300MW光伏电池片项目职业病危害预评价报告书

第1页共36页300MW光伏电池片项目职业病危害预评价报告书1总论1.1项目背景XX有限责任公司成立于1994年9月,是以新能源、新材料、新技术为发展方向，以中西制药（生物工程）、玻璃新材料、太阳能光热光伏系列产品、油漆涂料、有机化工为主导产业，并涉及金融、投资、物流、外经贸领域的多元化产业民营企业集团。经集团董事会决议，于2006年底成立电池片项目组，筹建集团300MW电池片项目，该项目已经获得省发改委的重点批复。为了使该项目能顺利上马，于07年的9月12日注册成立XXXX太阳能电力股份有限公司，公司在XX市经十东路XX科技园内规划有生产基地136亩，拟建太阳能电池片及组件生产线。1.2评价依据1.2.1法律、法规、规章《中华人民共和国职业病防治法》主席令第60号[2001]《使用有毒物品作业场所劳动保护条例》国务院令第352号[2002]《突发公共卫生事件应急条例》国务院令第376号[2003]《建设项目职业病危害分类管理办法》卫生部令第49号[2006]《职业健康监护管理办法》卫生部令第23号[2002]《职业病危害因素分类目录》卫法监发[2002]第63号《职业病目录》卫法监发[2002]第108号《高毒物品目录》卫法监发[2003]第142号1.2.2规范、标准《工业企业设计卫生标准》GBZ1—2002《工作场所有害因素职业接触限值》GBZ2—2002《建设项目职业病危害评价规范》卫法监发[2002]第63号《工作场所空气中有害物质监测的采样规范》GBZ159—2004《工作场所空气有毒物质测定无机含氮化合物》GBZ/T160.29-2004《工作场所空气有毒物质测定氟化物》GBZ/T160.36-2004《工作场所空气有毒物质测定氯化物》GBZ/T160.37-2004《工作场所空气有毒物质测定醇类化合物》GBZ/T160.48-2004《工作场所空气有毒物质测定钠及其化合物》GBZ/T160.18-2004《职业健康监护技术规范》GBZ188-2007《工作场所职业病危害警示标识》GBZ158—2003《劳动防护用品选用规则》GB11651—1989《工业企业总平面设计规范》GB50187—1993《生产设备安全卫生设计总则》GB5083—1999《生产过程安全卫生要求总则》GB12801—1991《采暖通风与空气调节设计规范》GB50019—2003《建筑照明设计标准》GB50034—2004《建筑采光设计标准》GB/T50033—2001《工业企业噪声控制设计规范》GBJ87—1985《建筑设计防火规范》GB50016-20061.2.3基础依据1.3评价目的1.3.1贯彻落实国家有关职业卫生的法律、法规、规章、标准和国家的产业政策，从源头控制和消除本项目在生产过程和作业环境中产生或存在的职业病危害，防治职业病，保护劳动者健康。1.3.2通过职业病危害预评价工作，识别和分析本工程项目在生产过程和作业环境中可能产生或存在的主要职业病危害因素及其主要环节，预测可能造成的职业病危害及其程度，确定本工程项目职业病危害类别。1.3.3根据评价依据，论证和评价本项目拟采取的职业病危害防护措施的可行性、有效性和完整性，提出合理可行的职业病危害防护补充对策和建议，做出科学、客观、真实的职业病危害预评价结论，为本工程项目的职业病防护设施设计和施工提供参考和依据。1.3.4为卫生行政部门进行本工程项目职业卫生审查和职业病危害分类管理提供科学的技术依据。1.4评价范围本报告的评价范围主要包括本项目的光伏电池片生产（包括硅片受入、清洗、制绒、磷扩散、等离子刻蚀、去PSG、等离子化学气相沉淀、丝网印刷、烧结、分类检测、包装等）系统及其辅助设施和污水（中和）处理设施，主要针对项目投产运行后可能产生或存在的职业病危害及防治内容进行评价。1.5评价内容主要包括选址、总体布局、建筑卫生学要求、生产工艺和设备布局、职业病危害因素和危害程度及对劳动者健康的影响、职业病危害防护设施、辅助用室基本卫生要求、应急救援与预案、个人使用的职业病防护用品、职业卫生管理措施、职业卫生专项经费概算等。1.6评价方法1.6.1类比法通过对本项目现有生产单元及相似项目的职业卫生调查、工作场所职业病危害因素浓度（强度）检测、既往职业卫生资料以及对评价项目有关的文件、技术资料的分析，类推本项目运行过程中可能产生或存在的职业病危害因素的种类和危害程度，对职业病危害的隐患和后果进行风险评估，预测拟采取的职业病危害防护措施的防护效果。1.6.2经验法根据实际工作经验和掌握的相关专业知识，对照职业卫生有关法律、法规、标准等，借助经验和判断能力直观地对本项目运行期间可能存在的职业病危害因素进行识别、分析。1.7质量控制类比工程现场样品的采集、实验室分析以及评价报告编制过程的质量控制，均按国家现行标准检测方法、《XX市疾病预防控制中心质量手册》和《XX市疾病预防控制中心程序文件》的有关要求执行。所有测试仪器均经过计量部门检定认可。组织实施评价方案质控审查报告编制报告校对技术负责人审核内部审核送审稿组织实施评价方案质控审查报告编制报告校对技术负责人审核内部审核送审稿图1-1本项目评价过程质量控制程序1.8评价程序1.8.1准备阶段主要工作为接受建设单位委托、收集和研读有关资料、进行初步调查分析、编制预评价方案并进行技术审核、确定质量控制原则及要点等。建设项目职业病危害预评价应收集的主要资料见附录E。1.8.2实施阶段依据预评价方案开展评价工作。主要工作为工程分析、职业卫生现场调查、类比调查，并进行职业病危害因素定性、定量评价及风险评估。1.8.3完成阶段主要工作为汇总、分析实施阶段获取的各种资料、数据，通过分析、评价得出结论，提出对策和建议，完成职业病危害预评价报告书的编制,对职业病危害预评价报告书进行专家评审。准备阶段准备阶段实施阶段完成阶段————————————————————————————————————————————————接受建设单位委托1收集有关资料（法规、标准、技术资料）2初步调查分析3确定评价单元，筛选重点评价因子筛选重点评价项目拟订预评价方案确定预评价方案质控审查依据预评价方案开展评价工作职业病危害因素定性、定量评价及风险评估筛选重点评价项目建设项目工程分析职业卫生调查(现场、类比)汇总、分析资料得出结论提出对策和建议国家、地方有关法规、标准编制预评价报告书提交正式报告专家评审图1-2本项目职业病危害预评价工作程序2工程分析2.1工程概况2.1.1工程基本情况项目名称：项目性质：新建建设单位：拟建地点：XX市经十东路8168号XX科技园内投资总额：13.8亿元建设规模：项目总用地面积122819.28m2（约合184.1亩），建设用地90559.07m2（约合136亩），总建筑面积54426m2。一、二期工程设计建设三条生产线，年生产300MW光伏电池片。2.1.2生产制度及劳动定员本项目生产实行三班工作制。劳动定员根据产品方案和生产规模确定为500人。其中管理人员40人，研发人员20人，生产车间440人，人力资源配置见表2－1。表2－1劳动定员表序号人员组成人数1管理及营销人员402生产人员4403研发人员204合计5002.1.3地理位置（见附件1）本项目拟建厂址位于XX市经十东路8168号XX科技园内，北依XX市主要交通道路经十东路，西南临神武村，东邻三联新型建材有限公司，西邻神武村生产路。2.1.4自然环境概况拟建厂区所属地貌单元为第四系山麓斜坡堆积地貌，总体是北高南低，东高西低。气候属暖温带湿润大陆季风气候，XX市区年平均气温13.5℃，湿度65.45％，降水665.3毫米，常年主导风向为西南和东北风。2.1.5项目主要工程内容2.1.5.1本项目主要工程内容本项目拟总体规划，分期实施。一期工程建筑面积9176m2,主要建设一座电池厂房（9000m2）；2个门卫室（分别为126m2、50m2）。二期工程建筑面积45250m2,主要建设一座电池及组件厂房（24000m2）；一座成品仓库和一座原材料仓库（建筑面积均为6300m2）；变电室（200m2）；一座动力厂房（3000m2），内设车间变电站、纯水站、真空泵房和空压机房等；水泵房（300m2）；危险品仓库（400m2）；地下水池（1250m2）；酸碱中和池；太阳能科普馆（5000m2）。2.1.5.2公用辅助设施给水工程本项目生产用水主要为生产用水和循环冷却水，其他用水包括卫生清洁用水和职工生活用水。生产用水需采用软化水、去离子水和自来水，需配套建设水处理设施。排水工程项目排水采用有组织排放，设雨污两套管网。场内雨水经汇集由雨水管网排出；生活污水、生产污水（经废水处理设施中和处理后）排入XX科技园污水处理站。供电工程本项目电气系统分为强电和弱电系统。电源由场址西侧潘家庄变电站引入，在车间内建双回路变配电室，经变压器降压后，由埋地电缆输送到各用电单元。本项目总装容量为800KW,配电室内设两台500KVA变压器。照明网络电压为380/220V，检修照明36V。其他设施本项目生产用压缩空气、氮气等气体，根据需要设立空气压缩机等设备及管道系统。供热光伏车间内拟设供热系统。2.2本项目拟使用原材料及辅料情况本项目所耗主要原材料为晶体硅片和银铝浆，晶体硅片是太阳能或半导体工业下脚料，由国内外市场供给，年耗用量约为8700万片，银铝浆年消耗量约99吨。辅助材料有盐酸、三氯氧磷、氢氟酸、氢氧化钠、氮气、氧气、氨、硅烷（SiH4）等。表2-2拟使用原材料及辅料序号名称单位消耗量备注1硅片（125×125）万片/年87002银铝浆吨/年993氢氧化钠吨/年900以1%氢氧化钠计4盐酸吨/年180以5%HCI计5氢氟酸吨/年180以2%HF计6三氯氧磷公斤/年547氨升/小时7928硅烷（SiH4）升/小时12159四氟化碳（CF4）毫升/分钟600一天6小时10氮气立方米/天765011氧气升/分钟16.2一天20小时2.3厂区总平面规划布置（见附件2）本项目在XX科技园内实施，建设生产车间、生产辅助用房及办公科研用房。根据生产工艺要求，生产车间布置力求简捷、顺畅，避免相互交叉。生产车间内分为生产及空调区，区内布置有金相显微镜、扩散炉、等离子体刻蚀机、烧结炉、绒面腐蚀清洗工作台、PECVD、等离子切边系统等。临近生产车间布置生产辅助用房，在场址入口迎面布置办公科研楼，布置有办公室、控制室、研发实验室、检测室等。2.4生产工艺流程及生产设备2.4.1生产工艺流程2.4.1.1硅片清洗采用超声方法对硅片表面可能玷污的杂质进行清洗。主要目的是除去硅片上的污物。将硅片放入清洗机后加入纯水，并按配比添加适量的中性清洗液，清洗机将会自动对硅片进行清洗。2.4.1.2单晶硅绒面的制备单晶硅绒面的制备是利用硅的各向异性腐蚀，在每平方厘米硅表面形成百万个四面方锥体。由于入射光在表面的多次反射和折射，增加了光的吸收，提高了电池的短路电流和转换效率。制备绒面前，硅片须先进行初步表面腐蚀，用碱性腐蚀液蚀去约20～25μm，在腐蚀绒面后，采用酸液进行一般的化学清洗。2.4.1.3磷扩散制结过程是在一块基体材料上生成导电类型不同的扩散层，它和制结前的表面处理都是电池制造过程中的关键工序。现用制结方法有热扩散、离子注入、外延、激光及高频电注入法等。本项目用热扩散法。热扩散制p-n结法就是在高温情况下将p掺入p型硅。硅太阳电池所用的主要热扩散方法有涂布源扩散、液态源扩散，固态源扩散等。硅片扩散后，在片子的两面和周边都形成n+扩散层。硅片光照面形成的p-n结成为前结，是实现光电转换所必须的。对于涂源扩散法，通常用涂源面作为前结，对于三氯氧磷液态源及其它气体携带法扩散，可选取表观较好的一面为前结。在硅片背面形成的p-n结称为背结，光照时背结的存在将产生与前结相反的光生电压。对于常规的非卷包式电池来说，硅片周边的扩散层和周边扩散层出去。2.4.1.4等离子刻蚀扩散完后，为了将边缘的PN结去掉，通常采用等离子刻蚀。2.4.1.5去磷硅玻璃(PSG)该工序是对刻蚀后硅片上的磷硅玻璃用氢氟酸腐蚀的方法进行清除。2.4.1.6等离子化学气相沉淀（PECVD）PECVD被使用在硅片上沉积氮化硅材料，是在400℃的温度下通过物理化学反映产生SiNx:H的过程等离子体的激励频率对Si-SiNx:H的界面特性影响大。主要原因是等离子体的频率低于4MHz时，离子运动能够跟上等离子体的激励频率，离子在电场的作用下具有较大的能量，从而对器件表面造成大的轰击损伤，因此低频直接PECVD法沉积的SiNx:H薄膜紧紧对器件表面能够提供中等质量的表面钝化，而且这样的表面钝化层在紫外光照射下性能不稳定。但当等离子体的频率大于4MHz时，由于加速周期短，离子吸收的能量小，不至于对器件表面造成大的轰击损伤，因此当电磁场的激励频率为高频时，用直接PECVD法在晶体硅太阳电池迎光面沉积的纳米SiNx:H减反射膜具有较好的表面钝化作用和较好的抗紫外性能。对远距PECVD法来说，等离子体的激励区和放样品区是分开的，等离子体的激励可以在真空室外进行，被激励的气体通过窄的石英管引导样品表面，远距PECVD法的有点是具有较高的沉积速率，这有利于提高生产效率。ISFH的研究表明：对晶体硅太阳电池来说，不管是高频直接PECVD法还是远距PECVD法都能够制备出性能优良且稳定的纳米SiNx:H减反射膜。PECVD法沉积的SiNx:H薄膜对硅片表面有很好的钝化作用，能使晶体硅太阳电池的表面复合速率降至10cm/s左右，这使获得开颅电压超过650mv成为可能，2.0－2.1的折射率也有效地减小了光学反射，且给予SiNx:H减反射膜之上地烧穿工艺不仅免去了电池焊接中的ARC工艺，而且SiNx:H中大量的原子氢也会扩散到SiO2/Si界面，饱和了悬挂键，减少了态度密。2.4.1.7丝网印刷该工序是过丝网印刷机将银浆或银铝浆等导电材料印刷在硅片上，作为太阳能电池的正负电极和背场。2.4.1.8烧结该工序通过高温合金的过程，使硅片上的电极合金化。2.4.1.9测试分档成品电池按电性能进行测试分档。磷扩散（PN）制绒清洗硅片受入磷扩散（PN）制绒清洗硅片受入丝网印PECVD去PSG（HF）等离子刻蚀丝网印PECVD去PSG（HF）等离子刻蚀出货包装分类检测烧结出货包装分类检测烧结图：2-1本项目生产工艺流程2.4.1.10污水（中和）处理 本项目生产产生的含酸含碱废水通过管道输送至公用工程厂房的废酸和废碱槽，通过中和槽进行中和处理。废碱量不足时使用氢氧化钙，氢氧化钙与氢氟酸和盐酸反应生成氟化钙和氯化钙，反应物做定时清理。污水中和处理达标后进入XX污水处理站。2.4.2拟采用的生产设备表2－3国内采购设备表序号工序设备名称外形尺寸(m×m×m)数量（台/套）一主要生产设备1绒面检查金相显微镜92高温扩散扩散炉及净化台（撞骗工作台、石英件）6.4×1.3×3.1183石英管清洗槽94方块电阻测试四探针测试仪桌面办公型95边缘PN结腐蚀等离子体刻蚀机（装片工作台）1.2×1.1×1.2366PN结去除效果测试冷热二探针测试仪桌面办公型97膜厚测试椭偏仪桌面办公型98硅片包装包装机3×0.8×1.299区PSG（HF）去磷硅玻璃设备910合计117二辅助生产设备1去离子水站12净化空调13液氧罐、液氮罐、废水废气处理装置各1表2－4国外进口设备表序号工序设备名称外形尺寸(m×m×m)数量（台/套）生产厂家1绒面制作绒面腐蚀清洗工作台（装片工作台）9捷克svcs公司2涂镀减反射膜PECVD（装片工作台）6.4×1.3×2.39德国Roth@Rau公司3丝网印刷、烘干、测试、分档丝网印刷机9意大利Baccini公司4烧结烧结炉9美国DESPATCH公司合计363类比调查3.1类比企业概况类比企业地址：晶龙集团宁晋县产业园区。类比性质：不同地区相似生产性质的企业作为类比。类比项目投产年月：2005年。产品方案及规模：（1）单晶硅棒：单晶炉100台，由于受电力等因素的影响，至今开展生产的60台，年产200余吨；（2）硅片：日产9万片(125×125mm)；（3）太阳能电池片：年产75MW太阳能电池片；（4）太阳能电池组件：年封装75MW太阳能电源板。类比企业工人数：现有员工约3000名。3.2类比的可比性分析表3-1拟评价的拟建工程与类比工程可比性对照表项目类别类比工程拟建工程名称晶龙集团宁晋县太阳能生产厂区XXXX太阳能电力股份有限公司300MW光伏电池片项目项目地点宁晋县产业园区XX经十东路8168号XX科技园自动化程度单晶硅棒以单机自动化作业为主，硅原料清洗是手工作业；硅片生产类似机械加工作业，切割机是单机自动化生产；太阳能电池片以自动化流水作业为主，部分清洗流水线为手工操作；太阳能电池组件以手工作业为主，人工焊接封装光伏电池片以自动化流水作业为主，清洗机采用超声方法自动对硅片表面可能玷污的杂质进行清洗；部分岗位为手工操作。产品单晶硅棒、硅片、太阳能电池片、太阳能电池组件光伏电池片生产规模单晶硅棒：200吨/年硅片：1989万片/年(125×125mm)太阳能电池片：75MW太阳能电池组件：75MW设计年生产300MW光伏电池片。生产区域分布单晶硅棒、硅片、太阳能电池片、太阳能电池组件分成四家企业生产车间内分为生产及空调区，区内布置有金相显微镜、扩散炉、等离子体刻蚀机、烧结炉、绒面腐蚀清洗工作台、PECVD、等离子切边系统等。临近生产车间布置生产辅助用房，在场址入口迎面布置办公科研楼，布置有办公室、控制室、研发实验室、检测室等。生产工人数3000500化学物料盐酸、硝酸、氢氟酸、氢氧化钠、三氯氧磷、四氟化碳、硅烷、乙醇、异丙醇、氨水、氮气、氩气矽尘、煤油、盐酸、氢氟酸、氢氧化钠、三氯氧磷、氯气、五氧化二磷、氨、硅烷、氢氧化钙、氟化钙、磷化氢、四氟化碳、物理因素噪声、工频、超声波噪声、工频、超声波3.3类比项目职业卫生防护措施调查对晶龙集团宁晋县产业园区太阳能生产厂区的职业卫生管理情况卫生学调查结果如下：3.3.1职业卫生管理机构无专职的职业卫生管理机构，员工的健康管理由人事部门负责。未能提供相关各部门的职业卫生工作分工及职责。3.3.2职业卫生档案管理有部分建立，但不够完善。3.3.3职业危害因素检测未能提供。3.3.4职业健康体检能提供员工上岗前健康检查档案。但检查单位无职业病健康体检资质，属于普通健康检查，而非职业性健康体检。3.3.5安全卫生培训未提供员工安全卫生培训资料。3.3.6应急救援预案和措施该企业涉及使用危险化学品，需要制订化学中毒应急救援预案，但企业未提供相关资料。3.3.7个体防护用品现场调查发现洁净车间员工基本都佩戴了个体防护用品。防护用品的发放及管理制度未能提供，防护用品的配备资料未能提供。但是现场配备了防护用品柜及防护用品，配备的品种基本符合职业卫生要求。3.3.8辅助卫生用室厂区及车间分别设有食堂、浴室、更衣室、洗衣房、厕所等，辅助卫生用室配备符合职业卫生要求。3.3.9职业病危害因素识别类比项目主要存在氢氟酸、三氯氧磷、四氟化碳、硅烷、盐酸、氯、氨、氢氧化钠以及噪声、工频电场等职业病危害因素，与拟建项目的职业病危害因素相似。3.3.10职业病危害警示标识的设置状况太阳能电池的生产设备主要进口，设备上均贴有警示标志。另外化学品储存间及特气室等接触有毒物品和气体的部位有警示标志。3.3.11现场接触状况分析及防护措施调查单晶原料清洗，使用硝酸和氢氟酸，单独布置，清洗池上方有吸风罩，车间地面设置了围堰。职业病防护主要是防酸烧灼伤，以作业人员穿戴个体防护用品为主。单晶棒生产车间，将单晶炉生产场所与配套的真空系统和电源系统隔离布置，避免职业病危害因素噪声和工频的影响，单晶炉密布生产，拉单晶车间空调环境，该车间基本不接触职业病危害因素。单晶棒的切、磨加工车间，有数控自动化切割机，也有人工操作的普通机床和磨床，作业方式与普通机械加工相似，但均采用了湿式作业方式，因此切、磨过程基本不产生粉尘和噪声。单晶棒切片，使用全密闭和自动化切割机，用钢线、金刚砂和乳化液进行切割，基本不产生粉尘，但是噪声强度较大。单晶片清洗，采用超声波和清水，有人工清洗机和自动化清洗机，基本不接触职业病危害因素。单晶硅的制绒工艺是通过NaOH和异丙醇（或乙醇）反应，制绒车间还有表面腐蚀，表面腐蚀加入盐酸和氢氟酸。制绒生产环境采用准洁净环境，制绒和清洗采用全自动化和密闭化进口流水线，流水线安装有吸风设施。清洗加氢氟酸需要人工加入，每班一次，加入量不大于500ml(包装500ml/瓶)，员工有严格的防酸烧灼伤个体防护用品。磷扩散，使用三氯氧磷，生产环境为洁净环境，选用全自动化流水线，流水线安装有吸风设施，员工主要将单晶片架装上和取下，扩散前的单晶片清洗是人工作业。刻蚀：使用四氟化碳，生产环境为准洁净环境，选用全密闭化机器，安装有吸风设施。去磷硅相：该工序是对刻蚀后硅片上的污物用氢氟酸清洗的方法进行清除。生产环境为准洁净环境，选用全自动化流水线，流水线安装有吸风设施，员工主要将单晶片架装上和取下。等离子化学气相沉积(PEVCD)：使用硅烷，是在300-900℃的温度完成，生产环境为准洁净环境，选用全密闭化机器，安装有吸风设施。丝网印刷：通过丝网印刷机将银浆或银铝浆等导电材料印刷在硅片上，生产环境为准洁净环境，选用全密闭化机器，安装有吸风设施。但是银浆或银铝浆的调配为人工作业，使用乙醇，无防护设施。烧结：通过高温合金的过程，生产环境为准洁净环境，选用全自动化和密闭化机器，安装有吸风设施。测试：生产环境为准洁净环境，选用全自动化和密闭化机器，安装有吸风设施。太阳能硅片封装：封装流水线尚未安装完成，未生产。特气室：单独布置，有警示标志，有高毒气体报警装置，墙上有事故强排风局流风机。化学品间：单独布置，有警示标志，墙上有事故强排风局流风机。但是制绒间的化学品间是临时布置的，建筑布局不符合化学品间的要求，化学品进出要通过洁净车间，建筑设计不符合耐酸碱的要求，墙和地面为普通装饰物，对高毒物品和腐蚀液体的管理制度不符合要求。纯水制备间：单独布置，设置了隔离的员工操作间，但是车间发现随意堆放的化学物品，其中有固体氢氧化钠等危险化学物品。污水处理系统：单独布置，正在改建中。其它生产辅助实施：单独布置，与生产车间隔离良好。3.4类比企业应急救援设施有紧急逃生路线，制绒工段、扩散工段及刻蚀工段均配备有抢修人员的正压式呼吸器，在上述工段同时配有3套有洗眼冲淋设施。特气室有高毒气体报警装置。3.5、资料分析3.5.1.体检资料全厂员工上岗前健康体检数据有650名，体检机构为宁晋县中医医院，该机构无职业病体检资质。体检结果至今未发现职业禁忌症和职业病人。3.5.2.工作场所职业病危害因素测试结果晶龙集团宁晋县产业园区2007年工作场所职业卫生检测结果：1）氨的测定结果采样地点/岗位TWA(mg/m3)STEL(mg/m3)测定结果接触限值超标倍数测定结果接触限值超标倍数PECVDXL机<0.320-<0.330-PECVDL机<0.320-<0.330-2）氟化氢的测定结果采样地点/岗位MAC（mg/m3）测定浓度接触限值超标倍数酸洗岗位40.132-酸洗岗位50.162-稀盐酸+氢氟酸液清洗10.102-稀盐酸+氢氟酸液清洗20.162-去PSG手工清洗0.072-去PSG机洗0.062-制绒室工作台0.032-制绒室制绒机0.032-3）盐酸的测定结果采样地点/岗位MAC（mg/m3）测定浓度接触限值超标倍数稀盐酸+氢氟酸液清洗10.67.5-稀盐酸+氢氟酸液清洗20.77.5-发射极扩散纯水清洗0.47.5-4）一氧化氮的测定结果采样地点/岗位TWA(mg/m3)STEL(mg/m3)测定结果接触限值超标倍数测定结果接触限值超标倍数酸洗岗位40.4115-0.5330-酸洗岗位50.3615-0.4330-5）二氧化氮的测定结果采样地点/岗位TWA(mg/m3)STEL(mg/m3)测定结果接触限值超标倍数测定结果接触限值超标倍数酸洗岗位40.505-0.5810-酸洗岗位50.505-0.6010-6）异丙醇的测定结果采样地点/岗位TWA(mg/m3)STEL(mg/m3)测定结果接触限值超标倍数测定结果接触限值超标倍数制绒室工作台5．0350-6．1700-制绒室制绒机4．9350-6．1700-7）氢氧化钠的测定结果采样地点/岗位MAC（mg/m3）测定浓度接触限值超标倍数纯水处理加碱点0.092-废水处理加碱点0.122-手工制绒0.102-制绒室工作台0.042-3.6类比资料分析讨论3.6.1可行的职业卫生防护措施：生产基地内生产区域与生活、办公区域分区明确，间距较大，总平面布置合理，生产工艺及生产设备的选用比较先进，车间内生产设备布局基本合理，建筑物设计卫生基本符合《工业企业设计卫生标准》要求。生产过程中产生的职业病危害因素较多，其中三氯氧磷、四氟化碳、氢氟酸属高毒物品，硝酸、盐酸、氢氧化钠、氢氟酸属高腐蚀物品，单晶硅粉尘属矽尘。类比企业在生产过程中，通过合理布局、适当隔离职业病危害，以及选用先进工艺和设备，采用自动化、密闭化、有组织吸风、湿式作业等防护措施，将生产环境的职业病危害因素浓度基本控制在国家卫生标准的接触限值以内，类比调查现场检测未发现超标点。再通过辅以较完备的个体防护用品防止腐蚀物品，使作业场所的职业病危害得到了有效控制。调查中企业未提供应急救援预案，但现场合理配备了警示标志、洗眼冲淋设施和抢修用个体正压式呼吸器等应急用设施，特气室配备了高毒物品的检测报警装置。3.6.2存在的职业卫生问题类比企业职业卫生管理机构和管理制度尚未完善，缺乏经过专业培训的职业卫生管理人员，生产现场的部分职业卫生管理措施较好但尚未总结提升为管理制度。职业卫生档案尚未按要求建立。未按要求对已投产企业开展建设项目职业病危害的预评价和卫生预审核，也未进行建设项目卫生竣工验收。制绒工段的临时化学品库布置不合理，危险品进出要通过洁净生产区域，部分危险品（氢氧化钠液体）存放在洁净车间过道中，危险品库与化学品库混合存放，对氢氟酸、三氯氧磷的保包管，领用和安全使用制度不严。缺乏对员工的安全卫生培训，生产区域内的个体防护用品配备较充分，但员工的合理和正确使用尚需培训，尤其对应急呼吸器等应急救援设施的使用尚需要培训和演练。4拟建项目职业病危害因素识别与分析4.1拟建项目职业病危害因素识别根据《职业病危害因素分类目录》、拟建项目的工程分析和类比企业现场职业卫生学调查，XX可能产生或存在的主要职业病危害因素有：矽尘（单晶硅粉尘）、煤油（或乙醇）、盐酸、氢氟酸、氢氧化钠、异丙醇、三氯氧磷、氯气、五氧化二磷、四氟化碳、氨、硅烷、氢氧化钙、氟化钙、氯化钙、磷化氢、噪声、超声波、工频电磁场，夏季高温季节在烧结、丝网印刷烘干等岗位存在高温。根据同类工程项目情况，结合其工艺特点，分为硅片受入、清洗、制绒、磷扩散、等离子刻蚀、去PSG、等离子化学气相沉淀（PECVD）、丝网印、烧结、分类检测、包装等生产设施、辅助系统、污水中和处理三个单元进行识别和分析。表4－1本项目职业病危害因素分布一览表评价单元生产工序主要生产设备职业病危害因素生产设施清洗清洗机超声波单晶硅绒面制备绒面腐蚀清洗工作台氢氧化钠、盐酸（HCI）、异丙醇、氢氟酸磷扩散扩散炉、净化台五氧化二磷、氯气、高温及热辐射等离子刻蚀等离子刻蚀机（装片工作台）噪声、粉尘、四氟化碳等去PSG去磷硅玻璃设备氟化氢、氟化物等等离子化学气相沉积（PECDV）等离子化学气相沉积机台硅烷、磷化氢、氨、氟化氢、氟化物、高频辐射等。丝网印刷丝网印刷机噪声、高温、煤油（或乙醇）等烧结烧结炉高温、硅烷、氨动力设施水泵房水泵噪声纯水处理水处理设备噪声、氢氧化钠酸碱储存室酸碱储罐酸、碱空压机、真空泵、冷冻机噪声、氨辅助设施化学品库桶装或瓶装化学品变电站变压器工频电磁场污水中和处理污水中和处理槽氢氧化钠、盐酸、氢氧化钙、氟化钙等4.2主要职业病危害因素对人体健康的影响（见附件3）4.3拟建项目工作场所主要职业病危害因素危害程度分析拟建项目与类比项目的太阳能电池片生产相比，生产工艺和生产原辅材料相似，拟建项目生产设备的自动化程度将有所提高，工程防护设施相似。拟建项目的职业病危害因素及其浓（强）度与类比企业相似，但因自动化的提高而接触程度有所降低。因此该项目建成后职业病危害程度将比类比项目有所减轻，职业病危害将得到有效控制。5拟建项目职业病危害防护措施分析与评价5.1建设项目地址选择本项目位于XX市经十路8168号XX科技园内，所用土地为规划的备用建设用地，符合XX市整体规划。从环境影响、规划和产业政策等方面分析，项目选址基本合理。5.2总体布置本项目根据选定的厂址和工艺流程，结合场地自然条件及各建、构筑物对防火、卫生、安全的要求进行综合平面布置；拟对厂区绿化进行了全面规划。总体布置基本符合《工业企业设计卫生标准》(GBZ1-2002)。5.3建筑卫生学本项目主要厂房仓库为钢筋砼框架结构，辅助用房为砖混结构，综合考虑了自然采光与人工照明；未对建筑通风、防暑降温、地面墙面防腐措施等进行说明。5.4生产工艺及设备布局本项目采用目前成熟的光伏电池生产工艺，生产设备依生产工艺合理布局，符合《工业企业设计卫生标准》。5.5职业病防护设施本项目根据企业的具体特点，采取了以下必要的防尘毒、防噪声措施。单晶片清洗采用超声波清洗机和水，基本不接触职业病危害因素；制绒生产环境拟采用准洁净环境，制绒和清洗拟采用捷克产全自动化和密闭化流水线并安装有吸风设施；磷扩散生产环境为洁净环境，拟选用全自动化流水线并安装吸风设施，磷扩散工序产生的废气经各扩散炉尾气管进入排气总管通过25米烟囱排入大气；等离子化学气相沉积(PEVCD)使用硅烷，在300-900℃的温度完成，生产环境为准洁净环境，拟选用全密闭化机器并安装吸风设施；等离子刻蚀工序使用四氟化碳，生产环境为准洁净环境，拟选用全密闭化机器并安装吸风设施，四氟化碳等废气经（在每台离子刻蚀机安装的）尾气管连接排气总管通过15米烟囱排入大气；丝网印刷是通过丝网印刷机将银浆或银铝浆等导电材料印刷在硅片上，生产环境为准洁净环境，拟选用意大利产全密闭化机器并安装吸风设施，测试生产环境为准洁净环境，拟选用全自动化和密闭化机器并安装吸风设施；烧结工序是通过高温合金的过程，生产环境为准洁净环境，拟选用美国产全自动化和密闭化机器并安装吸风设施，烧结产生的废气经烧结炉尾气管与排气总管连接通过4米烟囱排入大气。污水（中和）处理和各动力设施工人实行巡检操作，职业病危害因素接触时间短。根据类比调查资料和经验分析，本项目的职业病防护措施在正常生产条件下能够满足职业病防护需要。5.6噪声控制本项目未对防噪声措施进行说明。5.7辅助用室本项目只提及了综合办公楼的设置位置，未对其他辅助用室进行说明。5.8职业病防治机构设置本项目未对职业病防治机构设置进行说明。5.9职业卫生管理、个人使用的职业病防护用品、应急救援、职业卫生专项投资本项目未对职业卫生管理措施、个人使用的职业病防护用品、应急救援措施、职业卫生专项经费预算情况做具体说明。6控制职业病危害的补充措施6.1设置职业卫生管理组织机构，配备专职或兼职的卫生专业人员。6.2建立健全职业健康教育制度，对劳动者进行上岗前职业卫生培训和在岗期间的定期卫生培训，普及职业卫生知识，督促劳动者遵守职业病防治法律、法规和安全操作规程；履行告知义务，将工作过程中可能产生的职业危害及其后果，职业卫生防护条件告诉劳动者；指导和监督劳动者正确使用职业卫生防护设备和个人职业卫生防护用品；制定各项安全操作规程，防止职业伤害事故。6.3建立企业职业卫生档案和劳动者健康监护档案，对接触职业病危害作业的劳动者，组织上岗前、在岗期间和离岗时的职业健康检查，及时调离职业禁忌人员。职业健康检查的项目及周期应符合卫生部《职业健康监护管理办法》的规定。6.4建立工作场所职业病危害因素监测及评价制度。职业卫生管理人员及监测人员要熟悉生产过程中存在的有害因素的种类，强度，空间分布；定期进行作业场所职业病危害因素的检测与评价，控制工作场所职业病危害因素的浓（强）度，使之符合国家职业卫生标准要求。6.5建立职业病危害防护设施、应急救援设施和个人使用的职业病防护用品的使用及维护、检修、定期检测制度；按照《劳动防护用品选用规则》制定相应的劳动防护用品发放和管理制度，做好防酸碱烧灼伤等个体防护用品的发放和管理工作。6.6特气室、化学品间应设置高毒气体报警装置，并安装事故强制排风风机，满足事故通风换气次数不小于12次/小时的要求。使用氢氟酸、盐酸、氢氧化钠等物品的车间建筑设计应满足耐酸碱腐蚀的要求。6.7针对氢氟酸、盐酸、氢氧化钠等物品的储存、使用等环节，本项目须制定安全操作规程和突发事故应急救援预案及实施方案；建立健全应急救援队伍，定期进行应急救援演练。就近与具有一定救治能力的医疗机构签订应急救援协议。化学品库、制绒工段、扩散工段、刻蚀等工段应配备有维修人员使用的正压式呼吸器、洗眼冲淋设施，并设置紧急逃生路线和泄险区域。6.8本项目建成后须在产生或存在职业病危害的作业岗位设置职业病危害警示标识和中文警示说明，说明产生职业病危害因素种类、危害后果、预防和应急救援措施等。6.9本项目应按照《工业企业设计卫生标准》要求设置医务室（或与集团公用）、职工食堂、更衣室、休息室、盥洗室、卫生间等辅助用室，满足工人工作生活需要。6.10加强《中华人民共和国职业病防治法》的学习和宣传，切实落实《职业病防治法》及相关配套法规要求，为劳动者创造符合国家职业卫生标准和卫生要求的作业环境和条件；在建设过程中确保建筑方案设计及本评价报告中各项控制职业病危害的补充措施的落实；根据《中华人民共和国职业病防治法》的要求，项目建成正式运行前，应委托取得有资质的职业卫生技术服务机构做好职业病危害控制效果评价工作，以便进一步做好职业病防治工作。7结论7.1本项目选址符合国家的有关法律、法规和XX市政府的有关政策；总体布局功能分区明确，生产工艺较为先进，设备布局合理。7.2本项目生产过程和作业环境中可能产生或存在的职业病危害因素有：矽尘（单晶硅粉尘）、煤油（或乙醇）、盐酸、氢氟酸、氢氧化钠、异丙醇、三氯氧磷、氯气、五氧化二磷、四氟化碳、氨、硅烷、氢氧化钙、氟化钙、磷化氢、噪声、超声波、工频电磁场，夏季高温季节在烧结、丝网印刷烘干等岗位存在高温。7.3本项目在采取相应的技术防护措施，按照本报告“控制职业病危害的补充措施”进一步完善后,生产过程和作业环境中职业病危害因素浓度或强度应能得到较好的控制。7.4拟建项目建筑物设计应在采光、照明、通风、防暑降温和冬季采暖等方面满足《工业企业设计卫生标准》（GBZ1-2002）对建筑物卫生学的有关要求。7.5本项目未对职业病防治机构设置进行说明、未对职业卫生管理措施、个人使用的职业病防护用品、应急救援措施、职业卫生专项经费预算情况等做具体说明。应对上述措施进行落实，满足职业病防治工作的需要。根据《职业病危害因素分类目录》、类比企业职业卫生调查和对本项目基础资料分析，本项目存在氟化氢、氟化物、磷化氢、氯气等高毒物品，根据《建设项目职业病危害分类管理办法》（[2006]卫生部令第49号）的规定和对本项目职业病危害因素存在的范围、接触人数、接触时间及危害程度进行综合分析判断，本建设项目属职业病危害一般建设项目。本项目遵循国家关于建设项目职业病危害防护的法律、法规，在设计中对职业病危害因素拟采取相应的局部通风等技术防护措施，基本可行。在落实本报告提出的补充措施后，其职业病危害因素可得到有效控制。从职业病防治角度出发，本项目是可行的。附件3主要职业病危害因素对人体健康的影响中文名称：氯化氢

，盐酸接触限值MAC(mg/m3)：7.5英文名称：hydrogenchloride

健康危害本品对眼和呼吸道粘膜有强烈的刺激作用。急性中毒：出现头痛、头昏、恶心、眼痛、咳嗽、痰中带血、声音嘶哑、呼吸困难、胸闷、胸痛等。重者发生肺炎、肺水肿、肺不张。眼角膜可见溃疡或混浊。皮肤直接接触可出现大量粟粒样红色小丘疹而呈潮红痛热。慢性影响：长期较高浓度接触，可引起慢性支气管炎、胃肠功能障碍及牙齿酸蚀症。应急处理迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并立即进行隔离，小泄漏时隔离150m，大泄漏时隔离300m，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿化学防护服。从上风处进入现场。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。喷氨水或其它稀碱液中和。构筑围堤或挖坑收容产生的大量废水。如有可能，将残余气或漏出气用排风机送至水洗塔或与塔相连的通风橱内。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。急救措施皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗至少15分钟。就医。操作注意事项严加密闭，提供充分的局部排风和全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具（半面罩），戴化学安全防护眼镜，穿化学防护服，戴橡胶手套。避免产生烟雾。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与碱类、活性金属粉末接触。尤其要注意避免与水接触。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。就医。吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。防护措施呼吸系统防护：空气中浓度超标时，佩戴过滤式防毒面具（半面罩）。紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴空气呼吸器。眼睛防护：必要时，戴化学安全防护眼镜。身体防护：穿化学防护服。手防护：戴橡胶手套。其他防护：工作完毕，淋浴更衣。保持良好的卫生习惯。

中文名称：氢氧化钠

接触限值TWA：1mg/m3STEL:2mg/m英文名称：sodiunhydroxide

健康危害本品有强烈刺激和腐蚀性。粉尘刺激眼和呼吸道，腐蚀鼻中隔；皮肤和眼直接接触可引起灼伤；误服可造成消化道灼伤，粘膜糜烂、出血和休克。

泄露处理隔离泄漏污染区，限制出入。建议应急处理人员戴防尘面具（全面罩），穿防酸碱工作服。不要直接接触泄漏物。小量泄漏：避免扬尘，用洁净的铲子收集于干燥、洁净、有盖的容器中。也可以用大量水冲洗，洗水稀释后放入废水系统。大量泄漏：收集回收或运至废物处理场所处置。急救措施皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗至少15分钟。就医。操作注意事项密闭操作。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴头罩型电动送风过滤式防尘呼吸器，穿橡胶耐酸碱服，戴橡胶耐酸碱手套。远离易燃、可燃物。避免产生粉尘。避免与酸类接触。搬运时要轻装轻卸，防止包装及容器损坏。配备泄漏应急处理设备。倒空的容器可能残留有害物。稀释或制备溶液时，应把碱加入水中，避免沸腾和飞溅。眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。就医。吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。食入：用水漱口，给饮牛奶或蛋清。就医。防护措施呼吸系统防护：可能接触其粉尘时，必须佩戴头罩型电动送风过滤式防尘呼吸器。必要时，佩戴空气呼吸器。眼睛防护：呼吸系统防护中已作防护。身体防护：穿橡胶耐酸碱服。手防护：戴橡胶耐酸碱手套。其他防护：工作场所禁止吸烟、进食和饮水，饭前要洗手。工作完毕，淋浴更衣。注意个人清洁卫生。

中文名称：氨

接触限值PC-TWA(mg/m3)：20PC-STEL(mg/m3)：30英文名称：ammonia健康危害低浓度氨对粘膜有刺激作用，高浓度可造成组织溶解坏死。急性中毒：轻度者出现流泪、咽痛、声音嘶哑、咳嗽、咯痰等；眼结膜、鼻粘膜、咽部充血、水肿；胸部X线征象符合支气管炎或支气管周围炎。中度中毒上述症状加剧，出现呼吸困难、紫绀；胸部X线征象符合肺炎或间质性肺炎。严重者可发生中毒性肺水肿，或有呼吸窘迫综合征，患者剧烈咳嗽、咯大量粉红色泡沫痰、呼吸窘迫、谵妄、昏迷、休克等。可发生喉头水肿或支气管粘膜坏死脱落窒息。高浓度氨可引起反射性呼吸停止。液氨或高浓度氨可致眼灼伤；液氨可致皮肤灼伤。

泄露处理迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并立即隔离150m，严格限制出入。切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防静电工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。高浓度泄漏区，喷含盐酸的雾状水中和、稀释、溶解。构筑围堤或挖坑收容产生的大量废水。如有可能，将残余气或漏出气用排风机送至水洗塔或与塔相连的通风橱内。储罐区最好设稀酸喷洒设施。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。急救措施皮肤接触：立即脱去污染的衣着，应用2%硼酸液或大量清水彻底冲洗。就医。操作注意事项严加密闭，提供充分的局部排风和全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具（半面罩），戴化学安全防护眼镜，穿防静电工作服，戴橡胶手套。远离火种、热源，工作场所严禁吸烟。使用防爆型的通风系统和设备。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂、酸类、卤素接触。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。就医。吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。防护措施呼吸系统防护：空气中浓度超标时，建议佩戴过滤式防毒面具（半面罩）。紧急事态抢救或撤离时，必须佩戴空气呼吸器。眼睛防护：戴化学安全防护眼镜。身体防护：穿防静电工作服。手防护：戴橡胶手套。其他防护：工作现场禁止吸烟、进食和饮水。工作完毕，淋浴更衣。保持良好的卫生习惯。

中文名称：氯

接触限值MAC(mg/m3)：1英文名称：chlorine

健康危害对眼、呼吸道粘膜有刺激作用。急性中毒：轻度者有流泪、咳嗽、咳少量痰、胸闷，出现气管炎和支气管炎的表现；中度中毒发生支气管肺炎或间质性肺水肿，病人除有上述症状的加重外，出现呼吸困难、轻度紫绀等；重者发生肺水肿、昏迷和休克，可出现气胸、纵隔气肿等并发症。吸入极高浓度的氯气，可引起迷走神经反射性心跳骤停或喉头痉挛而发生“电击样”死亡。皮肤接触液氯或高浓度氯，在暴露部位可有灼伤或急性皮炎。慢性影响：长期低浓度接触，可引起慢性支气管炎、支气管哮喘等；可引起职业性痤疮及牙齿酸蚀症。

应急处理迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并立即进行隔离，小泄漏时隔离150m，大泄漏时隔离450m，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防毒服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。喷雾状水稀释、溶解。构筑围堤或挖坑收容产生的大量废水。如有可能，用管道将泄漏物导至还原剂（酸式硫酸钠或酸式碳酸钠）溶液。也可以将漏气钢瓶浸入石灰乳液中。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。急救措施皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗。就医。操作注意事项严加密闭，提供充分的局部排风和全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴空气呼吸器，穿带面罩式胶布防毒衣，戴橡胶手套。远离火种、热源，工作场所严禁吸烟。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与醇类接触。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。眼睛接触：提起眼睑，用流动清水或生理盐水冲洗。就医。吸入：迅速脱离现场至