氮气供应系统作业指导书

环境管理文件文件编号：CSG-GL-004版本号：A生效日期：2011-08-10修改状态：0扬州宇理电子有限公司第2页共2页氮气供应系统作业指导书编号：CSG-GL-004版次：A0编制：审核：批准：发布日期：2011年08月01日生效日期：2011年08月10日更改记录序号修改条款及内容摘要审核批准/日期1.目的(Purpose)：建立氮气供应系统的操作和安全点检项目，保证设备的正常运作。2.范围(Scope)：本公司所使用之氮气供应设备的操作、维护、保养方法。3.权责(Responsibility)：3.1工务部轮班工程师:负责设备的操作、巡检和参数的记录;4.名词定义(Definition)：无5.程序内容(OperatingRequirement)：5.1液氮充填程序5.1.1充填前氮气厂商充填人员在充填前需配戴个人防护用具（安全眼镜，防冻手套）。5.1.1.2充填人员在充填氮气前需先附氮气分析报告表，由工务人员确认无误后方可充填5.1.1.3充填前需登录储槽压力、液位，并检视四周环境是否有易燃物品，严禁烟火5.1.2充填中5.1.2.1拆开储槽充填接头盲板，安装充填软管。5.1.2.2检查储槽上部与底部充填阀是否关闭，如则将其关闭5.1.2.3打开槽车充填泵浦进，出口阀及回流阀，做充填泵浦之预冷（10~15分钟）5.1.2.4拉出电源线正确插入电源箱座激活电源，检查槽车上电压指示及充填泵浦预冷状况5.1.2.5管线冲完成后，关闭储槽入口前之充填排气阀，打开储槽上部与底部充填阀，关闭储槽升压阀5.1.2.5开启槽车加压阀升压，加压时压力表指示需在规定安全红线范围内，待充填泵浦预冷完成后激活槽车充填泵浦;5.1.2.6关闭槽车回流阀，充填时应注意储槽上部与底部充填阀之调配，避免压力低于于最低使用压力;5.1.2.7充填时需注意槽压力（<250PSIG）与液位（<200inchW.G），及氮气是否有泄漏，打开储槽检液阀至有液体流出，速关闭储槽检液阀，关闭电源开关，关闭槽车升压阀，关闭充填泵浦进、出口阀，打开充填泵浦回流阀，关闭储槽上部与底部充填阀，打开储槽升压阀。5.1.3充填后5.1.3.1打开储槽充填入口前之前排气阀，排放管内余压，将储槽盲板固定接头装回，充填软管收回放置软管箱内。打开槽车排放阀，泄放降压压安全规定。拆下电源插座接头收回电缆线。5.1.3.4会同工务人员检查各阀，并登录充填后之压力、液位，检查各凡尔、管线状况无误后签收。5.2N2之点检、安全库存、叫货及充填5.2.1.N2槽液位需每日点检两次以上5.2.2.N2槽之安全库存量应为2日之用量。（参考最近1个月之平均用量）5.2.3.当N2槽液位低于安全库存量时（约1600mm桶高）需立即通知原供应厂商充填。5.2.4.当N2槽液位容量低于1/2安全库存量（约900mm桶高）时，需立即联络原供应厂商紧急充填及通知工务主管。5.2.5.氮气充填时需依标准程序填充并填表记录。5.3N2之使用5.3.1升阀V-3需保持常开，确保桶压维持9.5~10.5kg/㎝²，最高压力<12kg/㎝²。5.3.2.每日巡检交换蒸发器一次以上，如有结冰严重,则替换蒸发器的使用;5.4N2供应异常时（N2槽低液位）步骤处理动作位置责任者备注（注意事项）1.确认N2槽之状况·压力低于10kg/cm2将加压阀打开提高压力·N2槽本身之凡而值班工程师立即反应系统负责人2.联络BOC·立即派车来填加N2·N2槽系统负责人5.5当机反应程序及时效发现人系统负责人课主管部主管行政副总立即30min1hrs2hrs4hrs(重大异常)5.6液氮泄漏应急处理:5.6.1.通知附近人员疏散5.6.2.关闭厂内面向槽体之窗户5.6.3.关闭外气空调箱5.6.4.通知生产线使用氮气设备转为干燥空气5.6.5.管路泄漏(关闭液氮出口阀)槽体泄漏(打开2组蒸发器)5.6.6.泄漏停止后,检查受损结构,管件,并请厂商修复槽体.5.7环保、安全、卫生注意事项5.7.1高压气体特定设备安全手则:为防止灾害发生凡发现有异状时,操作人员应即采取适当措施并应经常注意事项,应确认安全阀压力表及其它安全设备无异状后方可使用,尽力避免急据之负荷变动,保持压力在最高压力允许之下尽力保持安全阀之机能正常.5.7.2漏气实验时需用肥皂水或检知器5.7.3容器及设备切勿猛力冲击或任意敲打以免漏气5.7.4对阀体操作时原则上应以徒手操作,无法徒手操作时得使用规定阀板手,但不得以异常姿势或数人以上使力加诸于阀上超过容许扭矩,遇有操作困难或有异常时,应迅速报请主管人员处理.5.8其它注意事项5.8.1保养时先确定机台在停机状态否,再将电源OFF,确保维修人安全.5.8.2保养过程中,设备零件不堪使用时,勿使用,须换新品再投入运作,保养时请用厂商提供之规格部品,代替品来使用.5.8.3将保养后机台周边环境清理,部品,工具归位.