SJ-T 11820-2022 半导体分立器件直流参数测试设备技术要求和测量方法

I1本标准规定了半导体分立器件直流参数测试设备(以下简称“分立器件测试设备”)的术语和定义、技术要求、测量方法。本标准适用于直流电压输出和直流电压测量范圃不超过0.01V~5000V,直流电流输出和直流电流测量范围不超过1nA~10A,脉冲里流输出和脉冲电流制范围不超过10A~1200A的分立器件测试设备。2规范性引用文件本文件没有规成性引用文件3术语和定义下列材语知是义适用于文件直流参数、DCparameters在规定条件下表征半导体分立器件直流或脉冲电气特性的参数。4技术要求4.1外观要求分立器件测试设备外表不应有划伤、玷污等痕迹。分立器件测试设备外露件不能有影响工作性能的机械损害或脱落。分立器件测试设备面板不应有影响读数的缺陷，机壳或铭牌上应标有产品名称、型号规则、出厂编号、生产厂家或商标标志。分立器件测试设备开关、按键应灵活可靠，接插件接触应保持良好。分立器件测试设备高压和大电流端应有明显标志。分立器件测试设备供电电源标志应正确无误。4.2.1输出功能分立器件测试设备输出功能应包括直流电压输出、直流电流输出、脉冲电流输出等的一种或多种。4.2.2测量功能2表1电气性能技术要求电气性能1按4.3.3.12345678——湿度：(25～75)%RH;测量范围：±(1～40)V。35.2.4脉冲分流器5.2.5电阻箱阻值范围：0.1Ω~10GΩ。5.2.6高压表直流电压测量范围：(1000～5000)V。5.2.7校验件最大允许误差：±5%。重复性优于0.3%。年稳定性优于0.3%。5.3测量方法5.3.1外观测量方法a)按图1连接测量系统，当分立器件测试设备直流电压不大于1000V时使用数字多用表，当分立器件测试设备直流电压大于1000V时使用高压表；c)设置数字多用表或高压表工作于直流电压加压测流模式的参数，直流电压输出设置为V,读取数字多用表测量值加压测流模式的参数，直流电压输出设置为V,读取数字多用表测量值V。——数字多用表(或高压表)直流电压测量值，单位为伏特(V);Y₁——分立器件测试设备直流电压输出设置值，单位为伏特(V)。e)记录直流电压输出相对误差8v为直流电压输出误差测量结果；4a)按图2连接测量系统，当分立器件测试设备直流电压不大于1000V时使用数字多用表，当分立器件测试设备直流电压大于1000V时使用高压表；nL.O-nL.O-c)根据分立器件测试设备带载能力选择电阳箱阻值，设置数字多用表(或高压表)工作于直流表(或高压表)测量值or,读取分立器件测试设备直流压测量值为V₂;d)根据式(2)计算真流电压测量误差δvg;Vor数宇多用表(或高压表)直流电压测量值，单位为伏特(V:V₂女分重器件试设备直流电压团读值，单位为伏特(V)。e)记录重流电压测量相对误差δw为直流电压测量误差测结果。5.3.3.3直流电流输出误差立c)设置数字多用表工作于直流电流测量功能，选择分立器件测试设备测试参数为采用加流测压模式的参数，直流电流输出设置为1,读取数字多用农测量值Ld)根据式(3)计算直流电流输出误差L分立器件测试设备直流电流输出设5.3.3.4直流电流测量误差a)按图4连接测量系统；5图4直流电流测量测量框图选择分立器件测试设备测试参数为采用加压测流模式的参数，根据分立力选择电阻箱电阻值，读取数字多用表测量值loe,分立IL₂——分立器件测试设备直流电流测量值，单位为安培(A)。f)选取其他测量点，重复c)到e)。5.3.3.5脉冲电流输出误差a)脉冲电流输出测量点应均匀分布在所选定的量程范围内，不少于3个测量点，至少应包括量分立器件分立器件oo选择分立器件测试设备测试参数为采用加流(脉冲电流)测压模式的参数，启动测量；d)记脉冲电流输出设置值为Ip,读取脉冲专用数字化仪脉冲电流测量值Iop,根据式(5)计算脉Iop——脉冲专用数字化仪脉冲电流测量值，单位为安培(A);Ip——分立器件测试设备脉冲电流输出设置值，单位为安培(A)。5.3.3.6脉冲电流测量误差a)脉冲电流测量测量点应均匀分布在所选定的量程范围内，不少于3个测量点，至少应包括量6b)根据脉冲电流测量测量点幅度与脉冲分流器电阻值乘积应位于脉冲专用数字化仪测量范围内，根据测量点选择合适的脉冲分流器，按图6连接测量系统；根据测量点选择合适的脉冲分流器，按图6连接测量系统；脉冲图6脉冲电流测量测量框图c)设置脉冲专用数字化仪工作于单次脉冲电流幅值测量，设置量程覆盖测量点，采样率为1MSa/s,选择分立器件测试设备测试参数为采用加压测流模式的参数，启动测量；d)读取脉冲专用数字化仪脉冲电流测量值分产器件测试设备脉冲电流显示值为Ip,根据式IopR十途专用数字化仪脉冲电流测量值，单位为安增A);Ip分立器件测试设备脉冲电流显示值，单位为安(A)。e)记录脉冲电流测量相对误δipk为脉冲电流测量误差测量结果；f)选取其他测量点，重复b)到e)。5.3.3.7直流电阻误差测量步骤如下：a)测量点应覆盖分立器件测试设备所配备自校准盒全部标能电阻阻值；b)按图连接测量系统，测量点应覆盖目校准盒给出标准电阻值，当测量点≤1okp推荐使用四线连接线连接，其余测量点使用两线图7直流电阻测量框图c)根据连线设置数字多用表工作于直流电阻测量两线或四线功能记分立器件测试设备自校准盒直流电阻标称值为A。读取数字多用表面流电阻测量值R;d)根据式(7)计算直流电阻误差δn:Ro数字多用表直流电阻测量值，单位为欧姆(Ω);R分立器件测试设备自