- 现行
- 正在执行有效
- 2018-12-06 颁布
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基本信息：
- 标准号：IEC 60050-523:2018 EN-FR
- 标准名称：国际电气词汇（IEV）-第523部分：微机电装置
- 英文名称：International Electrotechnical Vocabulary (IEV) - Part 523: Micro-electromechanical devices
- 标准状态：现行
- 发布日期：2018-12-06
文档简介
微机电设备）主要描述了微机电系统（MEMS）的各种术语和定义。以下是对其内容的详细总结：
1.**MEMS定义**：微机电系统是一种微型系统，通常小于1mm尺寸，利用微电子和精密机械加工技术制造。它们在许多领域都有应用，如医疗设备、环境监测、汽车技术、消费电子和机器人技术等。
2.**微型设备定义**：在IEC60050-523标准中，任何微型的电气、电子、光学、机械或其他类型的功能部件或设备都被归类为微型设备。这些设备可以被封装在一个微型系统中，例如MEMS部件或封装有传感器的微型组件。
3.**传感器**：微型传感器是MEMS的主要应用之一，它们可以检测各种物理量，如温度、压力、湿度、加速度、磁场等。这些传感器通常被集成到电子设备中，以提供实时反馈和数据。
4.**执行器**：微型执行器是一种能够产生机械力的微型设备，可用于执行各种任务，如开关、驱动器、微泵等。它们通常与微电子机械系统相结合，以实现高度集成和微型化。
5.**制造技术**：IEC60050-523标准描述了用于制造微型设备的各种技术，包括光刻、薄膜沉积、机械加工等。这些技术允许制造各种尺寸和形状的微型设备，以适应各种应用的需求。
6.**测试和评估**：IEC60050-523标准还涵盖了微型设备的测试和评估方法。这些方法包括对微型传感器和执行器的性能进行评估，以及对整个系统的性能进行测试和验证。
7.**封装**：微型设备的封装是制造过程中的一个关键步骤，它确保设备在运行时能够正常工作，并保护其免受外部环境的影响。IEC60050-523标准描述了各种封装技术，包括密封和热管理。
8.**安全性和可靠性**：IEC60050-523标准还关注微型设备的安全性和可靠性。它提供了关于如何确保这些设备在各种应用中安全工作的指导，并描述了如何评估它们的可靠性和寿命。
以上是对IEC60050-523:2018EN-FRInternationalElectrotechnicalVocabulary(IEV)-Part523:Micro-electromechanicaldevices的详细总结。IEC60050-523
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