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CalibrationSpecificationofGlowDischargeOpticalEmi2024-05-16发布北京市市场监督管理局发布辉光放电光谱仪校准规范CalibrationSpecificationDischargeOpticalEmissionSpec主要起草单位：钢研纳克检测技术股份有限公司北京市计量检测科学研究院首钢集团有限公司技术研究院参加起草单位：国标（北京）检验认证有限公司本规范委托北京市计量检测科学研究院负责解释（北京市计量检测科学研究院）（首钢集团有限公司技术研究院）参加起草人：（北京市计量检测科学研究院）I (Ⅱ) （1） （1） （1） （1） （2） （2） （3） （4） （5） （6） （8） （9）—2021《表面化学分析辉光放电发射光谱使用介绍1辉光放电光谱仪校准规范辉光放电光谱仪即辉光放电原子发射光谱仪（GD-OES）（以下简称光谱仪），其原理是将表面平整的样品作为阴极，当直流或射频辉光生阴极溅射，被溅射的原子扩散到等离子体中，其强度的大小或通过计算强度与时间的函数，从而实（或深度剖析）。其中，实现元素定量分析时，通过已知元≤0.01%≤0.003%≤0.01%≤0.002%25.1.1环境温度20～25）℃;相对湿度：20%~80%；5.1.3仪器周围无影响正常工作的机械振动和电磁干扰，无按仪器说明书要求开机预热，调整至正常工（1）3 （2）RSD—测量重复性； 4RSDy—厚度测量重复性，%；yi—厚度单次测量值,μm； ）；540～906s1s2s3s4s5789D.1.4环境温度：室温21℃,相对湿度51%。y=0.4730x+0.0069DL—仪器检出限，%(DL)=cu(s)2+cu(b)2（D.2）12345xi xi-x yyiyi-y绘制工作曲线所用的系列标准物
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