《锇靶材》规范要求

1YS/T××××—××××锇靶材本文件规定了锇靶材的分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。本文件适用于微波电真空领域阴极镀膜用锇靶材。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件，不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T1031产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值GB/T1804一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法GB/T6394金属平均晶粒度测定方法GB/T15077贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法GB/T23613锇粉化学分析方法.镁、铁、镍、铝、铜、银、金、铂、铱、钯、铑、硅量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法3术语和定义本文件没有需要界定的术语和定义。4分类4.1产品分类锇靶材按成分分为MC-Os99.95、MC-Os99.99两个等级。锇靶材按形状分为圆盘状、矩形等。圆盘状直径主要有50.8mm、76.2mm等，厚度为3mm~6mm。锇靶形状还可提供矩形等。经供需双方协商，可提供其他形状及规格的锇靶材。5技术要求5.1化学成分2YS/T××××—××××锇靶材的化学成分应符合表1的规定。锇含量（质量分数）为100%减去表1中所列杂质实测值的余量。需方对某种特定元素含量有要求的，由供需双方协商确认。表1锇靶材的化学成分质量分数%NiNa5.2几何尺寸及公差锇靶材的尺寸、规格与用户的设备型号相关，一般由需方提供图纸，供需双方协商确认。图纸中，未标注的公差按GB/T1804的中等m级执行。5.3晶粒尺寸锇靶材的平均晶粒尺寸应不大于30μm，且晶粒分布均匀。5.4致密度锇靶材的致密度不低于95%（相对于理论密度22.59g/cm3的实测密度不应低于21.46g/cm3）。5.5表面粗糙度锇靶材的表面粗糙度Ra值应不大于5.0μm。5.6外观质量3YS/T××××—××××锇靶材的表面应无凹坑、孔洞、裂纹、凸起、划伤等缺陷，应清洁光滑、无颗粒附着、无油污和锈蚀。6试验方法6.1锇靶材中Mg、Al、Si、Fe、Cu、Ni、Au、Ag、Pt、Rh、Pd、Ir元素含量的测定按照GB/T23613标准的规定进行，Na元素含量的测定由供需双方协商确定，或参考GB/T23275标准进行分析。6.2锇靶材的几何尺寸按GB/T15077规定执行。需方有特殊要求时，可按技术协议或相应精度的量具进行检测。6.3锇靶材的晶粒尺寸的检测按GB/T6394规定进行。6.4锇靶材的致密度的检测按GB/T3850规定进行。6.5锇靶材的表面粗糙度由相应精度的表面粗糙度仪检测，按GB/T1031规定执行。6.6锇靶材的外观质量用目视检查，如发现异常现象，应在10倍放大镜条件下检查确认。7检验规则7.1检查和验收7.1.1锇靶材产品应由供方质量检验部门进行检验，保证产品质量符合本文件（或订货单）的规定，并填写随行文件。7.1.2需方可按本文件的规定对收到的产品进行检验，如检验结果与本文件及合同（或订货单）的规定不符时，应在收到产品之日起30日内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供需双方在需方场所共同进行。7.2组批锇靶材产品应成批提交验收，每批应由同一牌号、同一规格的产品组成。7.3检验项目及取样7.3.1产品应进行化学成分、几何尺寸及公差、晶粒尺寸、致密度、表面粗糙度和外观质量的检验。检验项目、取样位置和数量应符合表2的规定。根据用户要求提供随样。表2取样要求4YS/T××××—××××7.3.2晶粒尺寸及致密度测定应在锇靶材坯料半成品尺寸加工前进行，取样尺寸为10mm×10mm~20mm×20mm，取样示意图如图1所示。（a）圆形（b）矩形图1锇靶材分析取样示意图7.4检验结果判定7.4.1化学成分检验不合格时，则该批产品不合格。7.4.2几何尺寸及公差检验不合格时，则判该件产品不合格。7.4.3晶粒尺寸检验不合格时，则判该件产品不合格；剩余产品取双倍数量试样进行重复试验，若有一个不合格，则判整批产品不合格。7.4.4致密度检验不合格时，则判该批产品不合格。7.4.5表面粗糙度检验不合格时，则判该件产品不合格。7.4.6外观质量检验不合格时，则判该件产品不合格。8标志、包装、运输、贮存和质量证明书8.1标志8.1.1在检验合格的锇靶材上，在指定位置标明供方名称、牌号及生产批号。8.1.2产品外包装上应贴标签，内容包括：a)供方名称；b)产品名称；c)牌号；d)产品规格；e)需方名称；f)订单编号；5YS/T××××—××××g)生产批号；h)出厂日期；8.2包装8.2.1产品包装应在洁净间进行，靶材经过全面清洗，真空干燥后单片独立真空封装，真空袋封口要平整，无真空泄露。8.2.2外包装采用纸盒或中空盒包装。包装盒内应有软质填充材料填充。8.3运输和贮存产品在运输时，应注意防震、防潮、防压，防止真空包装受损，防止二次污染。8.4随行文件每批产品应有随行文件，随行文件应注明：a)供方名称、地址、电话；b)产品名称；c)牌号；d)产品规格；e)产品数量；f)生产批号；g)检测结果和供方质检部门印章；h)出厂日期。9订货单内容需方可根据自身需要，在订购本文件所列产品的订货单内，列出下列内容：a)产品名称；b)牌号；