半导体扩散设备

KEC-C제5차연수생교육2011.08.11연수생육애국지도사원노석환담당공정BIPDIFF연수기간2011.08.11~교육방법1:1멘토시스템의현장업무직접적인밀착관리일자作業內容敎育內容備考8/111.FURNACE工作原理2.TEMPRESS结构组成由Loadstation.Furnace.GasCabinet.MainPower.DPC.DTC.TSC等部分组成3.业务感想8/121.Implant的四个真空DRYPUMP工作原理*I/S:IonSourcePump*B/L:BeamLinePump*CYROPump*E/S:EndStationPump2.SourceControl界面.ImplantSETUP界面了解3.Beam波形调整方法8/15Furnace的开、关以及紧急情况对策*设备的POWERON方法*设备的POWEROFF方法*设备的紧急关闭与开启方法1.在开启MAINSWITCH时，先要复位（想左旋转）2.电源的开启一定要严格遵守一定的顺序，不可颠倒.연수생陆爱国지도사원노석환담당공정BIPDIFF연수기간2011.08.11~교육방법1:1멘토시스템의현장업무직접적인밀착관리일자作業內容敎育內容備考8/16SYSTEMControl不可控制原因（一）1.Display不能工作：*PowerSupply不良

*

DisplayUnit有不良点

2.

实际温度超过1500℃：*

ConverterCard

*ProcessorCard不良3.实际温度不稳定的情况：*

1Zone:PreAmpCard不良

*

AllZone：ConverterCard不良1.ControlNG原因分析2.Control故障处理方法*ConverterCard：变频器*ProcessorCard：数据处理器*PreampCard：前置放大器8/17SYSTEMControl不可控制原因（二）1.实际温度为25℃.但显示是0℃：PreAmpCard不良2.实际温度ALLZONE是1499.9℃：T/C接口OPEN3.Display：softwareVersError*BasicUnit上的Software不良*POWER不良4.Recipe不能正常运行出现JUMP:Recipe有误或丢失1.ControlNG原因分析2.Control故障处理方法8/18SYSTEMControl不可控制原因（三）1.POWERControl正常，实际温度却不能UP2.DTCControl正常，温度却显示为1499.9℃3.POWER正常状态，温度却持续上升4.POWER正常，温度上升的速度很慢5.SPIKET/C交换后温度不良6.BreakerTrip（断路器跳闸）情况1.ControlNG原因分析2.Control故障处理方法연수생陆爱国지도사원노석환담당공정BIPDIFF연수기간2011.08.11~교육방법1:1멘토시스템의현장업무직접적인밀착관리일자作業內容敎育內容備考8/19BOATIN/OUT不可故障分析：1.检查”MANUAL/AUTO”SWITCH是否在’AUTO”状态/POWER是否打开2.FAN的LED变红，检查Filter过滤器是否停止3.检查PADDLE运行轨道状态（污染，障碍物.超重.不在一条直线）4.通过FPD”servostatusdisplay”检查MOTER的状态，确认AXIS是否在正确的条件下1.ControlNG原因分析2.Control故障处理方法FPD:FlatPanelDisplay控制显示器SCDU:ServoDriveControlUnit

伺服驱动控制装置8/22GASCONTROL不能执行情况ProgramControl正常情况下，GAS流量异常1.SolenoiodValve确认点检2.DCPOWERSUPPLY24V电压检查3.AIRVALVE动作检查4.MFC电压检查5.INTERFACEBOARD检查6.H2不能供给时（K型T/C检查）1.ControlNG原因分析2.Control故障处理方法3.设备点检确认一个月制造学习일자作業內容敎育內容備考8/231.PS.TOX检测方法2.PS.TOX检测设备的使用方法和原理8/24VBEF检测方法：1.制品的确认（N型还是P型.检测的条件及SPEC范围)2.检测条件的调节3.EM极.BASE极查找4.波形的调整与读数以及台账的记录1.不同品种的制品检测条件不同2.不同品种的制品SPEC范围不同3.EM.BASE极不要混调8/258/26hFE散布图制作方法일자作業內容敎育內容備考8/29ProgramControl正常而GAS流量异常情况原因：1.Solenoidvale（螺线管阀门）确认点检2.DCpowersupply24V电压检查3.AIRvale动作.InterfaceBoard检查4.MFC电压检查5.H2不能供给时“K”型T/C检查1.ControlNG原因分析2.Control故障处理方法3.设备点检确认8/30GasCabinet故障分析1.GAS压力过低检查Regulator（调节器）设定，检查GAS是否提供；过滤器阻塞；瓶中的GAS用完；MFC故障2.NOflow气体阀关闭；调节器不受控制；MFC故障解决方案：1.更换过滤器2.更换气体阀3.更换MFC1.ControlNG原因分析2.Control故障处理方法8/31CSDcoating设备介绍1.设备的工作原理及要求2.设备的主要组成.操作及Program的编写方法3.设备故障分析与解决方法（1）CHUCKVACUUM异常发生不良原因（2）SOURCE涂在WAFER表外观异常现象发生不良原因.（3）因MOTOR不能SPIN而不能Coating不良原因1.不良原因分析2.故障处理方法1.CUP拆卸注意点2.作业前确认作业RECIPE3.作业完成后5分钟内测出TOX,SOURCE6MK-37有很强的挥发性연수생陆爱国지도사원노석환담당공정BIPDIFF연수기간2011.08.11~교육방법1:1멘토시스템의현장업무직접적인밀착관리일자作業內容敎育內容備考9/1Troubleshooting：1.ExcessTemperature报警:Thermocouple热电偶损坏.温度低于设定的值.2.Alarmbuzzer：查询touchpanel上显示报警信息3.Temperature太低：SCR(可控硅整流器)FUSE(保险丝故障).POWER问题4.TempController报警：Thermocouple热电偶损坏，温度不稳定，未达到设定的值1.ControlNG原因分析2.Control故障处理方法9/2ETC:ExcessTemperatureController介绍1.ETC的工作原理及功能2.ETC描述及格部位的功能（1）LoadZoneT1：Load.Center.Source3个Zone，T1代表Tube1，T2代表Tube2（2）PV1874.0℃：PV代表ProcessValue（3)AL1(AL2.AL3):三个区域可设定最高温度（4）1：选择的Tube（5）：Alarms复位功能（6）Loop:Tube的选择（7)Ind：Zone的选择연수생陆爱国지도사원노석환담당공정BIPDIFF연수기간2011.08.11~교육방법1:1멘토시스템의현장업무직접적인밀착관리DPC연수생陆爱国지도사원노석환담당공정BIPDIFF연수기간2011.08.11~교육방법1:1멘토시스템의현장업무직접적인밀착관리DTCDMCTouchscreenTSCETCT/CST/CAI/ODI/OTEMPRESS系统结构图일자作業內容敎育內容備考9/201.CvrveTracer副标准具检测方法2.BASEDIFFT/PMarking以及确认方法3.BASSDIFFTUBE先行条件作业方法9/21GASPANEL1.气路系统由MFC.气动阀对气流进行控制。2.气动阀门可以控制单独气路的通断，除设备维护外气动阀门是一直打来的。3.GASPANEL由PressureGauge压力计.PressureRegulator压力调节器.DigitalPressureSwitch数字压力计.PneumaticValve气动阀.过滤器.MFC(MassFlowControllers）等部分组成4.MFC系统控制核心主要是FlowSensor控制，FlowSensor是由2个TemperatureSensor和一个发热元件组成。5.一个机台有一根O2气管.两根N2气管.其中一根N2气管为TUBEI和TUBE2供气。另一根为TUBE3和TUBE4供气。연수생陆爱国지도사원노석환담당공정BIPDIFF연수기간2011.08.11~교육방법1:1멘토시스템의현장업무직접적인밀착관리일자作業內容敎育內容備考9/22BubblerSystems1.Bubbler系统的工作原理及组成（1）工作原理：是基于微型处理器的温度控制系统，能够对Pocl3进行精确稳定的温度控制（2）组成部分：控制部分.源箱和基座2.基座是由散热器.加热器以及温度传感器组成，实现对磷源温度的控制3.TLC工作原理：通过载气带进TUBE，可以略微提高Oxidation的速度，最主要用于捕获MobileIonCharge，还可以用来CleanOxidationTube。1.Bubbler系统的工作原理及组成2.TLC工作原理TLC：C2H2Cl2

二氯乙烯9/23HeliumLeakCheck方法1.将要检测的连接点接好2.打开压力调节器3.打开handvalve4.打开MFC(这一部必须通过DPC操作）5.打开GASSystem所有阀门HeliumLeakCheck方法9/26HeliumLeakCheck方法1.把Switch打到OFF状态Heater断电，Tube降温至常温2.拆除Paddle及相关部件3.拆除Tube，拔出SpikeT/C和ProfileT/CHeliumLeakCheck方法*TUBE拆装过程中应小心，必须两人一起操作*TorchHeater确认点检是否完好연수생陆爱国지도사원노석환담당공정BIPDIFF연수기간2011.08.11~교육방법1:1멘토시스템의현장업무직접적인밀착관리연수생陆爱国지도사원노석환담당공정BIPDIFF연수기간2011.08.11~교육방법1:1멘토시스템의현장업무직접적인밀착관리일자作業內容敎育內容備考9/27LeakCheck方法1.Check条件：ATM状态.Tube处于Vacuum状态2.Check过程（1）当开关(15)ON(16)OFF时，S-PUMP进行（2）当开关（15)和（16）同时ON时，M-PUMP进行（3）当开关（15)和（16）同时OFF时，LECKCHECK进行3.CHECK结果确认1.TUBE真空VACUUM状态确认，即Boatin和EndCAP是否密封2.MotorA8CHECK结果大小确认（Spec为10-20正常）9/28*H2OPENNG原因分析：1.TorchHeaterTEMP不能达到750℃2.冷却水没有打开，Torch外部温度很高3.TtypeT/C位置有偏移不能感应最高温度及表面有氧化膜4.U/VSENSOR清洁状态不良*H2OPENNG解决方法1.用万用表检测Heater是否有故障2.检查冷却水阀3.检查KTYPET/C4.U/VSENSOR清洁1.H2OPENNG原因分析方法2.H2OPENNG解决方法9/291.DTC/DPC各有哪些Board2.DTC/DPC各Board的作用연수생陆爱国지도사원노석환담당공정BIPDIFF연수기간2011.08.11~교육방법1:1멘토시스템의현장업무직접적인밀착관리일자作業內容敎育內容備考9/30一.BoatControl故障原因分析及解决方法1.BoatLoader不能移动：检查是否在AUTO状态2.BoatLoader移动是跳动：检查Boater轴承等;检查是否有障碍物；检查内部Switch；检查后进行Reset.3.BoatLoader只能移动一点：确认程序是否合理.二.BoatLoaderReset的方法

POWEROFF→S/WTURNTO“0”→POWERON→Wait15秒→POWEROFF→TURNTO“1”→POWERON1.POWERON后需等待10s-20s2.MANUAL状态下运行Boat3.若复位后BOATIN/OUT不可以，且“smoothstop:on”状态时，说明SINGLE混乱，需将S-300电源关闭然后打开，Boater重新Reset即可10/4一.DIFF工程点检事项及其注意点1.日常点检事项（1）GAS流量是否在规定的范围内（2）TORCH冷却水是否打开或有无LEAK(3)TUBE与TORCH连接是否到位2.日常Parts点检二.GAS校准方法及注意点1.结束后把数据改回原来的设定值

2.没有流量的情况下，保持管道流通才可以改变大小。1.点检事项确认2.注意点细心10/5S-300操作与维护1.S-300构造介绍2.S-300操作方法与日常维护3.S-300Calibration方法作业时，不能用制品。并需要两名操作者，同时作业。일자作業內容敎育內容備考10/6一.Torch内部结构组成部分Tube.Balloon.Heater.K型T/C.H2/O2inlet.Sensor二.Torch工作原理

H2与O2反应生成水蒸气进入TUBE，形成WETOXIDESi+2H2OSiO2+2H2三.Torch常见故障原因分析与解决方法(1)Torch表面温度高，原因是冷却水不良（2）Sensor感应不好，导致H2没有打开（3）Heater能力不足或K型T/C位置不良导致没有达到设定的温度

一.Torch内部结构组成部分二.Torch工作原理三.Torch常见故障原因分析与解决方法10/7VerticalFurnace设备知识1.设备整体介绍及性能优势（1）VerticalFurnace的优点（2）设备的外观及其构造2.设备参数的设定方法按“JOB”两次→按”13“选择PROCRECP选择作业程序→按下”EDITSYSTEM”更改参数→按下“ENDEDIT