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文档简介

半导体元件磁控真空溅镀镀膜项目简介2021年7月

一、设备:

4条磁控溅镀薄膜生产线（Intevacmdp250A）二、产品:

谐波滤波传感器

薄膜元件(7个原子厚度/3nm)三、产能:

预计年产能1000万片(10x10公分)薄膜

设备/产品/产能溅镀工艺说明工艺说明:属高速低温溅镀法。1)要求真空度在1×10-3Torr左右，2)真空状态充入惰性气体氩气（Ar）3)在塑胶基材（阳极）和金属靶材（阴极）之间加上高压直流电，由于辉光放电（glowdischarge）产生的电子激发惰性气体，产生等离子体，等离子体将金属靶材的原子轰出，沉积在塑胶基材上。客户/潜在客户市场和目标客户取决于以石墨烯为基础的产品，例如透明导电薄膜、显示屏、复合材料、涂料、电池、生物医学、超级电容器、黏合剂、滤波器、催化剂、纺织品、传感器等、超强超轻防弹衣、无人机。1)半导体制造业者：台积电、联电、中芯、紫光、新芯、华为、中兴2)通讯设备制造商：中国移动、中国电信、中国联通、富士康3)AI机器人厂商、CNC机械：伊雪松、埃夫特、新松、鸿海、东元、上银、台达电4)家电用品制造商：格力、海信、海尔、美的、日立、三星、国际5)新能源发电、储能电池制造业者：比亚迪、普莱德、中航锂电、天能、力神、比克6)航空航天工业：杜邦、BASF、大疆7)汽车配备制造商：中国一汽、上汽、东风汽车、中国长安8)医疗器材制造业者：东软、万东、乐普、佳医、捷力达、思锐9)3D打印业者：3DSystem、EOS、Stratasys、HP、殷华、恒尚、尚拓、大诺、凯奥10)军工设备制造业者：太空科工、船舶重工、兵器工业、电子科技11)石化产品加工业者：中石化、台塑、台橡、台化、亚洲聚合、国乔12)电线、电缆、光纤生产业者：太电、华新丽华、宝胜、远东、熊猫、上上、金杯13)制造业

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