(高清版)GB∕T 37403-2019 薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)用四甲基氢氧化铵显影液

ICS31.030GB/T37403—2019四甲基氢氧化铵显影液crystaldisplay(TFT-LCD)国家市场监督管理总局中国国家标准化管理委员会GB/T37403—2019 I 4试验方法 3 4 5附录A(规范性附录)四甲基氢氧化铵的测定 6附录B(规范性附录)碳酸根离子的测定自动电位滴定法 附录C(规范性附录)氯离子的测定离子色谱法 附录D(规范性附录)甲醇的测定顶空气相色谱法 附录E(规范性附录)金属离子的测定电感耦合等离子体质谱法 附录F(规范性附录)颗粒数的测定 GB/T37403—2019本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。——1GB/T37403—2019四甲基氢氧化铵显影液本标准规定了薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)用四甲基氢氧化铵显影液的技术要求、试验方本标准适用于薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)用四甲基氢氧化铵显影液。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文GB190危险货物包装标志GB/T601化学试剂标准滴定溶液的制备GB/T602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备GB/T603化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备GB/T605化学试剂色度测定通用方法GB/T6678化工产品采样总则GB/T6680液体化工产品采样通则GB/T6682—2008分析实验室用水规格和试验方法GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定GB/T9725化学试剂电位滴定法通则GB/T11446.1电子级水GB/T11446.9电子级水中微粒的仪器测试方法GB15258化学品安全标签编写规定GB50073—2013洁净厂房设计规范JJF1159—2006四级杆电感耦合等离子体质谱仪标准规范3技术要求技术指标应符合表1的规定。2GB/T37403—2019IⅡⅢIⅡⅢIⅡⅢ色度555555555四甲基氢氧化铵%碳酸根离子氯离子甲醇锂(Li)111硼(B)111钠(Na)ll1镁(Mg)111铝(Al)111钾(K)11钙(Ca)111钛(Ti)111钒(V)111铬(Cr)111锰(Mn)111铁(Fe)111钴(Co)1113GB/T37403—2019IⅡⅢIⅡⅢIⅡⅢ镍(Ni)111铜(Cu)≤111锌(Zn)≤111砷(As)≤111钼(Mo)111银(Ag)111镉(Cd)111锡(Sn)≤111锑(Sb)≤111钡(Ba)111铅(Pb)≤111颗粒数(≥0.54.1.1本标准所用试剂和水在没有注明其他要求时，均指分析纯试剂和GB/T6682—2008中第5章规定的三级水。试验中所用标准滴定溶液、杂质标准溶液、制剂及制品，在没有注明其他要求时，均按GB/T601、GB/T602、GB/T4GB/T37403—2019标准中利用酸碱中和滴定法和自动电位滴定法检测薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)用四甲基氢氧化铵显影液中的四甲基氢氧化铵含量。采用自动电位滴定法可提高检测的准确度和精密度。四甲基氢氧化铵的含量按A.1和A.2的规定进行测定。按附录B的规定进行测定。按附录C的规定进行测定。按附录D的规定进行测定。按附录E的规定进行测定。按附录F的规定进行测定。5检验规则a)出厂检验项目为本标准规定的全部技术要求。检验结果的判定应按GB/T8170中规定的修约值比较法进行。检验结果中如有一项指标不符合标准的要求时，应重新对该批产品加倍取b)产品出厂时应附有安全技术说明书和质量证明书。型式检验项目为本标准规定的全部技术要求。型式检验结果中如有一项指标不符合标准的要求a)新产品或老产品转厂生产的试制定型时；e)国家质量监督机构提出进行型式检验的要求时。GB/T37403—20195.2.2采样方法为将包装置于GB50073—2013中3.0.1规定的2级洁净工作环境中，放置不少于30min。工作人员穿戴防护用具，按GB/T6678和GB/T5.2.3所采样品不少于800mL,将所采样品混匀，分装于两个清洁干燥的高密度聚乙烯(HDPE)瓶中，简化标签)。一瓶用于检验，另一瓶保存至少12个月备查。6.1采用包装专用高纯容器：密封小开口高密度聚乙烯桶或聚四氟乙烯内膜桶，或内衬聚四氟乙烯的6.3每批出厂的薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)用四甲基氢氧化铵显影液都应附有安全技术说明损坏导致物品泄露。远离热源、火源和氧化剂。有效期12个月。56GB/T37403—2019(规范性附录)四甲基氢氧化铵的测定A.1方法A——酸碱中和滴定A.1.1方法提要试样溶液中加入氯化钡溶液，将溶液中含有的碳酸根离子转化为碳酸钡沉淀，然后以酚酞为指示液，用盐酸标准滴定溶液滴定至溶液红色消失。A.1.2试剂A.1.2.1氯化钡溶液：100g/L,称取11.73g含结晶水(2个结晶水)的氯化钡，溶于水中，并稀释至A.1.2.2酚酞指示液：10g/L。A.1.2.3盐酸标准滴定溶液：a)盐酸标准滴定溶液1:c(HCl)=0.1mol/L;b)盐酸标准滴定溶液2:c(HCl)=1.0mol/L。准确称取规定量的试样，精确至0.0001g。注入250mL具塞锥形瓶中，加入10mL氯化钡溶液，静置30s,再加入50mL水和2滴～3滴酚酞指示液，选择合适的盐酸标准滴定溶液滴定至溶液红色消失，记下滴定所消耗的盐酸标准滴定溶液的体积。在相同条件下做空白，记录空白所消耗的盐酸标准滴定溶液的体积。不同浓度的显影液称取对应的样品质量，见表A.1。表A.1型号规格盐酸标准滴定溶液浓度样品质量g注：称取样品质量以所消耗盐酸标准滴定溶液体积占滴定管量程的70%为宜，此处以50mL酸式滴定管为例。A.1.4计算显影液中四甲基氢氧化铵的含量以“w₁”计，数值以“%”表示，按式(A.1)计算：…………(A.1)V₁——滴定试样时消耗盐酸标准滴定溶液体积的数值，单位为毫升(mL);7GB/T37403—2019取平行测定结果的算术平均值为测定结果，两次平行测定结果的相对偏差不大于0.2%。A.2方法B——自动电位滴定法(仲裁法)A.2.1方法提要显影液中四甲基氢氧化铵的氢氧根离子与滴定剂中的氢离子反应形成水，达到等当点时溶液的pH值约为8。A.2.2试剂符合GB/T6682规定的三级水规格，并按GB/T603规定制备无二氧化碳的水。A.2.4测定A.2.4.1.1推荐仪器工作环境：温度18℃~28℃,相对湿度30%～80%。8GB/T37403—2019A.2.4.2测定步骤A.2.4.2.1连接水相复合pH电极，按要求活化电极15min。A.2.4.2.2按仪器操作规程，开启自动电位滴定仪，稳定仪器。A.2.4.2.3进入操作界面，调取A.2.4.1.2中设定的检测方法。A.2.4.2.4按表A.2中的规定，不同浓度的显影液选择对应的盐酸标准滴定溶液，并称取对应的样品质量，精确至0.0001g。样品置于150mL带盖烧杯中，加入50mL水，上机测定。A.2表A.2四甲基氢氧化铵质量分数%盐酸标准滴定溶液浓度样品质量g20mL滴定管50mL滴定管353635A.2.4.2.5盐酸标准滴定溶液消耗体积和显影液pH值动态曲线如图A.1所示。9.598.5EP187.576.565.58.258.268.268.278.278.288.288.298.298.308.30V/mL注：以含25%四甲基氢氧化铵显影液的自动电位滴定图为示例。采用10mL滴定管，称取表1对应的样品量，用1.0mol/L盐酸标准滴定溶液上机滴定。图中EP1为自动电位滴定突跃点，即滴定终点。A.2.5计算显影液中四甲基氢氧化铵的含量以“w₁”计，数值以“%”表示，按式(A.2)计算：…………(A.2)9GB/T37403—2019式中：V——滴定试样时消耗盐酸标准滴定溶液体积的数值，单位为毫升(mL);c——盐酸标准滴定溶液浓度的准确数值，单位为摩尔每升(mol/L);M——四甲基氢氧化铵的摩尔质量，数值为91.15,单位为克每摩尔(g/mol);m——样品质量的数值，单位为克(g)。在相同条件下平行测定样品3次，要求结果的相对标准偏差(RSD)不大于0.2%,记录平均值。GB/T37403—2019(规范性附录)B.1方法提要的突跃点pH值均为8,第三个突跃是重碳酸根离子与氢离子反应形成碳酸，突跃点的pH约为5。测定碳酸根离子时消耗盐酸体积即为第三个突跃点与第二个突跃点对应体积的差值。B.2试剂符合GB/T6682规定的三级水规格，并按GB/T603规定制备无二氧化碳的水。B.2.2盐酸标准滴定溶液按A.2.3.1规定。B.3.2电极按A.2.3.2规定。B.4测定B.4.1方法设定参考条件B.4.2测定步骤B.4.2.1连接水相复合pH电极，按要求活化电极15min。GB/T37403—2019B.4.2.4按表B.1中的规定，不同质量分数的显影液称取对应的样品质量，精确至0.0001g。样品置于150mL带盖烧杯中，在密闭条件下，用盐酸标准滴定溶液2进行预中和至溶液pH约为11,此时不计所消耗盐酸体积。四甲基氢氧化铵质量分数%样品质量g2.38注1:四甲基氢氧化铵质量分数为2.38%时，样品质量以所消耗高浓度盐酸标准滴定溶液2的体积约为10mL为宜。注2:四甲基氢氧化铵质量分数为20%时，样品质量以所消耗高浓度盐酸标准滴定溶液2的体积约为45mL为宜。注3:四甲基氢氧化铵质量分数为25%时，样品质量以所消耗高浓度盐酸标准滴定溶液2的体积约为50mL为宜。B.4.2.5改用盐酸标准滴定溶液1,在密闭条件下，上机测定。B.4.2.6盐酸标准滴定溶液消耗体积和显影液pH值动态曲线如图B.1所示。9.598.5EP1舌7.576.564.5410.810.91111.111.211.311.411.511.611.711.811.91212.112.2V/mL581.0mol/L盐酸标准滴定溶液，再改用0.1mol/L盐酸标准滴定溶液上机滴定。图中EP1和EP2为自动电位滴定突跃点，测定碳酸根离子时消耗盐酸体积即为EP2点与EP1点对应体积的差值。B.5计算…………(B.1)GB/T37403—2019V₂——测定试样时EP2点消耗的盐酸标准滴定溶液体积的数值，单位为毫升(mL);V₁——测定试样时EP1点消耗的盐酸标准滴定溶液体积的数值，单位为毫升(mL);在相同条件下平行测定样品3次，要求结果的相对标准偏差(RSD)不大于20%,记录平均值。GB/T37403—2019(规范性附录)C.1方法提要C.2试剂和材料应符合GB/T11446.1中规定EW-I级电子级水。C.2.2氮气纯度不低于99.99%。C.2.3氯离子标准储备液1质量浓度为1000mg/L。C.2.4氯离子标准储备液2质量分数约1mg/kg。使用精密移液器准确移取0.1mL氯离子标准储备液1,溶于盛有约100gC.2.5氯离子标准应用液在临用前用水稀释成五个不同浓度的氯离子标准应用液。分别准确称取1g,3g,6g,9g,12g的氯离子标准储备液2至样品瓶中，加水稀释使得溶液总推荐选用以下配置：GB/T37403—2019注：也可选择其他适合检测氯离子的离子色谱仪配置。全氟烷氧基树脂(PFA)瓶。100μL～1000μL精密微量移液器。C.4测定C.4.1推荐的仪器操作条件推荐的仪器操作条件如下：a)柱温：30℃;b)淋洗液浓度：26mmol/L;c)淋洗速率：1.0mL/min;d)抑制器电流：65mA;e)样品进样量：20μL。注：可选择合适的阴离子分离柱、淋洗液及再生液的浓度和流速、进样的体积大小以及适宜的检测器灵敏度。C.4.2.1按照仪器操作规程开启离子色谱仪，按C.4.1推荐的仪器操作条件设置参数，仪器预热至基线C.4.2.2按C.2.5要求配制各梯度氯离子标准应用液，并将氯离子标准应用液依次按质量分数由低到高注入离子色谱仪，每个标准应用液平行测定两次。每个标准测定完毕后需用电子级水清洗离子色谱仪。C.4.2.3以氯离子质量分数为横坐标，峰高或峰面积的平均值为纵坐标，绘制氯离子标准曲线。C.4.2.4试样经中和处理后进入离子色谱仪检测，相同条件下做空白。用保留时间定性，根据峰高或峰面积定量，在标准曲线上查出氯离子的质量分数。显影液中氯离子的含量以“w₃”计，数值以“μg/kg”表示，按式(C.1)计算：…………(C.1)c——从氯离子标准工作曲线上查得试样中氯离子质量分数的数值，单位为微克每千克(μg/kg);V——样品中和处理后的总体积的数值，单位为毫升(mL);V₀——移取试样体积的数值，单位为毫升(mL)。C.6精密度、结果在相同条件下平行测定样品两次，要求结果的相对标准偏差(RSD)不大于10%,记录平均值。GB/T37403—2019(规范性附录)甲醇的测定顶空气相色谱法D.1方法提要在密闭的瓶内，在一定温度下，甲醇分子从液相中逸出液面至气相中，经过一定时间后甲醇分子在气液两相之间达到动态平衡，此时甲醇在气相中的浓度和液相中的浓度成正比，气相中的甲醇经毛细管D.2试剂和材料D.2.1氢气和载气气体纯度不低于99.99%。使用前需用脱水装置、硅胶、分子筛或活性炭等净化处理。D.2.2空气色谱纯。D.2.4甲醇标准储备液1000mg/L甲醇标准储备液，按GB/T602规定配制。D.2.5甲醇标准应用液在临用前用水稀释成五个不同质量分数的甲醇标准应用液。分别准确移取2mL,4mL,6mL,8mL,10mL的1000mg/L甲醇标准储备液至样品瓶中，加水稀释使得溶液总量100g,准确称量，摇D.3仪器和设备D.3.1气相色谱仪氢火焰离子化检测器(FID)和数据处理系统。D.3.2顶空进样装置顶空进样器或其他等效装置。D.3.3顶空瓶常用的容积为(22±0.5)mL,具衬聚四氟乙烯(PTFE)的硅橡胶或丁基橡胶垫及铝帽，垫中不应产生会干扰甲醇测定的杂质。GB/T37403—2019D.3.4卷压及脱帽工具用于密封和开启顶空瓶。全氟烷氧基树脂(PFA)瓶。D.4测定气相色谱仪操作参考条件如下：f)进样器温度：150℃;D.4.1.2顶空进样装置操作参考条件顶空进样器操作参考条件如下：a)炉温：70℃;c)样品传输线温度：130℃;D.4.2测定步骤D.4.2.1按仪器操作规程，打开气相色谱仪和顶空进样装置，按D.4.1仪器操作参考条件设置相应仪器D.4.2.2取D.2.5甲醇标准应用液和试样各10mL于顶空瓶中，立即用配套的硅橡胶瓶帽封紧瓶口。D.4.2.3按甲醇质量分数由低到高将甲醇标准应用液和试样依次放入顶空进样装置。GB/T37403—2019D.5精密度、结果在相同条件下平行测定试样3次，要求结果的相对标准偏差(RSD)不大于15%,记录平均值。D.6方法检出限准备显影液和定量加入20mg/kg甲醇标准溶液的显影液溶液，调节仪器至最佳工作状态，测定未加标准的显影液和加入标准的显影液中的甲醇含量，连续测定至少10次。检出限以“DL”计，数值以“mg/kg”表示，按式(D.1)计算：式中：…………(D.1)c——加入显影液中甲醇标准溶液质量分数的数值，单位为毫克每千克(mg/kg)[c=20];s——未加甲醇标准的显影液中甲醇的峰高或峰面积的标准偏差；S₁——加入甲醇标准的显影液中甲醇的峰高或峰面积平均值；S₀——未加甲醇标准的显影液中甲醇的峰高或峰面积平均值。未加甲醇标准的显影液中甲醇的峰高或峰面积的标准偏差以“s”计，按式(D.2)计算：式中：…………(D.2)x;——未加甲醇标准的显影液中甲醇的峰高或峰面积的数值；x——未加甲醇标准的显影液中甲醇的峰高或峰面积平均值；n——连续测定次数，n≥10。D.7加标回收率准备显影液试样及在试样中加入已知质量分数的甲醇标准溶液，调节仪器至最佳工作状态，测定显影液试样和加入已知浓度的标准溶液中的甲醇峰高或峰面积。加标回收率应控制在80%～120%。加标回收率以“p”计，数值以“%”表示，按式(D.3)计算：式中：…………(D.3)C₂——加入甲醇标准的显影液中甲醇质量分数的数值，单位为毫克每千克(mg/kg);C₁——未加甲醇标准的显影液试样中甲醇质量分数的数值，单位为毫克每千克(mg/kg);c——加入甲醇标准溶液质量分数的数值，单位为毫克每千克(mg/kg)。GB/T37403—2019(规范性附录)E.1方法提要E.2试剂和材料应符合GB/T11446.1规定的EW-I级电子级水。E.2.2超纯硝酸金属离子质量浓度不大于1pg/L。分别取E.2.4多元素标准储备液1mL于全氟烷氧基树脂(PFA)瓶中，加2mL超纯硝酸，用水稀E.2.6气体E.3仪器和设备E.3.1.1一般规定电感耦合等离子体质谱仪应符合JJF1159—2006中第4章的规定，仪器的选型不仅限于四级杆电感耦合等离子体质谱仪。E.3.1.2仪器组成GB/T37403—2019E.3.2移液器及吸头精密微量移液器量程：10μL～100μL,100μL～1000μL。吸头：洁净的聚丙烯(pp)吸头。全氟烷氧基树脂(PFA)瓶。E.4测定E.4.1样品测试液按GB50073—2013规定，推荐在洁净度等级为2级的环境中作业。样品按表E.1要求进行处理，稀释剂为电子级水。准确移取6份10mL经处理的待测试样，称量，精确至0.0001g,分别置于6个125mL的样品瓶中，用移液器依次加入0μL、50μL、200μL、500μL、700μL、1000μL多元素标准工作液(E.2.5),用电子级水稀释至100g,称量，摇匀待测。型号IⅡⅢⅡⅢIⅡⅢ样品稀释倍数555511E.4.2方法设定参考条件E.4.2.1推荐仪器工作环境：温度18℃~28℃,相对湿度30%～80%。E.4.2.2根据仪器操作规程和产品检测要求，设定相应的检测方法。E.4.3测定步骤E.4.3.1按照电感耦合等离子体质谱仪操作说明书开启仪器，优化仪器参数，使仪器达到最佳状态，并稳定30min以上。E.4.3.2调取E.4.2.2中设定的检测方法，选用标准加入法，依次检测空白试样、不加标准的基体溶液以及一系列样品测试液，每个样品平行测定三次。E.4.3.3以加入元素标准工作液质量浓度为横坐标，对应的强度值为纵坐标，绘制标准曲线，将曲线反向延长与横轴相交，交点即为待测元素的浓度。可在同一份基体中，逐级加入浓度成比例的多元素混合标准工作液。离子的含量以“w4”计，数值以“μg/kg”表示，按式(E.1)计算：…………(E.1)GB/T37403—2019c——标准曲线外延与横轴相交的截距的绝对值，单位为微克每千克(μg/kg);m——试样稀释后总质量的数值，单位为克(g);m₀——移取试样的质量，单位为克(g)。E.6精密度、结果在相同条件下测定同一批次产品的3个样品，其结果的相对标准偏差(RSD)不大于10%,记录平均值。E.7检出限和回收率E.7.1检出限配制四至五个质量分数成比例的待测元素的标准溶液及空白溶液，调节仪器至最佳工作状态，测定系列标准溶液的强度值，绘制工作曲线，同时连续10次测定空白溶液的质量浓度值。检出限以“DL“计，数值以”μg/kg”表示，按式(E.2)计算：c——加入标准溶液质量分数的数值，单位为微克每千克(μg/kg);s——空白溶液强度值标准偏差；S₁——加标后溶液强度值的平均值；S₀——空白溶液强度值的平均值。空白溶液强度值的标准偏差以“s”计，按式(E.3)计算：x;——空白溶液单次强度值；x——空白溶液强度值的平均值；n——测定次数，n≥10。…………(E.2)…………(E.3)待测元素的回收率应控制在80%～120%为宜。准备同体积基体溶液，一份不加标准溶液，一份加入一定质量分数的标准溶液。调节仪器至最