- 现行
- 正在执行有效
- 2012-10-05 颁布
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基本信息：
- 标准号：IEC/TS 62622:2012 EN
- 标准名称：纳米技术中使用的人造光栅 尺寸质量参数的描述和测量
- 英文名称：Artificial gratings used in nanotechnology — Description and measurement of dimensional quality parameters
- 标准状态：现行
- 发布日期：2012-10-05
文档简介
1.标准背景：本标准旨在为使用纳米压电技术的人工栅格的制造过程中所涉及的尺寸质量参数的描述和测量提供一种通用方法。该标准主要关注于栅格的质量参数，包括栅格单元的尺寸、间距、角度、均匀性和形状等。
2.定义和术语：标准中定义了一些关键术语和概念，如栅格单元、间距、角度、均匀性、形状等。这些术语和概念对于理解和测量纳米压电人工栅格的尺寸质量参数至关重要。
3.测量方法：本标准详细说明了如何测量纳米压电人工栅格的尺寸质量参数。这包括但不限于使用光学显微镜、电子显微镜、原子力显微镜等仪器进行测量。此外，标准还提供了关于如何收集和分析测量数据以确定栅格的质量参数的指导。
4.栅格质量的评估：根据测量的尺寸质量参数，可以评估纳米压电人工栅格的质量。这包括栅格的均匀性、一致性和可靠性等。评估结果可以用于优化制造过程、改进材料选择和设计以及优化使用条件等方面。
5.误差和不确定度：本标准强调了测量误差和不确定度的概念，并提供了一种评估和报告测量结果的方法。误差和不确定度的考虑对于保证测量结果的准确性和可靠性至关重要。
6.兼容性和互换性：本标准还涉及纳米压电人工栅格与其他类似产品（如自然栅格）之间的兼容性和互换性问题。这有助于确保在纳米技术应用中使用的栅格具有一致性和可靠性，并支持供应链中的互换性。
IEC/TS62622:2012EN标准提供了详细的方法和指导，用于描述和测量纳米压电人工栅格的尺寸质量参数，这对于
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