一种硅片烧结炉气体抽排装置

本发明公开了一种硅片烧结炉气体抽排装置，包括抽排装置的吸风罩、位于吸风罩内的清理机构和位于吸风罩上方的过滤装置，所述清理机构包括升降板、下端螺纹贯穿升降板的螺纹杆、位于升降板外侧的多个连接板和角板，所述螺纹杆上端通过轴承连接穿过吸风罩且与电机连接，所述连接板与升降板活动连接，且所述角板与相邻的连接板活动连接且与升降板组成田字结构，所述连接板和角板的侧壁与吸风罩的内侧壁滑动接触，所述过滤装置包括过滤组件，所述过滤组件包括储存仓和位于储存仓上敞口的盖板，所述储存仓内设置有倒U管和多个输气管，本发明解决现有的片烧结炉气体抽排装置极易将火焰抽取到吸风罩和管道内，并引燃吸风罩和管道内侧壁油脂的1装置的吸风罩(1)、位于吸风罩(1)内的清理机构(3)和位于吸风罩(1)上方的过滤装置(2),所述清理机构(3)包括升降板(32)、下端螺纹贯穿升降板(32)的螺纹杆(31)、位于升降板(32)外侧的多个连接板(33)和角板(34),所述螺纹杆(31)上端通过轴承连接穿过吸风罩(1)且与电机连接，所述连接板(33)与升降板(32)活动连接，且所述角板(34)与相邻的连接板(33)活动连接且与升降板(32)组成田字结构，所述连接板(33)和角板(34)的侧壁与吸风罩(1)的内侧壁滑动接触，所述过滤装置(2)包括过滤组件(5),所述过滤组件(5)包括储存仓(51)和位于储存仓(51)上敞口的盖板，所述储存仓(51)内设置有倒U管(513)和多个输气管(512),多个所述输气管(512)并联安装在储存仓(51)内底板上，所述倒U管(513)的一端与多个输气管(512)连接且另一端密封穿过储存仓(51)的底板与抽风机连接，且所述抽风机与吸风罩(1)的顶板连接，所述储存仓(51)内储存有去油剂且倒U管(513)最上端伸入去油剂液面，所述抽风机工作将吸风罩(1)的气体输入去油剂中且脱离去油剂的气体通其特征在于，所述升降板(32)设置为十字结构，所述升降板(32)的板体开设有插槽(321),且所述插槽(321)内侧壁2固定连接有卡板(322),所述连接板(33)设置为T型结构，所述连接板(33)插入插槽(321)板体的侧壁开设有卡槽(331),所述卡板(322)安装在卡槽(331)内，且所述插槽(321)内的弹簧与连接板(33)和升降板(32)连接。其特征在于，所述连接板(33)远离升降板(32)的侧壁开设有插接槽(332),所述角板(34)设置为L型结构，所述角板(34)两个板体分别活动插入相邻两个连接板(33)的插接槽(332)内。其特征在于，所述吸风罩(1)下方设置有收集机构(4),所述收集机构(4)包括收集仓(41)和喷淋管(42),所述收集仓(41)设置为矩形结构且上侧面开设有收集槽，所述收集仓(41)上侧壁内边缘固定连接有多个弧形卡板(43),所述喷淋管(42)设置为矩形结构且所述弧形卡板(43)套设在喷淋管(42),且所述喷淋管(42)通过管道与外界阻燃剂和泵机其特征在于，所述收集仓(41)的两端均固定连接有连板(44)和安装在连板(44)上的卡扣柱(45),所述吸风罩(1)两端外侧壁开设有卡扣槽(11),所述卡扣柱(45)安装在卡扣槽(11)内。3其特征在于，所述过滤装置(2)还包括两个储存机构(6),所述过滤组件(5)还包括清理器件(52),所述清理器件(52)位于储存仓(51)内，所述储存仓(51)的两端壁开设有输出孔(511),所述储存机构(6)分别安装在储存仓(51)的两端外侧且正对输出孔(511),所述清理器件(52)清理去油剂的表面移送至储存机构(6)。其特征在于，所述清理器件(52)包括双向螺杆(521)、两个对称放置在双向螺杆(521)下方的清理板(523)和支撑器件 (522),所述支撑器件(522)包括支撑框(5221)和安装在支撑框(5221)上的竖板(5223),所述竖板(5223)上端固定连接的内螺纹管(5225)螺纹套设在双向螺杆(521),所述竖板(5223)内设置有与电机输出轴连接的调节螺杆(5224),所述清理板(523)上端活动穿过支撑框(5221)且调节螺杆 (5224)下端螺纹插入清理板(523)内，所述清理板(523)设置为L型结构，且所述清理板(523)水平板上侧面设置为倾其特征在于，所述支撑框(5221)的两端均固定连接有滑动卡板(5222),所述储存仓(51)内两正对侧壁均对称开设有两个滑动卡槽(514),所述滑动卡板(5222)安装在滑动卡槽(514)4内，所述双向螺杆(521)的两端通过轴承连接穿过储存仓(51)9、根据权利要求6所述的一种硅片烧结炉气体抽排装置，其特征在于，所述清理器件(52)包括两个对称设置的清理组件，所述清理组件包括清理板(523)和两个分别对称放置在清理板(523)两端的传动带(524),所述清理板(523)设置为L型结构，且所述清理板(523)水平板上侧面设置为倾斜结构，所述传动带(524)外侧固定连接的套管套设在清理板(523)两端面上端的轴体上，所述清理板(523)两端面下端固定连接有限制轴(5231),所述传动带(524)内两端设置有皮带轮 (5241),所述储存仓(51)内两正对侧壁均对称开设有两个限制环槽(515),所述储存仓(51)内设置有两个对称放置的转动轴(516),所述转动轴(516)与电机的输出轴连接，两个所述清理组件相互靠近放置的四个皮带轮(5241)分别套设在两个转动轴(516)上且其余皮带轮(5241)套设在连轴(517)10、根据权利要求9所述的一种硅片烧结炉气体抽排装置，其特征在于，所述储存机构(6)包括储存壳和底板(63),所述储存壳下侧面开设有输料孔(62)且靠近储存仓(51)的侧壁开设有进料孔(61),所述输料孔(62)的侧壁开设有阶梯槽，所述底板(63)通过抵压机构(64)安装在输料孔(62)1技术领域本发明涉及烧结炉气体抽排技术领域，具体为一种硅片烧有着惊人的运算能力。科学技术的发展不断推动着半导体的发展。在硅片生产中，需要经过多重生产工艺的加工才能制作出其中包括硅片的烧结工艺，硅片需要依次经烘干区、烧结区以及冷却区，烘干区通常为一端供给热风另一端连接燃烧塔硅片烧结炉气体抽排装置，该气体抽排装置包括抽风机、开口朝下的吸风罩、吸风管及出风管，吸风罩设于烘干炉腔和烧结炉腔之间，烧结炉腔上靠近吸风罩的一侧腔壁上贯穿有缺口，吸风罩的左端穿过缺口位于烧结炉腔内。上述专利解决有机废气随输送装置溢出，造成车间的环境造成污染和有机废气会在烧结炉腔内壁上凝结成的油污遇火燃烧的问题，但是，吸风罩和管道在输送有机废气的同时其内侧壁也会粘附大量的油脂，同时吸风罩与烧结炉腔相通，在抽风机作用有机废气流通至吸风罩和管道，同时烧结炉腔内的火焰2也会流通至吸风罩和管道，极易造成吸风罩和管道内油脂燃烧发生安全事故，为了解决上述问题，本发明人设计了本方案。本发明的目的在于提供一种硅片烧结炉气体抽排装置，旨在改善现有的片烧结炉气体抽排装置极易将火焰抽取到吸风罩和管道内，并引燃吸风罩和管道内侧壁油脂的问题。一种硅片烧结炉气体抽排装置，包括抽排装置的吸风罩、位于吸风罩内的清理机构和位于吸风罩上方的过滤装置，清理机构包括升降板、下端螺纹贯穿升降板的螺纹杆、位于升降板外侧的多个连接板和角板，螺纹杆上端通过轴承连接穿过吸风罩且与电机连接，连接板与升降板活动连接，且角板与相邻的连接板活动连接且与升降板组成田字结构，连接板和角板的侧壁与吸风罩的内侧壁滑动接触，过滤装置包括过滤组件，过滤组件包括储存仓和位于储存仓上敞口的盖板，储存仓内设置有倒U管的一端与多个输气管连接且另一端密封穿过储存仓的底板与抽风机连接，且抽风机与吸风罩的顶板连接，储存仓内储存有去油剂且倒U管最上端伸入去油剂液面，抽风机工作将吸风罩的气体输入去油剂中且脱离去油剂的气体通过盖板上的管采用上述技术方案，吸风罩的设置便于在抽风机作用下将3连接板插入插槽板体的侧壁开设有卡槽，卡板安装在卡槽内，4具有远离升降板的趋势，为连接板和角板与吸风罩的侧壁接触进一步的，连接板远离升降板的侧壁开设有插接槽，角板设置为L型结构，角板两个板体分别活动插入相邻两个连接板进一步的，吸风罩下方设置有收集机构，收集机构包括收收集仓上侧壁内边缘固定连接有多个弧形卡板，喷淋管设置为矩形结构且弧形卡板套设在喷淋管，且喷淋管通过管道与外界采用上述技术方案，收集机构的设置便于通过其工作收集从吸风罩内侧壁上脱离的油脂，且在油脂上方喷射阻燃剂，防止烧结炉腔内火焰窜出点燃油脂，收集仓的设置便于为油脂临时储存提供空间，喷淋管的设置便于在泵机作用下将阻燃剂喷射在收集仓内油脂上表面，弧形卡板的设置便于利用其形变特性为喷淋管安装在收集仓上提供便利，同时使其稳定安装。进一步的，收集仓的两端均固定连接有连板和安装在连板上的卡扣柱，吸风罩两端外侧壁开设有卡扣槽，卡扣柱安装在采用上述技术方案，卡扣槽的设置便于为卡扣柱的安装提供空间，进而使收集仓稳定安装在吸风罩的下方，同时为快速56组件包括清理板和两个分别对称放置在清理板两端的传动78图2是本发明的抽排装置结构示意图；图3是本发明的收集机构结构示意图；图4是本发明的清理机构结构示意图；图5是本发明的升降板结构示意图；图6是本发明的连接板结构示意图；图7是本发明的过滤机构结构示意图；图8是本发明的储存仓第一视图；图9是本发明的清理器件第一视图；图10是本发明的储存仓第二视图；图11是本发明的清理器件第二视图；图12是本发明的储存机构结构示意图；图13是本发明的抵压机构结构示意图；图14是本发明的主板结构示意图；图15是本发明的抵压器件结构示意图；构；31、螺纹杆；32、升降板；321、插槽；322、卡板；33、连接板；331、卡槽；332、插接槽；34、角板；4、收集机构；41、收集仓；42、喷淋管；43、弧形卡板；44、连板；45、卡517、连轴；52、清理器件；521、双向螺杆；522、支撑器件；5221、支撑框；5222、滑动卡板；5223、竖板；5224、调节螺9杆；5225、内螺纹管；523、清理板；5231、限制轴；524、传63、底板；64、抵压机构；641、主板；6411、斜槽；6412、卡扣滑槽；642、抵压器件；6421、螺杆；6422、辊体；6423、支为使本发明实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的实施例1:参照图所示：一种硅片烧结炉气体抽排装置，包括抽排装置的吸风罩1,吸风罩1两端外侧壁开设有卡扣槽11。参照图2、图4、图5和图6所示：在吸风罩1内部设置有清理机构3,清理机构3包括升降板32、下端螺纹贯穿升降板32的螺纹杆31、位于升降板32外侧的多个连接板33和角板34,升降板32、连接板33和角板34设置为田字结构，螺纹杆31上端通过轴承连接穿过吸风罩1且与电机连接，升降板32设置为十字结构，升降板32的板体开设有插槽321,且插槽321内侧壁固定连接有卡板322,插槽321内设置有弹簧，连接板33设置为T型结构，连接板33插入插槽321板体的侧壁开设有卡槽331,卡板322安装在卡槽331内，弹簧的两端分别与连接板33和升降板32连接，连接板33远离升降板32的侧壁开设有插接槽332,角板34设置为L型结构，角板34两个板体分别活动插入相邻两个连接板33的插接槽332内，连接板33和角板34的侧壁与吸风罩1的内侧壁滑动接触。参照图2和图3所示：吸风罩1下方设置有收集机构4,收集机构4包括收集仓41和喷淋管42,收集仓41的两端均固定连接有连板44和安装在连板44上的卡扣柱45,卡扣柱45安装在卡扣槽11内，收集仓41设置为矩形结构且上侧面开设有收集槽，收集仓41上侧壁内边缘固定连接有多个弧形卡板43,喷淋管42设置为矩形结构且弧形卡板43套设在喷淋管42,且喷淋管42通过管道与外界阻燃剂和泵机连接。参照图2所示：在吸风罩1上方设置有过滤装置2,过滤装置2包括过滤组件5和两个储存机构6。参照图7和图8所示：过滤组件5包括储存仓51、位于储存仓51上敞口的盖板和位于储存仓51内的清理器件52,储存仓51的两端壁开设有输出孔511,储存仓51内两正对侧壁均对称开设有两个滑动卡槽514,储存仓51内设置有倒U管513和多个输气管512,多个输气管512并联安装在储存仓51内底板上，倒U管513的一端与多个输气管512连接且另一端密封穿过储存仓51的底板与抽风机连接，且抽风机与吸风罩1的顶板连接，储存仓51内储存有去油剂且倒U管513最上端伸入去油剂液面，抽风机工作将吸风罩1的气体输入去油剂中且脱离去油剂的气体通过盖板上的管道与废气燃烧塔连接，储存机构6分别安装在储存仓51的两端外侧且正对输出孔511,清理器件52清理去油剂的表面移送至储存机构6。参照图9所示：清理器件52包括双向螺杆521、两个对称放置在双向螺杆521下方的清理板523和支撑器件522,支撑器件522包括支撑框5221和安装在支撑框5221上的竖板5223,竖板5223上端固定连接的内螺纹管5225螺纹套设在双向螺杆521,竖板5223内设置有与电机输出轴连接的调节螺杆5224,清理板523上端活动穿过支撑框5221且调节螺杆5224下端螺纹插入清理板523内，清理板523设置为L型结构，且清理板523水平板上侧面设置为倾斜结构，支撑框5221的两端均固定连接有滑动卡板5222,滑动卡板5222安装在滑动卡槽514内，双向螺杆521的两端通过轴承连接穿过储存仓51的端壁与电机参照图12、图13、图14和图15所示：储存机构6包括储存壳、底板63和位于储存仓下方两端的两个抵压机构64,储存壳下侧面开设有输料孔62且靠近储存仓51的侧壁开设有进料孔61,进料孔61与输出孔511正对，输料孔62的侧壁开设有阶梯槽，底板63通过抵压机构64安装在输料孔62内，抵压机构64包括主板641和抵压器件642,主板641安装在储存仓下方两端，两个主板641相互远离侧壁下端开设有卡扣滑槽6412且另两个正对侧壁均开设有斜槽6411,抵压器件642包括两个辊体6422和两个支撑板6423,两个辊体6422通过轴承活动安放置，上侧辊体6422抵压底板63,下侧辊体6422螺纹贯穿设置有螺杆6421,螺杆6421的一端固定连接的卡扣滑板安装在卡扣滑槽6412内。腔间的气体输送至过滤装置2,卡扣槽11的设置便于为卡扣柱45的安装提供空间，进而使收集仓41稳定安装在吸风罩1的下清理机构3的设置便于通过其工作清理粘附在吸风罩1内侧壁上的油脂，避免烧结炉腔内火焰窜出点燃粘附在吸风罩132的设置便于在螺纹杆31的作用下升降，迫使连接板33和角板34相对吸风罩1移动且使用与吸风罩1的侧壁接触，以便清理吸风罩1内侧壁上粘附的油脂落在收集仓41内，弹簧的设置便于通过其工作使连接板33具有远离升降板32的趋势，为连接板33和角板34与吸风罩1的侧壁接触提供便利。收集机构4的设置便于通过其工作收集从吸风罩1内侧壁上脱离的油脂，且在油脂上方喷射阻燃剂，防止烧结炉腔内火焰窜出点燃油脂，收集仓41的设置便于为油脂临时储存提供空间，喷淋管42的设置便于在泵机作用下将阻燃剂喷射在收集仓41内油脂上表面，弧形卡板43的设置便于利用其形变特性为喷淋管42安装在收集仓41上提供便利，同时使其稳定安装。过滤装置2的设置便于通过其工作去除从吸风罩1输送至废气燃烧塔气体中油脂，避免油脂粘附在气体输送管道侧壁上且在火焰的作用下燃烧，进一步提高抽排装置安装的稳定性，过滤组件5的设置便于通过其工作有效去除气体中的油脂，储存机构6的设置便于为油脂临时储存提供空间，且为工作人员储存仓51的设置便于为去油剂储存提供空间，同时为气体提供闭合空间，为脱离去油剂的气体继续沿着管道流通至废气燃烧塔内提供便利，去油剂的设置便于通过其工作冷却气体，使气体中的油脂冷却并留存在去油剂表面，清理器件52的设置便于通过其工作清理漂浮在去油剂上方的油脂，避免因油脂堆积的存在堵塞气体脱离去油剂的通道，输出孔511的设置便于为固状油脂输出储存仓51提供便利，倒U管513的设置便于利用其最上端高于去油剂液面的位置特性，防止去油剂沿着倒U管513流通至抽风机影响其使用，多个输气管512的设置利用其作用使气体在去油剂内广泛分布。双向螺杆521的设置便于在外力的作用下转动带动两个清理板523相互靠近或远离，进而使漂浮在去油剂表面流通并在清理板523的作用下输出储存仓51,支撑器件522的设置便于通过其工作连接清理板523和双向螺杆521,且在支撑器件522的作用下控制清理板523升降，以便清理板523移动至去油剂作下转动，控制清理板523升降，清理板523为L型结构的设输出孔511,然后油脂在自身重力的作用下下滑流通至储存壳身状态，为拆卸底板63提供便利，斜槽6411的设置便于为支撑板6423的活动贯穿提供空间，进而使两个辊体6422倾斜放置，使上侧辊体6422抵压底板63,螺杆6421的设置便于在外63,为拆装底板63提供便利，卡扣滑槽6412和卡扣滑板的设置便于配合工作使螺杆6421的一端活动插入主板641内，为上侧辊体6422移动提供便利。作使溢出的气体往吸风罩1内流通，同时在螺纹杆31的工作下带动连接板33和角板34清理吸风罩1内侧壁上