• 现行
  • 正在执行有效
  • 2015-09-30 颁布
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【正版授权】 IEC/IEEE 62659:2015 EN Nanomanufacturing - Large scale manufacturing for nanoelectronics_第1页
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基本信息：

  • 标准号：IEC/IEEE 62659:2015 EN
  • 标准名称：纳米制造 - 纳米电子学的规模化制造
  • 英文名称：Nanomanufacturing - Large scale manufacturing for nanoelectronics
  • 标准状态：现行
  • 发布日期：2015-09-30

文档简介

IEC/IEEE62659是国际电工委员会（IEC）发布的一份标准，标准号为EN62659，这是一个专门针对纳米制造（nanomanufacturing）的标准，尤其是针对纳米电子学的规模化制造。此标准是针对纳米技术生产过程中的各个方面和要求制定的，旨在确保纳米电子产品的质量和一致性。

这个标准包括了很多方面，例如材料选择和处理、工艺过程控制、质量控制和测量、安全和环境影响等方面的规定。该标准不仅对纳米制造设备的研发和生产具有指导意义，也对纳米电子产品的设计、制造和使用提供了重要的参考。

具体来说，该标准对纳米制造过程中的关键工艺步骤进行了详细的规定，包括但不限于纳米结构的制备、纳米器件的组装、纳米材料的处理等。同时，该标准也对纳米制造设备的性能和可靠性进行了要求，以确保设备的稳定性和精度。此外，该标准还对纳米制造过程中的质量控制和测量方法进行了规定，以确保产品的质量和一致性。

IEC/IEEE62659:2015ENNanomanufacturing-Largescalemanufacturingfornanoelectronics标准是纳米电子领域的一个重要参考标准，为纳米制造技术的发展提供了重要的支持。该标准不仅对纳米制造设备的设计和生产具有指

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