数字集成电路测试系统（标准样片法）校准规范

湖北省地方计量技术规范

JJF（鄂）102—2023

数字集成电路测试系统（标准样片法）

校准规范

CalibrationSpecificationforDigitalIntegratedCircuitTest

System（ReferenceChipsMethod）

2023-07-18发布2023-08-01实施

湖北省市场监督管理局发布

JJF（鄂）102—2023

数字集成电路测试系统（标准样片法）校准规范

1范围

本规范适用于采用标准样片法实现数字集成电路测试系统（以下简称测试系统）

的校准。

2引用文件

本规范引用了下列文件：

GB/T17574《半导体器件集成电路第2部分：数字集成电路》

凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用本规范。

3术语

3.1驱动器driver

测试系统中为被测器件工作而提供数字逻辑信号的部件。

3.2器件电源DevicePowerSupply（DPS）

测试系统中为被测器件提供工作电源的部件。

3.3参数测量单元ParametricMeasurementUnits（PMU）

测试系统中对被测器件进行数字直流参数测量时，所需的加压测流、加流测压部

件。

3.4图形pattern

测试系统中用于定义输入/输出通道上信号逻辑关系的参数设置，是被测器件逻

辑功能的反映。

3.5时序timing

测试系统中用于定义输入/输出通道上信号有关时间的参数设置，包括测试周期、

边沿置放精度等。

3.6输入低电平电压inputlow-levelvoltage（VIL）

输入端允许低态电压范围的最大值。

3.7输入高电平电压inputhigh-levelvoltage（VIH）

输入端允许高态电压范围的最小值。

3.8输出低电平电压outputlow-levelvoltage（VOL）

输出端允许低态电压范围的最大值。

3.9输出高电平电压outputhigh-levelvoltage（VOH）

1

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输出端允许高态电压范围的最小值。

3.10输出低电平电流outputlow-levelcurrent（IOL）

被测输出端在VOL下的输出电流值。

3.11输出高电平电流outputhigh-levelcurrent（IOH）

被测输出端在VOH下的输出电流值。

3.12电源电流currentdraintodrain（IDD）

集成电路正常工作时，从电源吸取的总电流。

3.13低电平到高电平传输时间low-leveltohigh-levelpropagationtime

（tPLH）

被测器件在规定的驱动和负载条件下，输出向高电平变化时，输入脉冲与输出脉

冲上规定参考点之间的时间间隔。

3.14高电平到低电平传输时间high-leveltolow-levelpropagationtime

（tPHL）

被测器件在规定的驱动和负载条件下，输出向低电平变化时，输入脉冲与输出脉

冲上规定参考点之间的时间间隔。

4概述

数字集成电路测试系统，用于对数字集成电路进行测试。数字集成电路测试系统

包含针对数字集成电路功能及参数的各类测试部件，一般包括驱动器、比较器、器件

电源、参数测量单元、时序单元等。测试部件与测试头相连，通过测试程序控制测试

部件，完成对测试头上集成电路功能及参数的测试。数字集成电路测试系统各部件与

集成电路参数的对应关系如图1所示。

图1数字集成电路测试系统与集成电路参数的对应框图

2

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集成电路标准样片（以下简称标准样片）是已确定一种或多种参数的专用集成电

路，以标准样片为计量标准器，通过复现集成电路参数的量值对测试系统进行校准，

其校准结果反映了被校准测试系统在实测工况下的综合测量状态。

5计量特性

5.1示值误差（VIL、VIH、VOL、VOH）

VIL、VIH、VOL、VOH的示值误差ΔV均用公式(1)表示：

∆V=VX-VS(1)

式中：

VX——测试系统的测量值，V；

VS——标准样片对应量的标准值，V。

5.2示值误差（IOL、IOH、IDD）

IOL、IOH、IDD的示值误差ΔI均用公式(2)表示：

∆I=IX-IS(2)

式中：

IX——测试系统的测量值，A；

IS——标准样片对应量的标准值，A。

5.3示值误差（tPLH、tPHL）

tPLH、tPHL的示值误差Δt均用公式(3)表示：

∆t=tX-tS(3)

式中：

tX——测试系统的测量值，ns；

tS——标准样片对应量的标准值，ns。

6校准条件

6.1环境条件

环境条件及其要求如下：

a)环境温度：20℃～28℃；

b)相对湿度：45％～80％；

供电电源：交流电压(220±22)V，频率(50±1)Hz。

3

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6.2测量标准及其他设备

计量标准器为标准样片，满足校准使用要求。标准样片的定值点为离散值，具体值

依据标准样片的型号而定。

标准样片主要包括ICRM-PVT、ICRM-PR两种型号。其中ICRM-PVT型标准样片的计

量特性见表1，ICRM-PR型标准样片的计量特性见表2。

表1ICRM-PVT型标准样片计量特性

参数名标称值测量不确定度U(k=2)

100mV2mV

VIL1.0V2mV

5.0V2mV

100mV2mV

VIH1.0V2mV

5.0V2mV

3ns0.2ns

tPLH60ns0.3ns

100ns0.3ns

3ns0.2ns

tPHL60ns0.3ns

100ns0.3ns

表2ICRM-PR型标准样片计量特性

参数名标称值测量不确定度U(k=2)

0.1V0.2mV

V

OL1.0V0.2mV

2.0V0.5mV

V

OH4.9V0.5mV

10μA0.015μA

100μA0.15μA

IOL1mA1.5μA

10mA0.015mA

100mA0.15mA

-10μA0.015μA

-100μA0.15μA

IOH-1mA1.5μA

-10mA0.015mA

-100mA0.15mA

20μA0.03μA

200μA0.3μA

IDD2mA3μA

20mA0.03mA

200mA0.3mA

注：标准样片的标准值和测量不确定度以最终定值结果赋值为准。

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7校准项目和校准方法

7.1校准项目

校准项目见表3。

表3校准项目一览表

序号校准项目校准方法条款

1VIL7.2.1

2VIH7.2.2

3VOL7.2.3

4VOH7.2.4

5IOL7.2.5

6IOH7.2.6

7IDD7.2.7

8tPLH7.2.8

9tPHL7.2.9

7.2校准方法

7.2.1VIL的校准

a)按照图2的方式将标准样片连入被校测试系统中，将被校准测试系统的驱动器

对应通道与标准样片待测输入管脚相连。

图2VIL校准连接图

b)在测试系统上编制并运行相关测试程序，根据标准样片VIL定值点设置相应的电

平、时序和图形参数，通过控制管脚施加规定的条件设置参数VIL的测量点，并

记录标准样片VIL的标准值VILS。

c)被测输入端电压由略低于参数VILS的设置值，按照一定的步长（通常根据驱动器

的分辨力确定该步长）增加输入电压值，当输入电压超过某个电压时使比较结

果发生从“Pass”到“Fail”的跳变，记录测试系统的测量值VILX。

5

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d)按照公式(4)计算出VIL示值误差ΔVIL，计算方法如下：

∆(4)

式中：VIL=VILX-VILS

VILX——测试系统VIL测量值，V；

VILS——标准样片VIL标准值，V。

7.2.2VIH的校准

a)按照图3的方式将标准样片连入被校测试系统中，将被校准测试系统的驱动器

对应通道与标准样片待测输入管脚相连。

图3VIH校准连接图

b)在测试系统上编制并运行相关测试程序，根据标准样片VIH定值点设置相应的电

平、时序和图形参数，通过控制管脚施加规定的条件设置参数VIH的测量点，并

记录标准样片VIH的标准值VIHS。

c)被测输入端电压由略高于参数VIHS的设置值，按照一定的步长（通常根据驱动器

的分辨力确定该步长）减小输入电压值，当输入电压低于某个电压时使比较结

果发生从“Pass”到“Fail”的跳变，记录测试系统的测量值VIHX。

d)按照公式(5)计算出VIH示值误差ΔVIH，计算方法如下：

∆VIH=VIHX-VIHS(5)

式中：

VIHX——测试系统VIH测量值，V；

VIHS——标准样片VIH标准值，V。

7.2.3VOL的校准

a)按照图4的方式将标准样片连入被校测试系统中，将被校准测试系统的PMU对

应通道与标准样片待测输出管脚相连。

6

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图4VOL校准连接图

b)在测试系统上编制并运行相关测试程序，根据标准样片VOL定值点设置相应的电

平、时序和图形参数，通过控制管脚施加规定的条件设置参数VOL的测量点，并

记录标准样片VOL的标准值VOLS。

c)输入端施加规定的电压，施加建立静态输出低电平所需的图形，PMU施加规定的

正向电流，在被测输出端测得输出低电平电压VOLX即为测试系统的测量值。

d)按照公式(6)计算出VOL示值误差ΔVOL，计算方法如下：

∆VOL=VOLX-VOLS(6)

式中：

VOLX——测试系统VOL测量值，V；

VOLS——标准样片VOL标准值，V。

7.2.4VOH的校准

a)按照图5的方式将标准样片连入被校测试系统中，将被校准测试系统的PMU对

应通道与标准样片待测输出管脚相连。

图5VOH校准连接图

b)在测试系统上编制并运行相关测试程序，根据标准样片VOH定值点设置相应的

电平、时序和图形参数，通过控制管脚施加规定的条件设置参数VOH的测量点，

7

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并记录标准样片VOH的标准值VOHS。

c)输入端施加规定的电压，施加建立静态输出高电平所需的图形，PMU施加规定的

负向电流，在被测输出端测得输出高电平电压VOHX即为测试系统的测量值。

d)按照公式(7)计算出VOH示值误差ΔVOH，计算方法如下：

∆(7)

式中：VOH=VOHX-VOHS

VOHX——测试系统VOH测量值，V；

VOHS——标准样片VOH标准值，V。

7.2.5IOL的校准

a)按照图6的方式将标准样片连入被校测试系统中，将被校准测试系统的PMU对

应通道与标准样片待测输出管脚相连。

图6IOL校准连接图

b)在测试系统上编制并运行相关测试程序，根据标准样片IOL定值点设置相应的

电平、时序和图形参数，通过控制管脚施加规定的条件设置参数IOL的测量点，

并记录标准样片IOL的标准值IOLS。

c)输入端施加规定的电压，施加建立静态输出低电平所需的图形，PMU施加规定的

电压，在被测输出端测得输出低电平负载电流IOLX即为测试系统的测量值。

d)按照公式(8)计算出IOL示值误差ΔIOL，计算方法如下：

∆(8)

式中：IOL=IOLX-IOLS

IOLX——测试系统IOL测量值，A；

IOLS——标准样片IOL标准值，A。

8

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7.2.6IOH的校准

a)按照图7的方式将标准样片连入被校测试系统中，将被校准测试系统的PMU对

应通道与标准样片待测输出管脚相连。

图7IOH校准连接图

b)在测试系统上编制并运行相关测试程序，根据标准样片IOH定值点设置相应的电

平、时序和图形参数，通过控制管脚施加规定的条件设置参数IOH的测量点，并

记录标准样片IOH的标准值IOHS。

c)输入端施加规定的电压，施加建立静态输出高电平所需的图形，PMU施加规定的

电压，在被测输出端测得输出高电平负载电流IOHX即为测试系统的测量值。

d)按照公式(9)计算出IOH示值误差ΔIOH，计算方法如下：

∆(9)

式中：IOH=IOHX-IOHS

IOHX——测试系统IOH测量值，A；

IOHS——标准样片IOH标准值，A。

7.2.7IDD的校准

a)按照图8的方式将标准样片连入被校测试系统中，将被校准测试系统的DPS对

应通道与标准样片待测电源管脚相连。

图8IDD校准连接图

9

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b)在测试系统上编制并运行相关测试程序，根据标准样片IDD定值点设置相应的电

平、时序和图形参数，通过控制管脚施加规定的条件设置参数IDD的测量点，并

记录标准样片IDD的标准值IDDS。

c)DPS施加规定的电压，在被测电源端测得电源电流IDDX即为测试系统的测量值。

d)按照公式(10)计算出IDD示值误差ΔIDD，计算方法如下：

∆(10)

式中：IDD=IDDX-IDDS

IDDX——测试系统IDD测量值，A；

IDDS——标准样片IDD标准值，A。

7.2.8tPLH的校准

a)按照图9的方式将标准样片连入被校测试系统中，将被校准测试系统的Timing

部件对应通道与标准样片待测管脚相连。

图9tPLH校准连接图

b)在测试系统上编制并运行相关测试程序，根据标准样片tPLH定值点设置相应的电

平、时序和图形参数，通过控制管脚施加规定的条件设置参数tPLH的测量点，并

记录标准样片tPLH的标准值tPLHS。

c)使驱动器输出占空比为50%的连续方波信号，在被测输出端输出脉冲电压由低电

平到高电平的边沿上参考电平VREF处和对应的输入脉冲电压边沿上参考电平VREF

处之间测得输出由低电平到高电平传输延迟时间tPLHX，即为测试系统的测量值。

d)按照公式(11)计算出tPLH示值误差ΔtPLH，计算方法如下：

∆(11)

式中：tPLH=tPLHX-tPLHS

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tPLHX——测试系统tPLH测量值，ns；

tPLHS——标准样片tPLH标准值，ns。

7.2.9tPHL的校准

a)按照图10的方式将标准样片连入被校测试系统中，将被校准测试系统的Timing

部件对应通道与标准样片待测管脚相连。

图10tPHL校准连接图

b)在测试系统上编制并运行相关测试程序，根据标准样片tPHL定值点设置相应的电

平、时序和图形参数，通过控制管脚施加规定的条件设置参数tPHL的测量点，并

记录标准样片tPHL的标准值tPHLS。

c)使驱动器输出占空比为50%的连续方波信号，在被测输出端输出脉冲电压由高电

平到低电平的边沿上参考电平VREF处和对应的输入脉冲电压边沿上参考电平VREF

处之间测得输出由高电平到低电平传输延迟时间tPHLX，即为测试系统的测量值。

d)按照公式(12)计算出tPHL示值误差ΔtPHL，计算方法如下：

∆(12)

式中：tPHL=tPHLX-tPHLS

tPHLX——测试系统tPHL测量值，ns；

tPHLS——标准样片tPHL标准值，ns。

8校准结果表达

校准结果应在校准证书上反映，校准证书应至少包括以下信息：

a)标题，如“校准证书”；

b)实验室名称和地址；

c)进行校准的地点（如果与实验室的地址不同）；

d)证书或报告的唯一性标识（如编号），每页及总页数的标识；

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e)客户的名称和地址；

f)被校对象的描述和明确标识；

g)进行校准的日期；

h)对校准所依据的技术规范的标识，包括名称及代号；

i)本次校准所用测量标准的溯源性及有效性说明；

j)校准环境的描述；

k)校准结果及其测量不确定度的说明；

l)如果与校准结果的有效性和应用有关时，应对校准过程中被校对象的设置和操

作进行说明；

m)对校准规范的偏离的说明；

n)校准证书和校准报告签发人的签名或等效标识；

o)校准结果仅对被校对象有效的声明；

p)未经实验室书面批准，不得部分复制证书或报告的声明。

9复校时间间隔

建议复校时间间隔为1年。送校单位也可根据实际使用情况自主决定复校时间间

隔。

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附录A

测量不确定度评定示例

A.1引言

数字集成电路测试系统（标准样片法）的校准项目有9项，可分为电压类

（VIL/VIH、VOL/VOH）、电流类（IOL/IOH、IDD）、时间类（tPLH/tPHL）等3类进行测量不确

定度评定。本附录以VOL的1.0V、IOL的1mA和tPLH的60ns的校准测量不确定度评定为例，

说明数字集成电路测试系统（标准样片法）校准项目的测量不确定度评定的程序。

由于校准方法和所用设备相同或近似，其他校准项目的测量不确定度评定程序类同。

A.2VOL校准的测量不确定度评定（1V）

A.2.1测量模型

VOL校准采用直接测量的方法，将标准样片连入被校测试系统中，输入端施加规

定的电压，施加建立静态输出低电平所需的图形，PMU施加规定的正向电流，在被测

输出端测得输出电压即为测试系统的测量示值，见公式(A.1)：

(A.1)

式中：Y=U

U——测试系统VOL的测量值，V；

A.2.2不确定度来源

测量不确定度来源有以下3项：

（1）测试系统PMU测量直流电压的误差；

（2）标准样片的定值不确定度；

（3）测试系统测量VOL的重复性。

A.2.3测量不确定度评定

A.2.3.1测试系统PMU测量直流电压的误差引入的不确定度uB1

对于标准样片1V点，PMU测量直流电压的误差为±3mV。按B类评定，视为均匀分

布，，3。

k13uB11.7mV

3

A.2.3.2标准样片的定值不确定度引入的不确定度uB2

13

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根据标准样片技术指标，标准样片在1V点的定值不确定度为±0.1mV。按B类评

定，视为均匀分布，，0.1。

k23uB20.06mV

3

A.2.3.3测试系统测量VOL的重复性引入的不确定度uA

在相同条件下，测量测试系统的同电压值10次，测试点1V（标准样片的标准值为

1.0005V）。测量结果数据如下：

次数12345

测量值（V）1.00441.00441.00441.00441.0044

次数678910

测量值（V）1.00441.00451.00451.00441.0044

表A.1VOL重复性数据记录

10

2

(xix)

实验标准偏差s(x)i10.05mV

nn1

校准结果由10次重复测量的平均值得到，则由测量VOL的重复性引入的不确定度

sx

分量mV

uAsx0.02

10

A.2.4合成标准不确定度

由于各分量互不相关，因此合成标准不确定度：

22mV

ucuBiuA1.7

i1

A.2.5扩展不确定度

取包含因子，mV

k2Ukuc3.4

A.3IOL校准的测量不确定度评定（1mA）

A.3.1测量模型

IOL校准采用直接测量的方法，将标准样片连入被校测试系统中，输入端施加规

定的电压，施加建立静态输出低电平所需的图形，PMU施加规定的电压，在被测输出

端测得输出电流即为测试系统的测量示值，见公式(A.2)：

(A.2)

式中：Y=I

I——测试系统IOL的测量值，A；

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A.3.2不确定度来源

测量不确定度来源有以下3项：

（1）测试系统PMU测量直流电流的误差；

（2）标准样片的定值不确定度；

（3）测试系统测量IOL的重复性。

A.3.3测量不确定度评定

A.3.3.1测试系统PMU测量直流电流的误差引入的不确定度uB1

对于标准样片1mA点，PMU测量直流电流的误差为±6.25μA。按B类评定，视为

均匀分布，，6.25μA。

k13uB13.6

3

A.3.3.2标准样片的定值不确定度引入的不确定度uB2

根据标准样片技术指标，标准样片在1mA点的定值不确定度为±1.2μA。按B类

评定，视为均匀分布，，1.2μA。

k23uB20.7

3

A.3.3.3测试系统测量IOL的重复性引入的不确定度uA

在相同条件下，测量测试系统的同电压值10次，测试点1mA（标准样片的标准值

为0.9990mA）。测量结果数据如下：

表A.2IOL重复性数据记录

次数12345

测量值（mA）1.00000.99991.00001.00001.0000

次数678910

测量值（mA）1.00011.00001.00001.00001.0000

10

2

(xix)

实验标准偏差s(x)i10.05μA

nn1

校准结果由10次重复测量的平均值得到，则由测量IOL的重复性引入的不确定度

sx

分量μA

uAsx0.02

10

A.3.4合成标准不确定度

由于各分量互不相关，因此合成标准不确定度：

15

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22μA

ucuBiuA3.7

i1

A.3.5扩展不确定度

取包含因子，μA

k2Ukuc7.4

A.4tPLH示值误差的测量不确定度评定（60ns）

A.4.1测量模型

tPLH校准采用直接测量的方法，将标准样片连入被校测试系统中，使驱动器输出

占空比为50%的连续方波信号，测试系统TMU在被测输出端输出脉冲电压由低电平到

高电平的边沿上参考电平VREF处和对应的输入脉冲电压边沿上参考电平VREF处之间测得

输出由低电平到高电平传输延迟时间，即为测试系统的测量示值，见公式(A.3)：

(A.3)

式中：Y=t

t——测试系统tPLH的测量值，ns；

A.4.2不确定度来源

测量不确定度来源有以下3项：

（1）测试系统TMU测量传输延迟时间的误差；

（2）标准样片的定值不确定度；

（3）测试系统测量tPLH的重复性。

A.4.3测量不确定度评定

A.4.3.1测试系统TMU测量传输延迟时间的误差引入的不确定度uB1

对于标准样片60ns点，TMU测量传输延迟时间的误差为±230ps。按B类评定，视

为均匀分布，，230ps。

k13uB1133

3

A.4.3.2标准样片的定值不确定度引入的不确定度uB2

根据标准样片技术指标，标准样片在60ns点的定值不确定度为±0.3ns。按B类

评定，视为均匀分布，，0.3ns。

k23uB20.17

3

A.4.3.3测试系统测量tPLH的重复性引入的不确定度uA

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在相同条件下，测量测试系统的同一传输延迟时间值10次，测试点60ns（标准

样片的标准值为60.8ns）。测量结果数据如下：

表A.3tPLH重复性数据记录

次数12345

测量值（ns）60.860.860.860.860.8

次数678910

测量值（ns）60.960.960.960.960.9

10

2

(xix)

实验标准偏差s(x)i10.05ns

nn1

校准结果由10次重复测量的平均值得到，则由测量tPLH的重复性引入的不确定度

sx

分量ns

uAsx0.02

10

A.4.4合成标准不确定度

由于各分量互不相关，因此合成标准不确定度：

22ns

ucuBiuA0.22

i1

A.4.5扩展不确定度

取包含因子，ns

k2Ukuc0.4

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附录B

校准原始记录参考格式

第页，共页

送校单位：送校单位地址：

校准依据：

仪器名称：型号规格：

出厂编号：制造商：

环境温

相对湿

度：

度：%

℃

校准所使用主要计量器具：

名称型号规格出厂编号溯源单位证书编号有效期

VIL

标准值VILX示值VILS误差ΔVIL测量不确定度(k=2)

VIH

标准值VIHX示值VIHS误差ΔVIH测量不确定度(k=2)

VOL

标准值VOLX示值VOLS误差ΔVOL测量不确定度(k=2)

VOH

标准值VOHX示值VOHS误差ΔVOH测量不确定度(k=2)

IOL

标准值IOLX示值IOLS误差ΔIOL测量不确定度(k=2)

18

JJF（鄂）102—2023

第页，共页

IOH

标准值IOHX示值IOHS误差ΔIOH测量不确定度(k=2)

IDD

标准值IDDX示值IDDS误差ΔIDD测量不确定度(k=2)

tPLH

标准值tPLHX示值tPLHS误差ΔtPLH测量不确定度(k=2)

tPHL

标准值tPHLX示值tPHLS误差ΔtPHL测量不确定度(k=2)

19

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附录C

校准证书内页参考格式

校准结果

证书编号：XXXXXXXXXX

VIL

标准值VILX示值VILS误差ΔVIL测量不确定度(k=2)

VIH

标准值VIHX示值VIHS误差ΔVIH测量不确定度(k=2)

VOL

标准值VOLX示值VOLS误差ΔVOL测量不确定度(k=2)

VOH

标准值VOHX示值VOHS误差ΔVOH测量不确定度(k=2)

IOL

标准值IOLX示值IOLS误差ΔIOL测量不确定度(k=2)

IOH

标准值IOHX示值IOHS误差ΔIOH测量不确定度(k=2)

20

JJF（鄂）102—2023

（续）

IDD

标准值IDDX示值IDDS误差ΔIDD测量不确定度(k=2)

tPLH

标准值tPLHX示值tPLHS误差ΔtPLH测量不确定度(k=2)

tPHL

标准值tPHLX示值tPHLS误差ΔtPHL测量不确定度(k=2)

_______________________________

21

2

0

2

—

3

1

0

2

（

鄂

J

）

J

F

JJF（鄂）102—2023

目录

引言.................................................................（II）

1范围...............................................................（1）

2引用文件...........................................................（1）

3术语...............................................................（1）

3.1驱动器...........................................................（1）

3.2器件电源.........................................................（1）

3.3参数测量单元.....................................................（1）

3.4图形.............................................................（1）

3.5时序.............................................................（1）

3.6输入低电平电压...................................................（1）

3.7输入高电平电压...................................................（1）

3.8输出低电平电压...................................................（1）

3.9输出高电平电压.................................................（2）

3.10输出低电平电流..................................................（2）

3.11输出高电平电流..................................................（2）

3.12电源电流........................................................（2）

3.13低电平到高电平传输时间..........................................（2）

3.14高电平到低电平传输时间..........................................（2）

4概述...............................................................（2）

5计量特性...........................................................（3）

5.1示值误差（VIL、VIH、VOL、VOH）.......................................（3）

5.2示值误差（IOL、IOH、IDD）...........................................（3）

5.3示值误差（tPLH、tPHL）..............................................（3）

6校准条件...........................................................（3）

6.1环境条件.........................................................（3）

6.2测量标准及其他设备...............................................（4）

7校准项目和校准方法.................................................（5）

7.1校准项目.........................................................（5）

7.2校准方法.........................................................（5）

8校准结果表达......................................................（11）

9复校时间间隔......................................................（12）

附录A..............................................................（13）

附录B..............................................................（18）

附录C..............................................................（20）

JJF（鄂）102—2023

引言

本规范的编制依据JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001-2011

《通用计量术语及定义》、JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》编制。

本规范为首次发布。

II

JJF（鄂）102—2023

数字集成电路测试系统（标准样片法）校准规范

1范围

本规范适用于采用标准样片法实现数字集成电路测试系统（以下简称测试系统）

的校准。

2引用文件

本规范引用了下列文件：

GB/T17574《半导体器件集成电路第2部分：数字集成电路》

凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用本规范。

3术语

3.1驱动器driver

测试系统中为被测器件工作而提供数字逻辑信号的部件。

3.2器件电源DevicePowerSupply（DPS）

测试系统中为被测器件提供工作电源的部件。

3.3参数测量单元ParametricMeasurementUnits（PMU）

测试系统中对被测器件进行数字直流参数测量时，所需的加压测流、加流测压部

件。

3.4图形pattern

测试系统中用于定义输入/输出通道上信号逻辑关系的参数设置，是被测器件逻

辑功能的反映。

3.5时序timing

测试系统中用于定义输入/输出通道上信号有关时间的参数设置，包括测试周期、

边沿置放精度等。

3.6输入