• 现行
  • 正在执行有效
  • 2016-09-05 颁布
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【正版授权-英语版】 ISO 17973:2016 EN Surface chemical analysis - Medium-resolution Auger electron spectrometers - Calibration of energy scales for elemental analysis_第1页
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基本信息：

  • 标准号：ISO 17973:2016 EN
  • 标准名称：表面化学分析 中分辨率欧杰电子能谱仪 元素分析能标校准
  • 英文名称：Surface chemical analysis — Medium-resolution Auger electron spectrometers — Calibration of energy scales for elemental analysis
  • 标准状态：现行
  • 发布日期：2016-09-05

文档简介

ISO17973:2016《表面化学分析——中等分辨率次级电子能谱仪——元素分析能量标定的校准》是一份关于表面化学分析的国际标准，主要涉及到中等分辨率次级电子能谱仪（MEDS）在元素分析方面的应用和相关设备的校准。

首先，MEDS是一种重要的表面分析工具，可以提供材料表面的元素组成和化学状态信息。其基本原理是利用电子束轰击样品表面，通过产生的次级电子被探测器捕获并转换成电信号，再经过处理和分析，得到元素的分布、浓度、化学状态等信息。

能量标定的校准在MEDS的使用中非常重要，它涉及到分析结果的准确性和可靠性。能量标定的准确度直接影响元素分析的精度，因此需要定期对能量标定进行校准，以确保其稳定性和准确性。

具体来说，ISO17973:2016规定了校准过程中的一些关键步骤和要求，包括选择合适的标准物质、确定校准条件、选择合适的分析参数、进行实际校准操作、评估校准结果等。这些步骤和要求旨在确保分析设备的准确性和可靠性，为科学研究、材料制备和质量控制等领域提供可靠的数据支持。

ISO17973:2016标准对于规范和提升MEDS的使用和性能具有重要

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