，并对改扩建项目位于园区规划手续齐全。工业项目重点地区拟建的工业项目，一律按要求进入合规工业园区。改扩建项目位于片区(智能制造产业集聚区)范围内，符合国家产业有关要求。高污染、高耗水、高耗能项目各有关地区对现有已备案但尚未开工的拟建项目(对高污染、高耗水、高耗能项目的界利部、国家发展改革委相关规定执行)要一律重新进行评估，确有必要建设且符合相关行业要求的方可继续推进。清理规范工作于2021年12月底前全部完成。“十四五”时期沿黄重耗水、高耗能项目，一律按本通知要求执行。改扩建项目不属达标后排放。号)符合性分析表1-11与鲁发改工业[2023]389号符合性分析改扩建项目情况改扩建项目不属于上述三类技术改造项目，位于济南国际标准地招商产业园临空片区(智能制造产业集聚区),根据省发改委、省科技厅等八部门《关于公布沿黄号，附件10),济南国际标准地招商产业园临空片区(智能制造产业集聚区)属改扩建项目不属于“两高“项目。符合改扩建项目情况改扩建项目不属于高结构调整指导目录(2024年本)》、济南国际标准地招商产业改扩建项目不属于“两高“项目。符合改扩建项目情况改扩建项目不属于高结构调整指导目录(2024年本)》、济南国际标准地招商产业改扩建项目符合《产业结构调整指导目录指导目录》,研究将污染物或温室气体排放明显高出行业/改扩建项目不使用(七)优化含VOCs原辅材料和产品结构。严格控制生产项目，提高低(无)VOCs含量产品比重。实施源头替代工程，加大工业涂装、包装印刷和电子行业低(无)VOCs标志推广使用低(无)VOCs含量涂料。在生产、销售、进口、使用等环节严格执行VOCs含量限值标准。六、强化多(二十一)强化VOCs全流程、全环节综合治理。鼓励储浓度有机废气要单独收集处理：含VOCs有机废水储罐、的VOCs废气。企业不得将火炬燃烧装置作为日常大气污改扩建项目不产生VOCs废气。改扩建项目情况二、产业结构绿色升级行动(7)与《空气质量持续改善行动计划》(国发[2023|24号)符合性分析表1-12与国发[2023]24号符合性分析二、优化产进产业产品绿色升级的符合性分析改扩建项目为电子(一)严格环(一)严格环境分区管控方案、规划环评、项目环评、规划水土保持审目，不属于高耗能、查、节能审查、产能置换、重点污染物总量控制、污染物高排放、低水平项排放区域削减、碳排放达峰目标等相关要求，原则上采用量调控目标。推行钢铁、焦化、烧结一体化布局，有序引导高炉一转炉长流程炼钢转型为电炉短流程炼钢，到目(二)优化调构。重点区域进一步提高落后产能能耗、环保、质量、安全、铁、高碳铬铁、高碳锰铁电炉。引导钢铁、水泥、焦化、电解铝等产业有序调整优化。到2025年，2500吨/日水泥熟料生产线(特种水泥熟料和化工配套水泥熟料生产线除外)全部整合退出。2024年年底前，济宁、滨州、菏泽3市完成焦化退出装置关停：2025年6月底前，济南、停，全省焦化装置产能压减至3300万吨左改扩建项目为电子目，不属于涉气项目，不属于水泥熟料生产项目(三)开展传因地制宜建设集中供热中心、集中喷涂中心、有机溶剂集改扩建项目为电子日，不属于涉气产业。(四)优化含构。严格控制生产和使用高VOCs含量涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等建设项目，提高低(无)vOCs含量产品比重。低(无)VOCs含量原辅材料替代力度。指导企业积极申报VOCs末端治理豁免。改扩建项目不涉及VOCs排放。(一)加快推型。重提高到14%以上，电能占终端能源消费比重达30%以上，新能源和可再生能源发电装机达到1.2亿千瓦以改扩建项目生产使(二)严格合费总量。项目，依法实行煤炭等量或减量替代，替代方案不完善的高污染燃料作为煤炭减量替代措施。完善煤炭消费减量替网消纳的煤电项目及其用煤量应予以合理保障再新增自备燃煤机组，支持自备燃煤机组实施清洁能源替能源。改扩建项目主要能煤项目。(三)积极开停整合。各市要将燃煤供热锅炉替代项目纳入城镇供热规划。县级的燃煤锅炉，重点区域原则上不再新建燃煤锅炉。重点区域基本完成茶水炉、经营性炉灶、储粮烘干设备、农产品热电联产电厂30公里供热半径范围内的燃煤锅炉和落后燃煤小热电机组(含自备电厂)进行关停或整合。改扩建项目主要能煤项目。因地制宜成片推进清洁取暖，加大散煤替代力度，重点区域平原地区散煤基本清零，逐步推进山区散煤清洁能源替改扩建项目主要能煤质量监管。煤项目。备注：其他与项目不相关的条数未罗列在本表格改扩建项目情况是否属于不予第十一条：建设项目有下列情形之一的，环境保护行政主管部门应当对环境影响报告书1符合环境保护法律法规的相关法定规划不属于2境质量标准，且建设项目拟采取的措施不能满足区域环境质量改善目标管理要求市关于深入打好污染防治攻坚战的实施度控制在40微克/立方米。改扩建项目废气主要为坩埚清洗产生的不属于3染物排放达到国家和地方排放标准，或者项目采取措施后，废气、废水、噪声均能达标排放不属于4改建、扩建和技术改造项目，未针对项目原有环境污染和生态破坏提出有效防治措施现有项目环评、验收、排污许可证等相不属于5告表的基础资料数据明显不实，内容存在不明确、不合理本次环评严格按照《建设项目环境影响制，基础资料详实、内容不存在缺陷和不属于改扩建项目情况1街道、王舍人街道、港沟街道、宝山街道、彩石镇、孙村街道、临港街道：章丘市双山街道、高官寨镇、黄河镇、龙山街道：济阳县济阳街道、垛石镇、回河镇、崔寨镇等区域。改扩建项目距离机场护区范围2在以机场基准点为圆心半径55公里范围内，新米且高出机场标高150米的建筑物或设施，市规划部门审批时应当要求其产权所有者按照国家规定设置障碍灯警示标识，并使其保持正常状态。改扩建项目所在楼层警示标识改扩建项目区域。改扩建项目锂等含金属原辅料和产点重金属污否情况评估细则(试行)》(环[2019]38号)重点重金属污染物排放量为重点行业企业废水与废气中铅、镉、汞、砷、铬五种重金属污染物许可排放量之和。否染防控的意[2022]17号)重点行业。包括重有色金属矿采选业(铜、铅锌、镍钴、锡、锑和汞矿采选),重有色金属冶炼业(铜、铅锌、镍钴、锡、锑和汞冶炼),铅蓄电池制造业，电镀行业制品制造业(电石法(聚)氯乙烯制造、铬盐制造、以工业固行业。改扩建项目不属于重点的重金属污否量控制。重点行业是重有色金属矿采选业(铜、铅锌、镍钴、锡、锑和汞矿采选),重有色金属冶炼业(铜、铅锌、镍钴、锡、锑和汞冶炼),铅蓄电池制造业，电镀业固体废物为原料的锌无机化合物工业),皮革鞣制加工业等6个行业。否综上，改扩建项目不属于《建设项目环境保护管理条例》(2017年修订)中不予批准的情战行动计划(2021-2025年)》、《关于严格项目审批工作坚决防止新上“散乱污”项目的通知》 (鲁环字(2021)58号)、《济南市大气污染防治条例》、《关于“十四五”推进沿黄重点地区工业项目入园及严控高污染、高耗水、高耗能项目的通知》(发改办产业(2021)635号)、《关于持续推荐沿黄重点地区工业项目入园有关事项的通知》方案》(鲁政字[2024]102号)、《建设项目环境保护管场净空保护管理规定》净空保护区等相关政策的要求。建设内容天大道3599号中欧制造国际企业港B2号楼101室，主要从事电力行业高效节能技术研发预研项目”,项目于2022年7月6日取得济南市生态环境局出具的批复，文件号为济环报告表晶薄膜专用晶体10000片、铌酸锂电光调制器专用晶体2000片)和电光开关专用铌酸锂晶体10根。”现有项目分两期进行了自主验收，验收日期分别为2022年9月30日、2024年2月1日：验收时产能为年产铌酸锂单晶薄膜专用铌酸锂晶体10000片(其中包括铌酸锂单晶薄膜专用晶体8000片、铌酸锂电光调制器专用晶体2000片)和电光开关专用铌酸锂晶体10根，实际最大产能可达年产铌酸锂单晶薄膜专用铌酸锂晶体12000片(其中包括铌酸锂单晶薄膜专用晶体10000片、铌酸锂电光调制器专用晶体2000片)和电光开关专用铌酸锂晶体10根：同时已于2022年9月19日取得固定污染源排污登记回执。层(利用现有2层厂房，并新租赁1层空厂房):新增钽酸锂产品，现有铌酸锂产品扩大产能：单晶薄膜专用晶体和晶圆片由10000片增至45000片、电光调制器专用晶体和晶圆片由2000片增至10000片、电光开关专用晶体和晶圆片由10根增至100根。钽酸锂单晶薄膜专用晶体和晶圆片新增5000片、电光调制器专用晶体和晶圆片新增5000片、电光开关专用晶体和晶圆片新增100根。表编制技术指南(污染影响类)(试行)》的要求编制了建设项目环境影响评价报告表，对项目环保主管部门审批和作为环境保护污染防治设施建设的依据。中心地理坐标为：东经117度14分11.222秒，北纬36度53分7.524秒。改扩建项目地理位置总投资：5000万元，其中环保投资100万元，约占总投资的2%。建设规模：改扩建项目总占地面积约1400平方米，共占用3层厂房(其中2层现有，1层序号1产品铌酸锂单晶薄膜专用晶体和晶圆片由10000片增至45000片铌酸锂电光调制器专用晶体和晶圆片由2000新增新增钽酸锂单晶薄膜专用晶体和晶圆片5000片新增钽酸锂电光调制器专用晶体和晶圆片5000片2物1~2层车间为现有车间，产权归济南恒元光电科技有限公司所新增3层为新租赁车间3施晶体提拉炉、高温炉、极化炉、干燥箱、压块机、混料机、磨抛机、台秤、电子天平等设备数量增加新增新增晶圆刷洗机、空压机、单线切割设备、平磨滚圆设备、多新增颗粒度检测仪、平坦度检测仪、居里温度检测仪、粗糙度功能改变型材切割机功能由切割晶体变为设备检修4主要原坩埚清洗：新增氢氧化钾，碱洗除用氢氧化钠以外，部分坩埚晶圆刷洗：新增晶圆刷洗工序，因此，新增氢氟酸、硫酸、双氧水等晶圆刷洗用化学品设备维护：新增润滑油有少量坩埚需要用盐酸清洗，因此，盐酸用量减少5用水新增6工作制度劳动定员工作制坩埚配酸、行时间由年运行600h减少至300h晶圆刷洗有效时间7工艺流程铌酸锂工艺变动增加设备：新增机、减薄机、抛光机等设备，对晶体进行精细加晶圆刷洗：新增工序钽酸锂工艺新增酸锂工艺设备，产排污无法与铌酸锂工艺进行分割辅助工艺变动坩埚清洗：酸洗、水洗工艺盐酸用量减少、工作时间减少新增超纯水制备：新增设备维护：新增8施废气变动不再产生粉尘盐酸配置、酸洗废气(HCl)利用现有1#SDG吸附装置+DA001排气筒，排气筒风量(由2500m³/h增至8000m³/h)及高度(由20m增至25m)增加新增酸雾)新设2#SDG吸附装置+DA002排气筒纯水机制备浓水、生活污水量增大新增废水、超纯水机制备浓水；固废变动一般工业固废：透膜滤芯增大；碱洗废液、废SDG增大：酸洗废液、碱洗后水洗废液、酸洗后水洗废液减少；新增新增机械加工边角料、废水沉淀物、超纯水制备废离新增超纯水制备废UV灯管新增厂区1层危废间旁设置应急事故桶1个，容积为15m³和晶圆片由2000片增至10000片、电光开关专用晶体和晶圆片由10根增至100根。名称型号现有项目新增建成后全厂1晶体和晶圆片单晶薄膜专用10000片35000片45000片2电光调制器专用2000片8000片10000片3电光开关专用10根100根1晶体和晶圆片单晶薄膜专用/5000片5000片2电光调制器专用/5000片5000片3电光开关专用/100根100根 铌酸锂晶体、钽酸锂晶体是一种优良的多功能材料，具有良好的压电、电光和热释电等性改扩建项目占地面积约1400m²,所在厂房为4层建筑物，改扩建项目共占用1~3层生产厂房(其中1~2层为现有厂房，产权归济南恒元光电科技有限公司所有，房产证见附件5(1):第3层为新租赁空厂房，厂房所在厂区房产证及改扩建项目1~3层建筑面积(不包括公摊面积)分别为1148.59m²、1259.14m²、1259.14m²,加上部分公共区域，改扩建项目总占地面积约为1400m²。改扩建项目组成主要为主体工程、辅助工程、公用工程、环保工程、储运工程等，具体情况见表2-3。类别主要建设内容备注生产车间1~3层，占地面积约1400m²,建筑面积约1层：建筑面积约1148.59m²,设晶体生长间、配料、压块间内设备挪至3层：新设单线切割间、多线切割间、超纯水站、化学品晶体生长间等利用现有，并2层：建筑面积约1259.14m²,设办公区、接待与现有一致。3层：建筑面积约1259.14m²,设高温炉间、退仓库、辅助用房等。新租赁厂房：各操作间全部为新设：由现有1层搬至3层，并新增部分设备。原料仓库位于2层，建筑面积约20m²,用于存放氧化钽、氧化铌、碳酸锂等原材料。成品仓库位于2层，建筑面积约100m²,用于存放成品。化学品仓库位于1层，建筑面积约15m²,用于存放硫酸、盐酸、双氧水、氢氟酸等化学品半成品仓库位于3层，建筑面积约30m²,用于存放极化后的中间产物(钽酸锂、铌酸锂单晶)危废间位于1层，建筑面积约12.5m²,用于暂存危险一般固废暂存间位于1层，建筑面积8.2m²,用于暂存一般固废。辅助办公区位于2层，2个，建筑面积约200m²,用于员工位于2层，建筑面积约40m²位于2层，建筑面积约30m²展厅位于2层，建筑面积约20m²,用于产品展示辅助用房位于2层和3层，4个，建筑面积约40m²,用公用年用水量约1377.235m³/a,由市政供水管网集中纯水机工艺：多介质过滤器+活性炭过滤器+精除盐)+TOC去除(紫外灯管)+离子交换树脂依托现有供水管网供电用电量为258万kWh/a,由市政供电电网接入。依托现有供电管网供热依托现有供电管网废气高排气筒(DA001)排放。装置”为现有，酸配置及刷洗产生的HF、硫酸雾在密闭洁净间经微负压收集至“2#SDG吸附装置”处理后由临空经济开发区综合污水处理厂市政污水处理车间进一步处理。超纯水制备浓水一起经化粪池预处理后通过污水管网排入济南临空经济开发产业区综合污水新增沉淀池预处理设施；噪声/固体废物115m³,与事故点位连接，以满足事故废水储存新增改扩建项目在现有设备的基础上新增生产设备，现有除1层晶体提拉炉、纯水机、坩埚清洗等布置在现有位置外，其他现有设备均重新进行布局，主要生产设备见表2-4。序号设备名称备注现有改扩建新增建成后全厂1晶体提拉炉台47生产晶体，电加热1层，晶体生长间2晶体提拉炉台2133晶体提拉炉台2024高温炉台235电加热3层，高温炉间5极化炉台2电加热3层，退火极化间6台2133层，混料间7台3148台6289晶圆刷洗机台1221层，洁净间台1341层，磨抛间台秤台2131层，制程检验室电子天平台134台1011层，纯水间台1011层，晶体生长间空压机台/331层，空压站台/441层，单线切割间台144多线切割设备台/221层，多线切割间台1221层，磨抛间定向仪台/441层，制程检验室晶圆倒角机台/111层，单线切割间台/221层，洁净间台/33台/111层，超纯水站台/111层，制程检验室3层，检验室台/11台/22台/11型材切割机台1013层，辅助用房，设备检修用原辅材料名称新增建成后全厂1原料仓库25kg/袋225kg/袋3/25kg/瓶4盐酸(30%)库5/片状6氢氧化钾1片状500g/瓶7/8硫酸(98%)19润滑油1180kg/桶密度910kg/m³电年172万度/年/1/市政供电管网水///市政供水管网(1)碳酸锂碳酸锂，是一种无机化合物，化学式Li₂CO₃,分子量235.89,熔点>300℃,无色单斜系晶体，能溶于水、稀酸，不溶于乙醇、丙酮。热稳定性低于周期表中同族其他元素的碳酸盐，空气中不潮解，可用硫酸锂或氧化锂溶液加入碳酸钠而得。其水溶液中通入二氧化碳可转化为酸式盐，煮沸发生水解。用作陶瓷、玻璃、铁氧体等的原料，元(2)氧化铌氧化铌是一个化学术语，是铌的多种氧化物的总称，包含一氧化铌、二氧化铌、三氧化二铌、五氧化二铌。为白色结晶或粉末，相对密度4.6,熔点1520℃,加热时变黄，不溶于水，溶于氢氟酸和硫酸。能与碱金属的碳酸盐和氢氧化物相溶。大鼠经口LDso:1400mg/kg。对呼吸道有刺激性，铌及其氧化物在空气中的最高允许浓度为10mg/m³。在粉尘较高的环境中工作的人员，应作好全面防护，环境应具备较好的通风条件。应贮存在通风、干燥的库房内。在运输过程中要防雨淋。失火时，可用水、沙土和(3)盐酸盐酸是氯化氢(HCI)的水溶液，分子量36.46,属于一元无机强酸，工业用途广泛。盐酸(4)氢氧化钠氢氧化钠，无机化合物，化学式NaOH,分子量40.01,也称苛性钠、烧碱、固碱、火碱、苛性苏打。白色透明晶体，密度2.130g/cm³,熔点318.4℃,沸点1390℃。氢氧化钠在水处理中可作为碱性清洗剂，极易溶于水，溶解时放出大量的热：在高温下对碳钠也有腐蚀作用。与氯、溴、碘等卤素发生歧化反应。与酸类起中和作用而生成盐和水。氢氧化钠具有强碱性，腐蚀性极强，可作酸中和剂、配合掩蔽剂、沉淀剂、沉淀掩蔽剂、显色剂、皂化剂、去皮剂、洗涤剂等，用途非常广泛。氢氧化钠粉尘或烟雾会刺激眼和呼吸道，腐蚀鼻中隔，皮肤和眼与NaOH直接接触会引起灼伤，误服可造成消化道灼伤，粘膜糜烂、出血和休克。工业用固体烧碱应用铁桶或其他密闭容器包装，应贮存在通风、干燥的库房或货棚内。包装容器要完整、密封。不得与易燃物和酸类共贮混运。运输过程中要注意防潮、货使用，容器破损可用锡焊修补。失火时，可用水、砂土和各种灭火(5)氢氧化钾(6)氢氟酸(7)氧化钽氧化钽(Ta₂O₅),分子量441.9,白色粉末，不溶于水和酸，溶于熔融硫酸氢钾和氢氟酸。(8)硫酸硫酸(H₂SO₄),为无色粘稠状液体，分子量98.078,熔点10.371℃,沸点338℃,相对密序号序号坩埚清洗碱洗后水洗用水、坩埚清洗酸洗后水洗用水用坩埚清洗碱洗后水洗用水、坩埚清洗酸洗后水洗用水用情况见表2.6。位m³/am³/am³/a表2-6改扩建项目给水量变水//1/改扩自来水123456789喷淋降温配酸用水清洗用水晶体加工用水晶体加工后超声清洗用水晶圆刷洗后改扩建项目钽酸锂、氧化铌、氧化钽用量为21000kg/a,晶体生长过程需要使用循环冷却水进行间接降温(净水，不外排，循环水量为100m³/h,损耗量约占循环为480m³/a。采用纯净水。水自来水水///////////5//5//1//9//////////43/经验，每10kg原料需要纯净水300mL,则压块用水用量为0.63m³/a。采用纯净内循环),循环冷却塔循环水定期补充纯环),定期补充，不外排，喷淋水补水量约为1m³/d,因此，喷淋降温补水量约为300m³/a。采净水配置比例为1:10的，改扩建后30%盐酸用量为10L,则配盐酸用水量为0.1m³/a。采用纯净则配氢氟酸、硫酸所用水量均为5m³/a。采用超纯水。洗用量为5L,每年约清洗43次，则坩埚清洗碱洗后水洗用水量为0.215m³/a。采用纯净水。洗用量为1L,每年约清洗43次，则坩埚清洗酸洗后水洗用水量为0.043m³/a,采用纯净水。设备约40L水循环利用，加工废水每月更换1次，每年约更换10次，加工设备共22台，则晶体加工用水约为9m³/a,采用自来水。约为0.3m³/a,采用自来水。I超声清洗用水晶圆刷洗后需要用超纯水冲洗晶体表面残留的酸液，每天水洗用水量约为10L,则晶圆刷洗后水洗用水约为3m³/a,采用超纯水。改扩建项目建成后职工定员30人，根据《建筑给水排水设计标准》(GB50015-2019)工业企业建筑生活用水定额，职工生活用水量按照每人50L/d计算，年工作300d,则项目生活用水量为450m³/a,采用自来水。纯水机制水效率约为80-85%(本次取80%),则纯水机自来水用量约为601.235m³/a。13m³/a,根据设备厂家提供资料，超纯水机制水效率约为75%,则超纯水机所用自来水用量为因此，改扩建后全厂自来水用量共1377.235m³/a。加，新增晶体加工废水、晶体加工后水洗废水、超声清洗废水、超纯水机制备浓改扩建新增建成后全厂12晶体加工废水/3晶体加工后水洗废水/4/5/6根据设备厂家提供资料，纯水机制水效率约为80%,纯水机自来水用量约为601.235m³/a,污水管网。淀后进入化粪池，最终进入市政污水管网。碎屑，经沉淀池沉淀后进入化粪池，最终进入市政污入市政污水管网。(GB18918-2002)一级A标准、《流域水污染物综合排放标准第3部分：小清河流域》改扩建后全厂水平衡见图2-1。损托08新1378.235a报耗：0%淀淀小小清河济南临空经济开发区产业区综合污水处理厂化92.327池交交由有危废处理资质的单位处理30553晶圆刷洗后水洗废液晶圆刷洗后水洗废液一图例(2)供电增用电量172万度/a,建成后全厂用电量约258万度/a,由当地供电系统供给，求。改扩建项目生产过程均采用电加热：办公区冬季采暖和夏季制冷均由空调提供。现有项目劳动定员15人，一班制，每班工作8小时，年工作300天，年工作时数2400小时。坩埚配酸、酸洗有效运行时间约600改扩建项目新增劳动定员15人，建成后全厂劳动定员30人，实行两班制，每班工作8小行多晶料制备、晶体后处理等工序，基本顺延了物料走目平面布局相互独立，同时又联系紧密，方便管理，满足防火、逃生及安全要求。一、工艺流程及产排污环节1、铌酸锂工艺流程改扩建项目铌酸锂晶体/晶圆片制备共包括①多晶料制备、②晶体生长、③晶体后处理、④晶体粗加工、⑤晶体细加工、⑥晶圆刷洗、⑦检验包装7个主要工序。料多多晶料制备自来水晶晶体后处理电极片56边角料自来水流程和产57品体败粒沉淀物自来水WI品体粗57品体败粒沉淀物水自来水政政水官自来水细细加87品体和粒沉淀物87品体和粒沉淀物加工废水自来水自来水S5废SDG吸附剂40%氯氟酸、40%殖40%氯氟酸、40%殖酸、粗纯水晶圆刷洗图例晶圆刷洗检验、包装纯水制备检验、包装纯水制备图2-2铌酸锂晶体/晶圆片制备工艺流程及产污环节示意图工艺流程和产排污环节(1)多晶料制备①配料：将碳酸锂(LiCO₃)和氧化铌(Nb₂Os)、氧化钽(Ta₂Os)粉体，人工放入干润湿原料，使用压块机冲压成料块，此过程为湿料，无粉尘产固废等产生。(2)晶体生长此工序在现有的基础上增加设备，从而增大产能。(3)晶体后处理能。消除晶体生长过程中产生的热应力，以防开裂，降温后取出晶场，降温后即可得到单畴化/极化的铌酸锂/钽酸锂单(4)晶体粗加工①单线切割、端面磨抛、平磨滚圆、多线切割(5)晶体细加工进入自来水中，自来水1个月更换一次，经沉淀后排入市使用自来水将晶体表面的颗粒物冲洗干净，废水经沉淀后排入市政污水管网。(6)晶圆刷洗主要包括配酸、刷洗、水洗3个工序。此工序为新增工将氢氟酸(40%氢氟酸与超纯水按照1:50的比例稀释)+双氧水或硫酸(排气筒DA002排放；氢氟酸或硫酸循环使用，定(7)检验包装检验采用人工目测检验与机器检验相结合的方式，机器检验主要是使用颗粒度检测仪、平坦度检测仪等检验晶体表面的光滑度等，无化学药剂的使用，因此多晶料制备多晶料制备喷淋降温晶晶体后处理粗环节细加工细加工角S5废SDG吸附剂配酸晶圆刷洗晶圆刷洗说明工艺流程和产排污环节改扩建项目还包括①坩埚清洗、②纯水制备、③超纯水制备、④设备维护4个辅助工序(1)坩埚清洗纯净水纯净水S5废SDG吸附剂SDG吸附30%盐酸配酸30%盐酸配酸纯净水纯净水纯净水图例现有工序干净坩埚变动工序②酸洗、水洗：少量坩埚需要用盐酸清洗一遍，将稀盐酸(将30%盐酸与纯的比例稀释)放置于坩埚中加热1小时(60℃左右),将稀盐酸倒出，稀盐酸循环使用，定期经通风柜收集后通往1#SDG吸附装置吸附后经25m排气筒DA001排放。1#吸附装置和排气筒(2)纯水制备S13过滤废滤芯S14废活性炭滤芯SIS废PP滤芯S16废反渗透滤芯改扩建项目纯水机采用多介质过滤器+活性炭过滤器+精密过滤器+反渗透系统的工艺，根据设备厂家提供资料，纯水机制水效率约为80(3)超纯水制备改扩建项目超纯水机主要采用多介质过滤+活性炭过滤+5um过滤+二级反渗透+UV杀菌+精密过滤+EDI系统(电除盐)+TOC去除(紫外灯管)+离子交换树脂的S21废UV灯管：S22废离子交换树脂：S23废超滤膜。自来水多介质过滤器活性炭过滤器5um过滤器二级反渗透离子交换树脂TOC去除器EDI系统精密过滤器终端超滤超纯水(4)设备维护COD、氨氮、SS晶体粗加工废水晶体粗加工COD、氨氮、SS晶体粗加工后水洗晶体粗加COD、氨氮、Ss晶体细加工废水晶体细加工COD、氨氮、SS晶体细加工后水洗COD、氨氮、Ss晶体细加纯净水制备超纯水制备1气品圆刷洗氢氟酸/硫酸配置、COD、氨氮、SS晶体粗加工废水晶体粗加工COD、氨氮、SS晶体粗加工后水洗晶体粗加COD、氨氮、Ss晶体细加工废水晶体细加工COD、氨氮、SS晶体细加工后水洗COD、氨氮、Ss晶体细加纯净水制备超纯水制备1气品圆刷洗氢氟酸/硫酸配置、设备噪声噪声噪声N设备运行HCI、HF、H₂SO4等磨抛、平磨②设备检修过程中可能会使用型材切割机对设备管材等进行切割，主要用料，不会产生粉尘。此工序利用现有型材切割机进行设备维护检修，不再使用型材切割机对晶主要污染工序详见表2-8。表2-8主要污染工序汇总表污染工序编号类别污染工序编号类别粪池，排入市政污水管网水管网粪池，排入市政污水管网水管网“1#SDG吸附装置”处理后由“2#SDG吸附装置”处理后由基础减震、隔声等。固体固体品圆刷洗晶圆刷洗废液品圆刷洗后水洗废液不合格品收集后外售物资公司回收利设备维护废润滑油矿物油废润滑油桶矿物油矿物油废过滤介质超纯水制备设备维护金属废料、废金属收集后外售物资公司回收利/果皮纸屑等注：晶体粗加工废水W1、晶体细加工废水W4统称“晶体加工废水”;晶体粗加工后水洗废水W2、晶体细加工后水洗废水W5统称“晶体加工后水洗废水”;现有项目原称为碱洗、酸洗产生的废液称为“废酸液“废碱液”,本次废液”;现有项目碱洗后水洗、酸洗后水洗产生的废液称为“坩埚清洗工序清洗与项目有关的原有环境污染问题序号现有工程名称备注18英寸铌酸锂晶术预研工作和酸锂板材的产2022年7月6日局[2022]G56号期2022年9月30日年产铌酸锂单晶薄膜专用晶体2500片、铌酸锂电光调制器专用晶体500片正常2024年2月1日年产铌酸锂单晶薄膜专用铌酸锂晶体5500片、铌专用晶体1500片、电光开关专用铌正常2、现有工程排污许可履行情况济南恒元光电科技有限公司已于2022年9月19日取得固定污染源排污登记回执，登记编号为91370100MA3P1B2P8X001Z,排污许可证有效期至2027年9月18日。固定污染源排污登记回执见附件9。3、现有项目建设内容现有项目一共两层，现有项目组成情况见下表。类别主要建设内容生产车间间、坩埚清理间、纯水间等。片(其中包括铌酸锂单晶薄膜专用晶体8000片、铌酸锂电光调制器专用晶体2000片)和电光中包括铌酸锂单晶薄膜专用晶体10000片、铌酸锂电光调制器专用晶体2000片)和电光开关专用铌酸锂晶体10根。现有项目基本情况如下：1、现有项目环评、验收手续履行情况现有项目于2022年7月6日取得济南市生态环境局出具的批复，文件号为济环报告表[2022]G56号；现有项目分两期进行了自主验收，验收日期分别为2022年9月30日、2024年2月1日。现有项目环评批复见附件6、验收专家意见见附件7。材料仓库位于1层，建筑面积约32.4m²,用于存放原辅材料。成品仓库位于1层，建筑面积约52.8m²,用于存放成品。危废间位于1层，建筑面积约12.5m²,用于暂存危险废物。一般固废暂存间位于1层，建筑面积8,2m²,用于暂存一般固废。辅助办公室位于2层，用于员工办公。公用年用水量约324.5m³/a,由市政供水管网集中供水：纯水采用纯水机供电项目用电量为86万kWh/a,由市政供电电网接入。供热废气集至“SDG吸附装置”处理后由20m高排气筒(DA001)排化粪池预处理后通过污水管网排入济南临空理厂市政污水处理车间进一步处理。噪声固体废物营运过程固体废物主要为生活垃圾、不合格品、除尘器收集的粉尘、废碱液、废酸液、坩埚清洗工序清洗废水及废S生的金属废料、废金属零部件：其中生活垃圾由环卫部门统一清运；日期高度内径主要污染物排放浓度由监测结果可知，现有项目有组织废气能够满足《大气污染物综合排放标准》 (GB16297-1996)表2最高允许排放浓度及速率要求(最高允许排放浓度100mg/m³,20m高排气筒排放速率0.43kgh)。现有项目实际排放量可根据监测值计算，有组织HCI的平均排放速率为0.0086kg/h,现有现有项目废气监测数据是实际验收时的产能(即“年产铌酸锂10000片和电光开关专用铌酸锂晶体10根),折算至最大产能(即“年产铌酸锂单晶薄膜专用铌酸锂晶体12000片和电光开关专用铌酸锂晶体10根)后，则有组织HCl产生量约为0.0688/a,排放量为0.00619ta,无组织HCI排放量约为0.0068t/a。(2)辅料切割粉尘切割粉尘通过移动式除尘器处理后厂区内无组织排放：未经通风柜收根据验收监测报告(2023年12月),现有项目厂界无组织监测结果见表2-12。监测项目监测日期监测结果234下风向2#下风向3#下风向4#下风向2#下风向3#下风向4#氯化氢下风向2#下风向3#下风向4#下风向2#下风向3#下风向4#日期气温℃风速m/s风向总云量西南52西南42西南43西南42西42西435422风向由监测结果可知，现有项目无组织氯化氢、颗粒物能够满足《大气污染物(GB16297-1996)表2中无组织排放检测浓度限值要求(颗粒物1.0mg/m³、氯化氢0.2mg/m³)。无组织颗粒物排放量无法定量计算，因此，产排量按环评计算值考虑，即颗粒物排放量为现有项目废水主要为生活污水、纯水制备废水，最大产能下排放量共184.1m³/a(单位产品基准排放量为30.7m³/t),经化粪池预处理后排入济南临空经济开发区综合污水处理厂市政污水处理车间进一步处理(现有项目环评及批复中，现有项目废水排入济南临空综保区污水处理站，目前，济南临空综保区污水处理站因处理工艺落后等原因，原站站址已改成提升泵，废水经提升泵泵入济南临空经济开发区综合污水处理厂处理)。根据验收监测报告(2023年12月),现有项目化粪池出水监测结果见表2-14。监测点监测时间监测因子监测结果值(mg/L)1234放口无量纲悬浮物化学需无量纲悬浮物化学需表1间接排放限值、表2压电晶体材料单位产品水处理厂进水水质要求。现有项目污水排放量为184.1ta,COD、氨氮平均排放浓度分别为191.75m量为0.0083ta、0.0004ta。3、噪声现有项目噪声源主要为混料机、压块机、干燥箱、提拉炉根据验收监测报告(2023年12月),现有项目厂界噪声结果见表2-15。检测日期东厂界1#西厂界3#北厂界4#东厂界1#西厂界3#北厂界4#生活垃圾：产生量为2.5ta,由环卫部门统一清运；不合格品：产生量为0.05ta,暂存于一般固废间，外售资源回收单位；除尘器收集的粉尘：产生量为1.5kg/a,暂存于一般固废间，外售资源回收单位：过滤废滤芯(暂未产生):产生量为0.25t5a,厂家回收；废活性炭滤芯(暂未产生):产生量为0.05t5a,厂家回废PP滤芯(暂未产生):产生量为0.25t/5a,厂家回收；废反渗透膜(暂未产生):产生量为0.5t/5a,厂家回收：质的单位处理；质的单位处理：坩埚清洗工序清洗废水：产生量为2.2Va,清洗坩埚过程产生的清洗废水在危废SDG吸附剂(暂未产生):预计约5年更换一次，填装量约500kg,则产生量为0.1ta,污染物类别污染物名称最大产能下排放量总量确认书/环评批复/排污许可证允许排放量(t/a)废气有组织1经化学通风柜收集至“SDG吸附装置”(即1#SDG吸附装置)处理后由20m高排气筒(DA001)排放无组织/移动式除尘器处理后厂区内无组织排放/污水管网排入济南临空理厂市政污水处理车间//固体废物不合格品/外售资源回收单位除尘器收集的粉尘//芯1/滤芯/危险废物/理//剂//现有项目环评、验收、排污许可证等相关环保手续齐全，排放的区域(GB3096-2008)3类标准适用区。根据《2023年济南市环境质量简报》,高新区开发区站点站点(辖区)开发区(高新区)94限值要求年平均年平均年平均年平均日最大8小时平均24小时平均粒物(PM₁o)年均值、细颗粒物(PM₂s)年均值、二氧化硫年均值、二氧化氮年均值、间平均等效声级为45.7分贝，达到《声环境质量标准》(GB3096-2008)2类区标准。境质量“一般”。评价。不新增占地。根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南(污染影响类)(试行)》,等电磁辐射类项目，故不涉及电磁辐射现状监测与评保护目标村地区中人群较集中的区域等保护目标。改扩建项目厂界外50米范围内无声环境保护目标。等特殊地下水资源。环境保护目标。准改扩建项目有组织HCI、HF、硫酸雾执行《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2最高允许排放浓度及速率要求(排气筒25m,HCl100mg/m³、0.345kg/h,氟化物9mg/m³、0.38kg/h,硫酸雾45mg/m³、5.7kg/h)。注：有组织废气排放速率根据内插法计算得一步处理，排水执行《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表1间接排放限表3-2(1)改扩建项目废水排放标准标准名称总氮总磷单位产品基准mh产品- 济南临空经济开发区综合污水处理厂-6放8--标准名称总氮总物排放标准》/1准////12/济政办字[2011]49号文//1/1/1(济政办字[2017]30号文1//1//鲁环委办[2021]38号////////改扩建项目位于济南高新区声环境功能区划范围外(附图7),根据《声环境质量标准》(GB3096-2008),“以工业生产、仓储物流为主要功能，需要防止工业噪声对周围环境产生严重影响的区域为3类声环境功能区”,改扩建项目位于济南国际标准地招商产业园临空片区(智能制造产业集聚区)内，以工业生产为主，因此，改扩建项目噪声排放执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-20(GB18599-2020)、《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》等相关要求；危险废物执行《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)相关要总量控制市生态环境局收回。期环护措施改扩建项目位于济南国际标准地招商产业园临空片区(智能制造产业集聚区)内，不新增生产，施工期环境影响较小。因此，本评价不对施工期环境保护运营期环响和保护修，主要用于切割钢管等材料，不会产生粉尘。因此，改扩建项目营运期废气主要为坩埚清洗产生的盐酸配置、酸洗废气(HCl),晶圆刷洗产生的氢氟酸/硫酸配置、刷洗废气(HF、硫酸雾①盐酸配置、酸洗废气(HCI)收集后通过1#SDG吸附装置吸收后经现有排气筒(DA0改扩建项目化学通风柜、1#SDG吸附装置利用现有，并在现有基础上进行改造。现有DA001排气筒高度为20m,风机风量为2500m³/h,内径为0.4m,为满足《大气污染物综项目将DA001加高至25m,风机风量增加至8000m³/h。依据详见“污染防治措施可行性分析”章节),收集效率、处理效率分别②晶圆刷洗产生的氢氟酸/硫酸配置、刷洗废气(HF、硫酸雾)改扩建项目新上一套废气处理设施(2#SDG吸附装置和25m高排气筒DA002),氢氟酸/硫酸吸收后经25m排气筒(DA002)排放。HF、硫酸雾废气收集效率按90%计，处理效率按90%收集情况物种类治理措施量(t/a)量(ta)酸吸附装置晶圆刷酸吸附装置雾改扩建项目新上一套废气处理设施(2#SDG吸附装置和25m高排气筒DA002),氢氟酸/硫酸吸收后经25m排气筒(DA002)排放。HF、硫酸雾废气收集效率按90%计，处理效率按90%收集情况物种类治理措施量(t/a)量(ta)酸吸附装置晶圆刷酸吸附装置雾345kg/h,氟化物污染物种类产生速率(kg/h)产生量(t/a)64m,宽23m.晶圆刷洗、配酸(GB16297-1996)表2最高允许排放浓度及速率要求(25m,HCI100mg/m³、0.9mg/m³、0.38kg/h,硫酸雾45mg/m³、5.7kg/h)。根据计算，未经收集的HCI、HF、硫酸雾分别为0.00035ta、0.0045ta、0.018t/a。模型(AIRSCREEN)进行估算，估算模型参数见表4-3。 最高环境温度/℃取值依据选项项目周边规划为工业园区城市高新区常驻人口42.4万人口数(城市选项时)最低环境温度/℃土地利用类型现状周边以农作物为主区域湿度条件中度湿度气候是否考虑不考虑是否考虑岸线熏烟考虑岸线熏烟不考虑不考虑岸线方向/根据估算结果可知，厂界HCI、HF、硫酸雾浓度分别为1.84E-03mg/m³、5.962.35E-02mg/m³,能够满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2中无组织排放监控浓度限值(氯化氢0.2mg/m³,氟化物0.02mg/m³,硫酸雾1.2mg/m³)要求。根据《排污许可证申请与核发技术规范电子工业》(HJ1031-2019),表A.4,改扩建项目属量较小，故采用“SDG吸附装置”处理。配置、刷洗废气(HF、硫酸雾)采用密闭洁净间负压收集，参照《广东省生态环境厅关于印发工业源挥发性有机物和氮氧化物减排量核算方法的通知》,单层密闭负压空间收集效率取90%.达SDG吸附剂表面吸附力场时，便被固定在其表面成一种新的中性盐物质而存储于SDG吸附剂结构中。SDG吸附剂对酸气的净化是一个多功能的综合作用，除了一般的物理吸附外，还有化酸、硫酸、盐酸、氢氟酸等酸性废气。实际应用排放。因此，改扩建项目采用SDG吸附装置处理设施有效、可行。执行”。根据企业提供数据及现场勘查，项目区周边200m范围内建筑高度为19.5m(建筑物均为4层，其中1层为6m,2~3层为4.5m),改扩建后2根排气筒高度军设为25m,能够满足要改扩建项目DA001排气筒在现有的基础上进行改造，DA002为新设排气筒，废气排放口情况见表4.4。排放口高度排气筒出口废气出口温度(℃)DA001排气筒利用现有，内径0.4m,风机风量由2500m³/h增至8000m³/h;DA002为新设，内径0.4m,风机风量为8000m³/h。根据计算，烟气流速均为17.69m/s,根据《大气污染治理工内径设置较为合理。据本工程特点，主要废气非正常工况下的事故为废气处理设施完全失效，氯化氢直接排放。源非正常排放原因物速率(kg/h)时间(h)次1次加强设备维护与备正常运行。雾由上表可知，在非正常工况下，酸性气体排放能够达标。行监测技术指南总则》(HJ819-2017)中的要求，改扩建项目废气自行监测要求见表4-6。废气排气筒(DA001)(GB16297-1996)表2排气简(DA002)厂界量为23.4m³/t产品(根据原辅料用料，改扩建项目产品约为21t)。生活污水产生量为360m³/a,经化粪池处理后进入市政污水管网。改扩建项目晶体加工废水每月更换1次，1次更换量最大为0.8m³;晶体加工后水洗废水每天产生量约为0.001m³,改扩建项目沉淀池有效容积为4m³,容积能够满足项目需求。沉淀时间最少为24h,对悬浮物去除率可达50%以上。改扩建项目为小型沉淀池，去除率取50%。改扩建项目本次去除率取50%。综上，“沉淀+化粪池”去除效率约为75%,“化粪池”去量治理工艺(%)术水4沉淀+化粪0是000水5化粪池0是000000总磷0品体加工废水：主要污染物为COD、氨氮、SS,参考同类型报告，本次评价浓度分别按照300mg/L、200mg/L,品体加工后水洗废水：主要污染物为COD、氨氮、SS,参考同类型报告进水浓度，本次评价浓度分别按照超声清洗废水：主要污染物为COD、氨氮、SS,参考同类型报告，本次评价浓度分别按照400mg/L纯水机制备浓水、超纯水机制备浓水：通过查阅资料，长江以北中部城市(参考城市济南)自来水含盐量约500mg/L,则改扩建项目纯水制备废水全盐量产生浓度为1667mg/和系数手册》(生态环境部公告2021年第24号)-生活源产排污核算方法和系数手册-第53.2mg/L、73.8mg/L和5.76mg/L。别类排入管网排放浓度(mg/L)标准值(mg/L)污染物量(va)水2)/总氮总磷6(GB39731-2020)表1间接排放限值、表2压电晶体材料单位产品基准排放量标准及济南临空行性分析如下：①济南临空经济开发区综合污水处理厂简介规划机场北路以东，污水处理厂占地面积为10.47hm²(157亩),设计总处理规模为9.5万m³/d(其中电子工业废水4.0万m³/d,市政综合污水5.5万m/d),分两期建设，一期设计处理规模4.75万m³/d(电子工业废水2.0万m/d,市政综合污水2.75万m³/d),工程于2022年9月建成投入运营。市政综合污水采用“细格栅曝气沉砂池→综合污水均质调节池→膜格栅→改良A²/0-MBR→MBR产水池→消毒池”为主体的污水处理工艺路线。工艺流程见图4-1。标准》(GB18918-2002)一级A标准、《流域水污(引清干渠),最终汇入小清河。 河测间流生化污泥脱水积②污水进入污水处理厂市政污水处理车间进行处理可行性分析区，因此，从接受途径的角度考虑，是可行的。万m³d,一期工程规模(其中电子工业废水4.0万m³/d,市政综合污水5.5万m³/d),已于2022工企业废水、仓储物流企业职工生活污水，居住区、商业区的生活污水等。改扩建项目坩埚清洗、晶圆刷洗等工序产生的含酸、碱废液作为危废处理，因此，厂区所产生工业废水为浓水、晶体加工废水、晶体加工后清洗水等，主要污染物为COD、SS、全盐量等，水质简单，不含有毒有害难降解等污染物、不含酸、碱。改扩建项目产生的废水工艺主要在晶体粗加工、晶体细加工等机械加工工序，其水质为与机械加工企业废水基本一致，故从废水水质的角度来看是可本次评价收集了济南临空经济开发区综合污水处理厂2024年1月~6月在线监测数据见表日期氨氮(mg/L)2024年1月2024年2月02024年3月2024年4月02024年5月02024年6月2综上，改扩建项目位于济南临空经济开发区综合污水处理厂收水范围内，产生的废水能够满足济南临空经济开发区综合污水处理厂市政污水处理车间进水水质区综合污水处理厂还有剩余处理能力，且出水水质能够达到《城镇污水处理厂污染物排放标准》(GB18918-2002)一级A标准、《流域水污染物综合排放标准第3部分：小清河流域》(DB37/3416.3-2018)(氟化物2mg/L、全盐量1600mg/L)、《济南市人民政府办公厅关于提高部分排污企业水污染物排放执行标准的通知》(济政办字(2011)49号文)(COD45mg/L)、《济南市人民政府办公厅关于济南市小清河流域执行水污染物区域排放限值的通知》(济政办字(2017)30号文)协同共治试点工作的指导意见》(鲁环委办[2021]38号)(总氮10(12)mg/L)要求，运转正常，故改扩建项目生产废水经城市污水管网排入济南临空经济开发区综合污水处理厂市政污水处理车改扩建项目地表水环境影响评价等级为三级B,不需进行地表水环境影响预测。主要对污染源排放量及地表水环境影响评价自查进行统计分析，废水类别、污染物及污染治理设施信息如序号废水类别污染物种类向排放口设施工艺1水处理厂市政污车间律1□否放排放口晶体加工废水间接排放口基本情况见表4-11。排放口标(万t/a)排放去向间歇时段受纳污水处理厂信息国家或地方污染限值/(mg/L)车间定，但有周律污水处理车间电子工业》(HJ1031-2019)等要求，废水自行监测要求见表4-12。总排口pH、COD、氨氮、SS、全盐量、总(GB39731-2020)表1间接排放限值、处理厂进水水质要求表4-13改扩建项目主要噪声源参数一览表型号控制距室内界声级运行时段建筑物外噪声XYZ声压级外距离1层晶体提拉炉1距离衰减1东40西18北2东65.72南69.72西66.95北66.97东45.72南49.72西46.95北46.971晶体提拉炉21品体提拉炉31品体提拉炉41品体提拉炉51晶体提拉炉61晶体提拉炉71品体提拉炉81晶体提拉炉91品体提拉炉101晶体提拉炉111晶体提拉炉121品体提拉炉131品体提拉炉141晶体提拉炉151晶体提拉炉1612磨抛机1/1东18南2西38北18磨抛机2/1磨抛机3/1/13空压机1/1东2空压机2/1西53北2空压机3/14单线切割设备1/1东18南13西37北2/1/1/15平磨滚圆设备1/1/1/1/16晶圆倒角机1/17多线切割设备1/1东12南13西46北2多线切割设备2118减薄机111东25南2西2北18/19抛光机1/1/1/1品圆刷洗机1/1品圆刷洗机2/1冷却塔1/1东49西13超声清洗机111东40/1西18北2m层高温炉1/东15南15西23北2西64.41北63.83西44.41北43.831高温炉2/高温炉3//高温炉5/极化炉1/东40南15西18北2极化炉2/极化炉3//极化炉5/////1极化炉11/极化炉12/极化炉13//极化炉15/////东36南2西15北181//混料机1////////东36南2西15北181//混料机1////////压块机1注：以厂区西南角为坐标原点(0,0,0),东西向为X,南北向为Y,高为Z;检测仪、定向仪、台秤、电子天平等压块机1境》(HJ2.4—2021),预测公式如下：1)预测模式式中：Leax—建设项目声源在预测点的噪声贡献值，dB;T—预测计算的时间段，s:t—i声