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文档简介

项目七微电子器件生产规范7.1.着装与防静电检测微电子技术与器件制造主讲人：罗朝平7.1.着装与防静电检测引言

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INTRODUCTION根据设备安全作业规程与安全风险、工业服装和装备穿戴以及净化车间管理规定，按照非裸露状态的晶圆生产车间要求的穿戴、防静电等规范操作要求，才能进入生产车间完成工作任务。PART01认识晶圆生产车间进入的规范PART02晶圆生产车间进入的防静电检测目录7.1.着装与防静电检测7.1.着装与防静电检测知识目标能正确做好晶圆生产车间进入前的准备7.1.1认识晶圆生产车间进入的规范7.1.1认识晶圆生产车间进入的规范1．操作规范（1）正确着装（2）防静电点检（3）风淋

为防止自身微尘和静电污染芯片，需要穿戴无尘衣、无尘鞋、口罩、发罩、手套等。具体着装要求，如图所示（1）着装要求7.1.1认识晶圆生产车间进入的规范（2）防静电点检要求7.1.1认识晶圆生产车间进入的规范（3）风淋要求（1）进入芯片处于裸露状态的生产车间前，需要进行风淋；（2）而芯片处于非裸露状态的生产车间对空气质量没有很高要求，进入前无需进行风淋。7.1.2晶圆生产车间进入准备的防静电检测1．防静电点检设备（ESD）

防静电点检是在防静电测试仪上进行的，也可以结合门禁设备和信息化管理软件成为防静电门禁系统，实现静电测试和人员身份的自动识别。ESD是20世纪中期以来形成的研究静电的产生、危害及防护等静电内容的学科。后来国际上习惯将用于静电防护的器材统称为ESD，中文名称为静电阻抗器。ESD防静电门禁支持左右脚和手指静电测试，相对于传统ESD测试，不会出现两脚同时测试，一脚正常就通过的盲点。7.1.2晶圆生产车间进入准备的防静电检测2．防静电服装与防静电鞋

（1）无尘衣是一种防尘、防静电连体工作服，其面料和缝线一般采用涤纶长丝纤维或导电纤维，可以有效防止微尘从工作服中散出或缝线自身产生尘埃而污染芯片。

（2）防静电服是用于泄放人体静电的工作服，一般为上衣外套。防静电服可以有效抑制人体及服装静电，消除或减小静电放电危害，保护静电敏感元器件免受潜在静电危害。

（3）无尘鞋也叫净化鞋、防静电无尘鞋，鞋面采用专用涤纶长丝与高性能永久性导电纤维，导电纤维为间距5mm的条纹或网格，具有良好的静电泄放效果。7.1.2晶圆生产车间进入准备的防静电检测3．防静电检测（a）双脚同时站立

（b）刷员工上岗证

（c）静电检测7.1.2晶圆生产车间进入准备的防静电检测仿真7.1.2晶圆生产车间进入准备的设备知识总结

1、晶圆生产车间属于芯片非裸露状态的车间，为保证芯片车间内合格的生产环境，工作人员进入车间需要遵守

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