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文档简介

XX公司第1共6页1材料溶化,用直拉法生长单晶的设备。900118"60Kg6"8"的(1201型炉,采用18”或20”热场,投料量最大120Kg,,可拉制6"~10")本设备在性能和控制上都进行了改进。在机械结构方面采用了先进的磁流体密封技术、拱形190g的不锈钢丝绳。主要技术数据 9001 1201电 3相 3相变压器容量 230加热器最大加热功率 150加热器最高加热电压 最高加热温度 冷炉极限真空度 晶体直径 熔料量 主炉室尺寸 旋阀通径 副炉室尺寸 籽晶拉速范围 籽晶快速 籽晶转速范围 编制校对批准签名签名日期第 共6坩埚升速范围 坩埚快速 坩埚转速范围 籽晶提升有效行程 坩埚升降有效行程 主机占地面积 3.22.主机最大高度 室 相对湿 外界振 当大于10HZ时,振幅应小于压力 第 共6流量 ≥20m3PH值 电阻值 电压:3氩气纯度 5.第 共6第 共655℃时,给出报警信号。第 共620~30

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