• 现行
  • 正在执行有效
  • 2022-11-21 颁布
©正版授权
注：本标准为国际组织发行的正版标准，下载后为完整内容；本图片为程序生成，仅供参考，介绍内容如有偏差，以实际下载内容为准
【正版授权】 ISO 14606:2022 EN Surface chemical analysis - Sputter depth profiling - Optimization using layered systems as reference materials_第1页
全文预览已结束

下载本文档

基本信息：

  • 标准号：ISO 14606:2022 EN
  • 标准名称：表面化学分析 溅射深度剖面分析 使用层状系统作为参考材料进行优化
  • 英文名称：Surface chemical analysis — Sputter depth profiling — Optimization using layered systems as reference materials
  • 标准状态：现行
  • 发布日期：2022-11-21

文档简介

ISO14606:2022标准主要关注表面化学分析中的溅射深度剖面优化，其中使用分层系统作为参考材料。该标准提供了以下关键概念和指导原则：

1.溅射深度剖面：溅射深度剖面是指通过溅射技术将元素或化合物从基底表面溅射到气相中的过程，以及其相应的粒度分布和元素组成。

2.分层系统：分层系统是指由不同元素和化合物组成的物理和化学结构均匀的模型或样本，这些样本具有明显的层状结构。

3.优化过程：通过使用分层系统作为参考材料，可以对表面化学分析的测量数据进行优化，以提高分析的准确性和可靠性。具体优化过程包括选择合适的参考材料、设置合适的溅射条件、测量参数和方法，以及进行数据分析和解释。

该标准还提供了一些应用指导，包括选择合适的分层系统作为参考材料的方法、确定合适的溅射条件和测量参数的方法、如何分析结果以获取有用的信息，以及如何与其他技术结合使用以提高分析的准确性。

ISO14606:2022标准提供了一种有效的优化方法，以改进表面化学分析的结果，特别是在使用分层系统作为参考材料的情况下。它为研究人员、工程师和科学家提供了实用的指导，以帮助他们更好地理解和应用表面化学分析技术。

人人文库> 全部分类> 行业资料 > 各类标准

温馨提示

  • 1. 本站所提供的标准文本仅供个人学习、研究之用，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或网络传播等，侵权必究。
  • 2. 本站所提供的标准均为PDF格式电子版文本（可阅读打印），因数字商品的特殊性，一经售出，不提供退换货服务。
  • 3. 标准文档要求电子版与印刷版保持一致，所以下载的文档中可能包含空白页，非文档质量问题。
  • 4. 下载后请按顺序安装Reader（点击安装）和FileOpen（点击安装）方可打开。详细可查看标准文档下载声明

最新文档

评论

0/150

提交评论