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文档简介
页第-PAGE14.14.1.3→三瓣埚→坩埚底盘→中保温罩→石墨中轴→加热器→下保温罩和底盘(如下图 取导流 取热屏支撑 取上保温 取三瓣 取坩埚底 取中保温 取石墨中 取加热页第-PAGE2 (见下图打磨夹 打磨外表O页第-PAGE34.1.3.8.34.1.3.8.44.1.3.8.54.1.3.8.64.2(见右图(见下图(见右图页第-PAGE4(见下图 2cm页第-PAGE53mm)(见右图)--PAGE64.2.10
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