电子级磷酸市场调研报告

电子级磷酸市场调研报告CompanyLogo目录电子级磷酸用途1电子级磷酸执行标准2电子级磷酸工艺3电子级磷酸工艺简述4杂质对电子级磷酸的影响5电子级磷酸的检测6国外生产产能统计7国内消费区分布图8国内主要厂家产能统计9电子磷酸预计需求量10国内电子级磷酸特点11电子级磷酸进出口现状12电子级磷酸价格13电子级磷酸市场调研及决策10CompanyLogo电子级磷酸用途1纯度较低的主要用于液晶面板部件、基片涂胶前的清洗。2光刻过程中的蚀刻及最终去胶。3硅片本身制作过程中的清洗和绝缘膜蚀刻、半导体膜刻、导体膜蚀刻、有机材料蚀刻等。广泛应用于超大规模集成电路、大屏幕液晶显示器等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻。CompanyLogo电子级磷酸执行标准

国际半导体设备与材料组织(SEMl)将电子化学品按应用范围分为SEMI-C1、SEMI-C7、SEMI-C8和SEMI-C12四个等级，但当前国内外对高纯磷酸级别的划分很混乱，国外如美国、日本、德国的电子级磷酸均已工业化生产，但由于技术保密，其产品质量指标及生产技术未见详细报道。

国际标准国内标准2011年12月30日，国家质检总局、国家标准委在《中华人民共和国国家标准公告》(2011年第23号)中发布国家标准GB/T28159-2011《电子级磷酸》。发布日期：

2011-12-30实施日期：

2012-07-01首发日期：

2011-12-30

参与起草单位：四川成洪磷化工有限责任公司、江苏江阴市润玛电子材料有限公司、湖北兴发化工集团股份有限公司、苏州电子材料厂有限公司、苏州晶瑞化学有限公司

CompanyLogo电子级磷酸工艺以磷单质或三氯氧磷为原料通过反应法制取电子级磷酸工艺以工业净化磷酸为原料，通过分离提纯法制取三氯氧磷法高纯磷法磷化氢法电渗析法结晶法CompanyLogo电子级磷酸工艺简述三氯氧磷法将工业黄磷制成液态三氯氧磷(POCl3)，再将精馏提纯，精制后的三氯氧磷与超纯水反应生成磷酸和HCl，蒸馏除去HCl

可制得高纯磷酸。将磷酸调节到所需浓度后，再用微孔滤膜过滤除去微细固体尘埃，即可得到电子级磷酸。该法生产工艺流程长、能耗高，故生产成本高，而且对设备腐蚀严重。高纯磷法将工业黄磷或红磷提纯制成高纯磷，与净化后的空气或氧反应生成P2O5，再用超纯水喷淋吸收生成高纯磷酸。该法缺点:损失较大，成本增加;而且由于磷具有自燃性，因此对设备材质、生产控制和操作人员要求较高，生产控制较难。磷化氢法黄磷在碱的作用下生成磷化氢，或由磷化锌或磷化铝水解生成磷化氢。精制磷化氢，然后将磷化氢负压催化氧化热分解制得高纯磷，将高纯磷再用纯氧或洁净空气氧化成P2O5，再与超纯水反应制得高纯磷酸。该法生产工艺流程长、能耗高，故生产成本高，同时污染严重，而且还存在安全隐患。电渗析法将磷酸中的有机物预先用活性炭除去，然后在一定的电流密度下渗析，利用离子交换膜对离子选择性透过的特性来分离磷酸中的杂质，得到精制磷酸。此法精制成本高，用来精制磷酸的工业化还有很多问题尚待解决，距实用阶段尚有一定距离。冷却结晶法是以湿法净化磷酸或热法磷酸为原料，加入晶种，在结晶和重结晶过程中采用梯度降温方法，使磷酸以半水磷酸晶体形式析出，经过滤、洗涤，杂质离子留在母液中，再将晶体熔化即可得到电子级磷酸。该法操作条件温和，不需专用结晶设备，能有效控制晶体粒度的大小。CompanyLogo杂质对电子级磷酸的影响生产具有稳定的电气特性和可靠性的电子元件和电路时，要求处理硅晶片的化学试剂非常纯净。不溶性固体颗粒或金属离子可能在微细电路之间导电，使之短路，几个金属离子或灰尘足以使线宽较小的IC报废。为了避免硅晶片发生粒子污染，必须使用隔膜过滤器净化到0.2μm粒度以下的电子级纯度的化学试剂。这些杂质(有机物、碱金属和其他离子等)非常有害,若附着在硅晶片表面，则将使PN结耐电压降低，在PN结区引起反向漏电增加；若沉积在Si-SiO2界面处，易引起微等离子体击穿。磷酸的原料磷矿石中含有的210Po、Bi、Pb、Ac等放射性杂质，若不除去，吸附或沉积在S基上则会发射射线，导致电子元件产生软故障(存储故障)。为降低半导体元件的软故障次数，必须专用放射性杂质含量不大于10-3Bq/mL的电子级磷酸，还必须清除元件基材上沉积的放射性杂质。CompanyLogo电子级磷酸的检测电子级磷酸的检测较其他产品检测主要包括金属杂质、颗粒物。金属杂质痕量的分析主要采用电感耦合等离子体－质谱(ICP－MS)、电感耦合等离子发射光谱仪(ICP－AES)为主，非金属离子检测应配备离子色谱仪，颗粒物采用激光散射法。国内新发布的GB/T28159-2011标准特点：（1）磷酸含量在85-87%；（2）25种金属及非金属的检测项目；（3）分为E1级、E2级。CompanyLogo国外生产产能统计

目前，全球电子级磷酸产能约为500～600kt/a，东亚地区的产能大约占了其中的一半，国际上能生产电子级磷酸的厂家主要集中在日本、韩国、台湾、美国、德国和俄罗斯，以日本、韩国、台湾的生产商较多。国家公司名称产能备注德国E.Merck--美国A-Baker--日本RASA2.6万/吨-Nippon0.91万/吨-Rinka1.05万/吨-韩国DongWoo0.7万/吨提供LGDC1.2万/吨提供三星和LGFINECHEM--台湾长春.中华.长新--CompanyLogo国内消费区分布图中国电子级磷酸的消费区主要分布在：长江三角区、珠江三角区、渤海一带。CompanyLogo国内主要厂家产能统计公司名称产能（吨）/年备注四川成洪磷化工有限责任公司20000-贵州威顿晶磷电子材料有限公司10000-广西宜州宜盛精细化工有限公司40000准电子级湖北兴发化工集团股份有限公司100002011年通过RoHS

标准，获欧盟准入云天化（集团）有限责任公司30000准电子级贵州瓮福(集团)有限责任公司10002010年10月试车成功江苏澄星磷化工股份有限公司20000准电子级湖北宜昌兴福电子材料有限公司10000-其他--总计14.1-据不完全统计，国内生产准电子级以上的磷酸有超过14万吨，但真正能生产电子级、能达到市场高端要求的厂家甚少。国内缺口估计在10万吨以上。CompanyLogo电子磷酸2013年预计需求量近年来，随着半导体芯片制造业和液晶显示器制造业向中国转移，特别是中国台湾、日本和韩国等企业将在中国大陆投巨资建设液晶显示器生产厂和晶圆代工厂，以满足电视、电脑和移动通讯领域对液晶显示器的需求，中国电子级磷酸的用量将会有大幅增长，这为中国电子级磷酸提供了极大的发展空间。国内需求15-16万吨亚洲需求30万吨韩国需求10万吨CompanyLogo国内电子级磷酸特点ONETWOTHREEFOUR电子级磷酸关键技术长时间垄断在美国、德国、日本等发达国家。我国总体技术水平落后于发达国家，而且，原材料的消耗以及生产成本普遍高于国外；

企业规模小，目前国内30多家磷酸生产企业，只有十几家企业进行生产和销售电子级磷酸，且规模均不大，企业主要集中在江苏、四川；

国内生产的产品只能达到电子级磷酸低端产品要求，只能应用于电子工业的液晶显示器生产上作清洗剂；由于专利技术等原因，致使我国IC、LED、TFT-LCD行业用的电子级磷酸长期依赖进口，而目前我国市场上的电子级磷酸供应商主要集中在日本、美国和德国；

研发电子级磷酸新技术，提高国内电子级磷酸产品质量，使产品应用于IC、LED、TFT-LCD等行业，摆脱长期依赖进口，将是我国电子级磷酸发展的方向。CompanyLogo电子级磷酸进出口现状国内国外出口国内出口初级电子级磷酸产品给国外进口国内国外生产更高级别的电子级产品返销国内国内出口量远大于进口量从以上可以看出，电子级磷酸技术在国内可谓低水平状态，国外出口的是他们的技术，并不是他们的资源。CompanyLogo电子级磷酸价格电子级磷酸的价格随其质量的高低差异也较大,一般电子级磷酸约1~2万元/吨,其金属离子杂质总含量在1.68mg·L-1(1ppm)以下的高纯电子级磷酸售价更高。近几年，国内外磷酸价格受能源、原材料价格影响较大，国际市场价格约为15000元/吨，国内市场价格在10000元/t左右。电子级磷酸项目将提升磷酸毛利率电子级磷酸的门槛比较高，国内的电子级磷酸，尤其是IC级的磷酸基本上都是进口的。IC级磷酸价格在1.2-2万元/吨，远高于面板级磷酸价格。按照2013年国内电子级磷酸需求量16万吨，其中面板级10万吨(单价7000元/吨)，IC级6万吨(单价15000元/吨)，市场合计约16亿元。CompanyLogo电子级磷酸市场调研及决策我公司对电子级磷酸的了解不多，包括国内电子级磷酸的各项资料和信息较少，国际对电子级磷酸研究的也较少。因此，我们还需要对此产品继续深入了解和研究。【深入市场调研】我国新发布的2011标准分为E1,和E2级别，两种级别能否满足国内各种电子市场要求？能否满足国外的电子市场要求？与国外电子市场要求标准的差别是什么？需要我们进一步