- 现行
- 正在执行有效
- 2018-05-03 颁布
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基本信息：
- 标准号：ISO/TS 20175:2018 EN
- 标准名称：真空技术 真空计 用于分压测量的四极杆质谱仪的特性分析
- 英文名称：Vacuum technology — Vacuum gauges — Characterization of quadrupole mass spectrometers for partial pressure measurement
- 标准状态：现行
- 发布日期：2018-05-03
文档简介
四极质谱仪是一种在真空技术中广泛使用的仪器，用于测量真空系统中的气体压力。它是一种具有四个电极的仪器，这四个电极相互作用以产生一个强大的电场，用于分离和检测进入仪器的离子。
特性描述：
1.**分辨率**：四极质谱仪具有高分辨率，可以区分不同气体分子的离子。这意味着它可以精确地测量微小的压力变化。
2.**灵敏度**：由于其高分辨率和高检测能力，四极质谱仪对微小的压力变化非常敏感，可以检测到几乎任何微小的气体泄漏。
3.**动态范围**：四极质谱仪具有广泛的动态范围，可以从测量微小泄漏到测量大量气体分子的分压。
4.**精度**：四极质谱仪具有高精度，因为它对压力测量的结果进行了长期校准和验证。
5.**稳定性**：四极质谱仪在长时间运行中保持稳定，这使得它成为许多高真空系统的重要部件。
6.**操作简便**：四极质谱仪易于设置和使用，因为它的操作参数可以在电子设备中设置，并由仪器自动调整。
7.**数据记录和分析**：四极质谱仪通常配备有数据记录和分析软件，可以对压力数据进行实时监控和长期分析。
使用四极质谱仪时需要注意以下几点：
1.需要确保仪器在适当的温度和湿度条件下工作。
2.需要定期对仪器进行校准和维护，以确保其性能和精度。
3.需要根据系统的具体情况选择适当的测量模式和参数。
4.需要正确处理和存储数据，以避免数据丢失或损坏。
以上是对ISO/TS20175:2018EN标准中关于四极质谱仪特性
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