JBT 9328-2024《分辨力板》规范

ICS17.180.30CCSN30JB代替JB/T9328-1999ResolvingpowertesttaIJB/T9328—XXXX前言 2规范性引用文件 3术语和定义 4类型 5图案和尺寸 5.1A型分辨力板的图案和尺寸 15.2B型分辨力板的图案和尺寸 4 55.3C型分辨力板的图案和尺寸 56材料和结构 67技术要求 67.1A型分辨力板图案的尺寸公差 67.2B型分辨力板图案的尺寸公差 67.3C型分辨力板图案的尺寸公差 77.4图案缺陷 77.5图案的光密度 77.6图案面疵病 77.7运输、贮存基本环境试验 78试验方法 错误！未定义书签。8.1试验条件 88.2A型分辨力板明、暗线条的线宽、线距偏差 88.3测量器具 88.4A型分辨力板的相邻单元暗线条线距偏差的一致性 98.5A型分辨力板的基线间距偏差和x,y方向基线间距一致性 98.6A型分辨力板的十字线相对于基线的对称度 8.7A型分辨力板的十字线中心位置与坯料几何中心位置的偏差 118.8B型分辨力板明、暗辐射线的角宽度β的偏差 118.9B型分辨力板图案中心位置与坯料几何中心位置的偏差 128.10C型分辨力板图案尺寸偏差 8.11图案缺陷 8.12图案的光密度 8.13图案面疵病 8.14运输、贮存基本环境条件试验 9检验规则 9.1检验分类 JB/T9328—XXXX9.2出厂检验（即交货检验） 9.3型式检验 10标志、包装、运输及贮存 10.1标志 10.2包装 10.3运输 10.4贮存 图1A型分辨力板的图案 2图2复合式B型分辨率板 5图3检验A型分辨力板的线宽和线距 9图4检验基线间距 10图5检验十字线中心与坯料几何中心的偏差 图6调整分辨力板辐射线中心与米字线中心重合 图7检验B型分辨力板的辐射线角宽度 图8检验C型分辨力板一个单元的图案尺寸 表1A型分辨力板的线条长度单位为毫米 2表2A型分辨力板的线条宽度单位为微米 2表3A型分辨力板的图案尺寸单位为毫米 3表4B型分辨力板的图案尺寸 4表5C型分辨力板的图案尺寸和公差 5表6A型分辨力板图案的尺寸公差 6表7B型分辨力板的图案尺寸公差 7表8分辨力板图案的光密度要求 7表9分辨力板疵病检验有效范围单位为毫米 7表10检验的温度条件 8表11要求检验线宽、线距的单元号 8表12检验A型分辨力板使用的物镜放大率 8表13检验线条缺陷和表面疵病所需要的显微镜物镜放大率 13JB/T9328—XXXX本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。本文件代替JB/T9328-1999《分辨力板》。本文件与JB/T9328-1999相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：——更改了标准的适用范围（见第1章）；——增加了“术语和定义”一章（见第3章——增加了“类型”一章（见第4章）；——增加了C型分辨力板的图案和尺寸（见5.3）、尺寸公差（见7.3）和试验方法（见8.9）；——将A型分辨力板相邻两单元线宽的公比1/1（见1999年版的3.2.1.3）更改为1/122（见5.1.1——将B3型分辨力板（见1999年版的3.2.2.2改为复合式B型分辨力板（见5.2.4——增加了B型分辨力板图案中心暗斑直径的规定（见5.2.2）；——将A1号分辨力板线宽、线距的抽检规定（见1999年版的5.3.2）更改为全部检验（见8.2.1.2并更改了试验方法（见7.2，见1999年版的5.3）；——将B型分辨力板辐射线角宽度的抽检规定（见1999年版的5.5.2）更改为全部检验（见8.7.2并更改了试验方法（见8.7，见1999年版的5.5）；——增加对检验温度条件的要求（见8.1）。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由中国机械工业联合会提出。本文件由全国光学和光子学标准化技术委员会（SAC/TC103）归口。本文件起草单位：贵阳新天光电科技有限公司、上海理工大学、南京东利来光电实业有限责任公司、贵州省光学测量工程技术研究中心、河南省计量科学研究院、苏州慧利仪器有限责任公司、宁波永新光学股份有限公司、宁波湛京光学仪器有限公司、广州粤显光学仪器有限责任公司、南京江南永新光学有限公司、宁波舜宇仪器有限公司、宁波市教学仪器有限公司、梧州奥卡光学仪器有限公司、麦克奥迪实业集团公司、宁波华光精密仪器有限公司、重庆奥特光学仪器有限责任公司。本文件主要起草人：胡清、章慧贤、洪宜萍、罗武勇、张卫东、韩森、毛磊、鲍金权、徐涛、李晞、胡森虎、张琪、张景华、章光伟、徐利明、吴国民。本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为：——1989年首次发布为ZBN35003-89；——1999年第一次修订，发布为JB/T9328—1999；——本次为第二次修订。JB/T9328—XXXX分辨力板通过检验光学系统分辨力来评定光学系统及光学零部件成像质量，广泛用于光学仪器制造业和有关科研单位、高等院校测试实验室，是保证产品质量和科学实验不可缺少的测量器具。本文件规定了分辨力板的类型、图案和尺寸和技术要求，描述了相应的试验方法，规定了检验规则、标志、包装、运输及贮存。为分辨力板的设计、制造、检验提供了依据，其目的是促使分辨力板产品实现标准化、规范化，同时为分辨力板量值准确和产品质量提供可靠保证。JB/T9328-1999《分辨力板》发布实施已二十余年，由于技术的发展、产品市场的变化和相关标准的更新，已不能适应产业现状，有必要修订完善，以不断适应产业发展新需求。本次对JB/T9328的修订，将新出现的C型分辨力板纳入标准，并调整了分辨力板类型的命名，补充和完善了分辨力板的试验方法。修订后，对满足市场及科研需求、指导产品生产、提高产品技术性能和质量水平，促进产业高质量发展提供可靠的技术支撑。1JB/T9328—XXXX分辨力板本文件规定了分辨力板的类型、图案和尺寸和技术要求，描述了相应的试验方法，规定了检验规则、标志、包装、运输及贮存。本文件适用于检验望远物镜、显微物镜和投影物镜等以及光学零部件的光学成像像质的分辨力板的制造。本文件不适用于检验数字图像像质的分辨力板。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T191包装储运图示标志GB/T6388运输包装收发标志GB/T9969工业产品使用说明书总则GB/T14436工业产品保证文件总则GB/T15464仪器仪表包装通用技术条件GB/T25480-2010仪器仪表运输、贮存基本环境条件及试验方法3术语和定义本文件没有需要界定的术语和定义。4类型4.1分辨力板按其图案型式，可分为A型、B型和C型。4.2每种型式的分辨力板，按对其图案对比度的要求，可分为高对比度分辨力板和低对比度分辨力板，前者图案的对比度大于32:1；后者图案的对比度为3:1；两类分辨力板的图案完全相同。5图案和尺寸5.1A型分辨力板的图案和尺寸5.1.1A型分辨力板的图案含有25个线条单元。如图1所示，自左上角第1单元开始，各单元线条宽度（简称线宽）按顺时针方向递减排列；图案的外围为第1~16单元，中部为第17~25单元，第25单元位于图案中心。相邻两单元线宽的公比为1/122(近似0.94)。5.1.2A型分辨力板图案的每一单元（例如图1中的④)由4组平行线条组成。各组所含线条数以及线条宽度（简称线宽）、长度完全相同，但线条方向互差45°,依据线条方向，各组名称分别为：x方向组、y方向组、+45。方向组和-45。方向组，每组所含明、暗线条总数n如表1所示。一条暗线条的几何中心线到同组相邻暗线条几何中心线的距离，称为线距。由于暗线条与明线条的宽度相等，因此，线距与线宽的关系如公式（1）所示。......................................................................................式中：t——线距；b——线宽。2JB/T9328—XXXX标引序号说明:图1A型分辨力板的图案5.1.3在A型分辨力板上，应按图1所示位置标注20个单元编号（例如图1中的③)。单元编号的字符高度等于该单元线条的长度。5.1.4A型分辨力板图案的上、下、左、右各有一条用于确定图案比例的基线（见图1中的①),其宽度、长度和位置应符合表3的规定。5.1.5A型分辨力板图案的中心有一组十字线（见图1中的②),其线宽与基线相同，线长以不与所在单元内的图案连通为原则，其位置应符合表3的规定。5.1.6A型分辨力板上的菱形图案（见图1中的⑤)用于测量图案不透光部分的光密度，其位置和尺寸可参照表3的规定。5.1.7A型分辨力板共有7种规格，图案尺寸按一定倍数递减，其板号为A1、A2、A3、A4、A5、A6、A7。各板号分辨力板上的各单元的线条长度、宽度如表1和表2所示。表1A型分辨力板的线条长度单位为毫米表2A型分辨力板的线条宽度单位为微米3JB/T9328—XXXX127345697895.1.8A型分辨力板上，各单元的位置和尺寸应符合表3的规定。表3A型分辨力板的图案尺寸单位为毫米BHm4JB/T9328—XXXXSpfgΦ1.55.2B型分辨力板的图案和尺寸5.2.1B型分辨力板的图案由若干条明暗相间的辐射线组成，各条辐射线汇聚于图案中心点（见表4）。明辐射线与暗辐射线的角宽度相等，辐射线的角宽度与明、暗辐射线总数的关系如公式（2）所示。β=...................................................................................(2)式中：β——辐射线的角宽度；n——明、暗辐射线总数。5.2.2B型分辨力板的辐射线图案的外径以D1表示，它也是分辨力板的有效直径，其值依据所应用的平行光管物方视场直径D确定。D2为辐射线图案中心的暗斑直径，该暗斑将图案中心附近过于密集的辐射线覆盖。5.2.3B型分辨力板共有2种规格，其板号为B1、B2，图案的尺寸见表4。表4B型分辨力板的图案尺寸5JB/T9328—XXXXDDβn5.2.4一块B型分辨力板上，可以排列多组图案，组成复合式B型分辨力板，例如图2所示。图2复合式B型分辨率板5.3C型分辨力板的图案和尺寸C型分辨力板也称针孔分辨力板由9个图案单元组成，其图案和尺寸如表5所示。每个单元由一对小圆点和上方的数字组成；小圆点不透光，也被称为针孔。上方标注数字为单元标识，其数值为该对针孔所代表的角分辨力，单位为秒。该数值仅适用于以焦距2500mm平行光管作为分辨力试验工具，当使用其它焦距不是2500mm的平行光管作为试验工具时，标注的角分辨力数值应按公式（3）换算。...............................................................................式中：fC'——所用平行光管焦距，单位为毫米（mm2500——分辨力板针孔图案上方标注的数值；C——在所用平行光管条件下，分辨率板针孔图案所代表的角分辨率，单位为秒（"）。表5C型分辨力板的图案尺寸和公差6JB/T9328—XXXXLd6材料和结构分辨力板用无色光学玻璃K9制造；其外形为圆片形。每块分辨力板与一块材料相同、直径相同的保护玻璃胶合，以图案面作为胶合面。胶合后，允许外包金属镜框。用于制造分辨力板的毛坯光学表面不允许有疵病，面形偏差N(ΔN）不应超过5（1）；毛坯光学7技术要求7.1A型分辨力板图案的尺寸公差A型分辨力板图案的尺寸公差，如表6所示。表6A型分辨力板图案的尺寸公差序号1234基线间距B的公差5x,y方向基线间距一致性的公差677.2B型分辨力板图案的尺寸公差7JB/T9328—XXXXB型分辨力板图案的尺寸公差，如表7所示表7B型分辨力板的图案尺寸公差127.3C型分辨力板图案的尺寸公差C型分辨力板图案的尺寸公差，如表5所示。7.4图案缺陷7.4.1A型分辨力板的同一线条不同部位的宽度变化和线条弯曲，应在线宽公差范围内。7.4.2A型分辨力板的线条断裂长度应不大于线宽的一半；在一块分辨力板上，线条断裂不应多于4处；在一个线条单元内，线条断裂不应多于1处。7.4.3A型和B型分辨力板的线条局部缺陷（如缺口、凸起、凹进等），宽度方向不大于该局部线宽的1/3；长度方向不应大于该局部线宽的2倍；一块分辨力板上的线条局部缺陷不应多于10处；在一个单元内，线条局部缺陷不应多于2处。7.4.4C型分辨力板的针孔局部缺陷（如缺口、凸起、凹进等），不大于该针孔直径的的1/5；一块分辨力板上的线条局部缺陷不应多于10处；每对针孔局部缺陷不应多于2处。7.4.5A型和B型分辨力板明、暗线条上的暗点或亮点直径应小于1/2线宽，且对于明线条不超过30μm；对于暗线条不超过10μm；一块分辨力板上点数不超过10个；每个单元不超过2个。7.5图案的光密度高对比度分辨力板和低对比度分辨力板图案不透光部分与透光部分的光密度差，应符合表8的规定。表8分辨力板图案的光密度要求7.6图案面疵病7.6.1已胶合保护玻璃的分辨力板图案面的线状疵病（条纹、划痕等）其宽度应小于1/5线宽，但最大不超过8μm；长度不大于线条长度，在一块分辨力板上不多于4条，但在每一单元不多于1条。7.6.2不允许脱胶。明线条上的透光点状疵病（如胶泡等），只要不在明暗线条边界上，允许存在。7.6.3A、B、C型分辨力板疵病检验有效范围如表9所示。表9分辨力板疵病检验有效范围单位为毫米CDD7.7运输、贮存基本环境试验分辨力板在运输包装条件下的环境模拟试验应符合GB/T25480-2010表1中的所有要求。其中选用高温+55℃,低温-40℃,交变湿热试验相对湿度95%，自由跌落4次，跌落高度250mm。8JB/T9328—XXXX8试验方法8.1试验条件分辨力板检验应在洁净并远离震动的室内进行,室内的相对湿度在60%以下；温度条件应符合表10的规定。表10检验的温度条件1℃23h4h8.2A型分辨力板明、暗线条的线宽、线距偏差8.2.1试验范围8.2.1.1如果提交检验的是成套的A1~A7号分辨力板，且其图案用同一模板采用缩放复制工艺制造，则其中每块分辨率板要求检验线宽和线距的单元号如表11所示。8.2.1.2如果提交检验的是A1~A7号中的部分分辨力板，且其图案用同一模板采用缩放复制工艺制造，则其中号数最大的分辨率板要求检验全部线宽和线距，其余各板要求检验的单元号如表11所示。表11要求检验线宽、线距的单元号18.2.1.3如果提交检验的分辨力板属7.2.1.1和7.2.1.2以外的情况，则每块分辨率板要求检验所有单元的线宽和线距。8.2.1.4对于每一个要求检验的单元，4组不同方向线条的线宽和线距均须检验。8.2.1.5对于每一组线条，应在线条中部和两端进行检验。所有明、暗线条的所有位置的线宽和线距偏差均应满足表6要求。8.3测量器具测量器具如下：a)检验A1~A5号分辨力板时，使用万能工具显微镜（以下简称仪器）。所用万能工具显微镜的长度测量系统的细分误差应不大于0.5μm；b)检验A6和A7号分辨力板时，使用装有激光长度测量系统的万能工具显微镜(以下简称仪器)。所用激光长度测量系统在10mm测量范围内的示值误差应不大于0.1μm；c)以上仪器，采用双像目镜或测角目镜进行瞄准，显微镜物镜放大率可参照表12选择。表12检验A型分辨力板使用的物镜放大率8.3.1每一组线条的试验程序9JB/T9328—XXXX将分辨力板放在仪器工作台上，使被测组的线条与仪器Y坐标平行；用仪器的显微镜瞄准线条组的第1根线条的左轮廓（如图3所示），读取仪器示值a1；然后移动仪器X坐标，依次瞄准后续线条轮廓，读取仪器示值a2、a3、……ai、……an+1。8.3.2每一组线条的线宽偏差的计算按公式（4）计算本组线条的线宽偏差，当式中i为奇数时，得到的是暗线条的线宽偏差；当式中i为偶数时，得到的是明线条的线宽偏差。Δbi=ai-ai+1-b..........................................................................(4)式中：ai、ai+1——瞄准线条轮廓时，读取的仪器X坐标示值；b——线宽标称值；Δbi——第i条线的线宽偏差。当采用具有图像采集功能的仪器作为检验工具时，可以直接采集线条图像，通过软件按（4）式计算，得到检验结果。图3检验A型分辨力板的线宽和线距8.3.3每一组线条的暗线条线距偏差的计算本项检验利用7.2.3试验程序读取的仪器示值a2、a3、……ai、……an+1，按（5）式计算得本组所有相邻暗线条的线距偏差。计算时，i的取值范围为1~(n-2)，并且仅取奇数。Δti,i+2=-t.............................................................式中：i,i+2——第i条线与第i+2条线的线距偏差；ai、ai+1、ai+2、ai+3——瞄准线条轮廓时，读取的仪器示值；t——线距标称值。当采用具有图像采集功能的仪器作为检验工具时，可以直接采集线条图像，通过软件按（5）式计算，得到检验结果。8.4A型分辨力板的相邻单元暗线条线距偏差的一致性取8.2.5中各单元暗线条线距偏差的平均值，相邻单元的该平均值之差，即为A型分辨力板的相邻单元暗线条线距偏差的一致性。8.5A型分辨力板的基线间距偏差和x,y方向基线间距一致性8.5.1测量器具JB/T9328—XXXX万能工具显微镜（以下简称仪器）。8.5.2试验程序在仪器上安装5×物镜和测角目镜。将分辨力板放在仪器工作台上；将被测两基线的线端调整至与仪器X坐标平行。移动仪器X坐标工作台，用目镜中的米字线瞄准分辨力左侧基线，读取仪器X坐标示值x1（参见图4）；再移动仪器X坐标工作台，用目镜中的米字线瞄准分辨力当中十字线的竖线，读取仪器X坐标示值x0；再移动仪器X坐标工作台，用目镜中的米字线瞄准分辨力右侧基线，读取仪器X坐标示值x2，按公式（6）计算基线间距偏x。ΔBx=x1-x2-B..............................................................................(6)式中：x1、x2——瞄准基线时，读取的仪器X坐标示值；B——基线间距标称值；x——基线间距偏差。利用仪器的Y坐标测量分辨力板上另一对基线的基线间距。移动仪器Y坐标工作台，用目镜中的米字线依次瞄准分辨力上方基线，十字线的横线，下方基线，读取仪器Y坐标示值y1、y0、y2（参见图4按（7）式计算基线间距偏差ΔBy。按（8）式计算x,y方向基线间距一致性。x1图4检验基线间距ΔBy=y1-y2-B x-yxy 式中：x-y——x,y方向基线间距一致性；y1、y2——瞄准基线时，读取的仪器Y坐标示值；y——基线间距偏差；B——基线间距标称值。当采用具有图像采集功能的仪器作为检验工具时，可以直接采（8）式计算，得到检验结果。A1~A7号分辨力板，均应按上述程序进行检验。JB/T9328—XXXX8.6A型分辨力板的十字线相对于基线的对称度根据8.4.2读取的坐标示值，按（910）式计算十字线相对于基线的对称度，以其中较大值作为检验结果。Δx=2............................................................................Δy=2.........................................................................式中：x0、y0——瞄准十字线的竖线和横线时，读取的仪器X、Y坐标示值；Δx、Δy——十字线相对于基线在X和Y方向上的对称度。A1~A7号分辨力板，均应按上述程序进行检验。8.7A型分辨力板的十字线中心位置与坯料几何中心位置的偏差8.7.1测量器具同8.4.1。8.7.2试验程序在仪器上安装3×物镜和测角目镜。将分辨力板放在仪器工作台上；将被测两基线的线端调整至与仪器X坐标平行。移动仪器X、Y坐标，使测角目镜米字线分别于分辨力板坯料的上、下、左、右相切，读取仪器坐标示值ya、yb、xa、xb（参见图5）。移动仪器X、Y坐标，使测角目镜米字线瞄准分辨力板的十字线，读取仪器坐标示值x0、y0，按（11）式计算分辨力板的十字线中心位置与坯料几何中心位置的偏差。xab、ya、yb——瞄准分辨力板外圆时,读图5检验十字线中心与坯料几何中心的偏差 ΔeA=·[(xa-x0)-(x0-xb)]2+[(ya-y0)-(y0-yb)]2......................................(11)式中：ya、yb、xa、xb——瞄准分辨力板外圆的上、下、左、右时，读取的仪器坐标示值；x0、x0——分辨力板十字线坐标；A——分辨力板的十字线中心位置与坯料几何中心位置的偏差。8.8B型分辨力板明、暗辐射线的角宽度β的偏差8.8.1测量器具带有分度台的万能工具显微镜（以下简称仪器）。JB/T9328—XXXX8.8.2试验程序在仪器上安装3×物镜、分度台和测角目镜。移动仪器X、Y坐标，使测角目镜的米字线瞄准分度台中心上的十字线；保持仪器X、Y坐标不动。将B型分辨力板用橡皮泥固定在万能工具显微镜分度台上；手推橡皮泥并在目镜中观察，使分辨力板辐射线中心与米字线中心重合（参见图6）。图6调整分辨力板辐射线中心与米字线中心重合图7检验B型分辨力板的辐射线角宽度移动仪器Y坐标，用米字线瞄准第1根暗辐射线半径的1/2处的右轮廓（如图7所示），读取仪器分度台角度示值b1；然后转动分度台，瞄准该线的左轮廓，读取仪器分度台角度示值b2；此后转动分度台，依次瞄准每一辐射线轮廓，读取仪器分度台示值b3、b4、……bi、……bn，按（12）式计算辐射线的角宽度偏差；当式中i为奇数时，得到的是暗辐射线的角宽度偏差；当式中i为偶数时，得到的是明辐射线的角宽度偏差。Δβi=bi-bi+1-β..........................................................................(12)式中：bi、bi+1——瞄准幅射线轮廓时，读取的仪器分度台角度示值；β——辐射线的角宽度标称值；Δβi——第i条辐射线的角宽度偏差。8.9B型分辨力板图案中心位置与坯料几何中心位置的偏差8.9.1测量器具同8.4.1。8.9.2试验程序采用与8.6和图5类似的方法进行检验。JB/T9328—XXXX将分辨力板放在仪器工作台上；移动仪器X、Y坐标，使测角目镜米字线分别于分辨力板坯料的上、下、左、右相切，读取仪器坐标示值ya、yb、xa、xb。移动仪器X、Y坐标，使测角目镜米字线分别于分辨力板图案外圆的上、下、左、右相切，读取仪器坐标示值y1、y2、x1、x2。按（13）式计算B型分辨力板的图案中心位置与坯料几何中心位置的偏差。ΔeB=.........................................式中：ya、yb、xa、xb——瞄准分辨力板外圆的上、下、左、右时，读取的仪器坐标示值；y1、y2、x1、x2——瞄准分辨力板图案外圆的上、下、左、右时，读取的仪器坐标示值；B——分辨力板的图案中心位置与坯料几何中心位置的偏差。8.10C型分辨力板图案尺寸偏差8.10.1测量器具同8.2.2的b项。8.10.2试验程序在仪器上安装10×物镜和测角目镜。注：将C型分辨力板放在仪器工作台上；使1.0和2.0单元的两对针孔与仪器X坐标相平行。使测角目镜米字线的竖线与标识为1.0的针孔外圆左侧相切，如图8所示，读取仪器X坐标示值a1；然后移动仪器X坐标，依次瞄准各针孔的外圆切点，读取仪器X坐标示值a2、a3、a4（参见图10）,按（1415）（16）式计算针孔直径和针孔中心距。dl=a1-a2 dr=a3-a4 .........................................................................式中：a1、a2、a3、a4——瞄准针孔外圆切点时，读取的仪器X坐标示值；dl、dr——左、右针孔直径；L——针孔中心距。按相同程序检验其它单元针孔图案尺寸。图8检验C型分辨力板一个单元的图案尺寸8.11图案缺陷分辨力板的图案缺陷,采用表13