压力注浆成型ITO靶材坯体的夹层现象及影响因素研究

压力注浆成型ITO靶材坯体的夹层现象及影响因素研究压力注浆成型ITO靶材坯体的夹层现象及影响因素研究摘要：ITO（氧化铟锡）是一种广泛应用于光电子技术领域的重要材料。而在ITO靶材的生产过程中，夹层是一种常见的缺陷，会严重影响最终产品的质量和性能。本文通过对压力注浆成型ITO靶材坯体的夹层现象进行研究，探讨了夹层形成的原因和影响因素，并提出了相应的改进措施。关键词：压力注浆成型、ITO靶材、夹层、影响因素1.引言ITO是一种高导电率、透明度好的材料，广泛应用于电子产品、太阳能电池和触摸屏等领域。在ITO靶材的生产过程中，压力注浆成型是一种常用的制备方法。然而，夹层问题却常常困扰着ITO靶材的生产。2.夹层的形成原因夹层是指ITO靶材坯体中出现的两个或多个层次之间长宽比例远大于高度的缺陷。夹层的形成原因主要有以下几点：（1）注浆速度过快。当注浆速度过快时，易造成夹层的形成，因为注浆速度过快会导致内部气泡无法完全顶替掉注浆材料。（2）注浆压力不均匀。注浆压力不均匀也是夹层形成的主要原因之一。当注浆压力不均匀时，注浆材料很容易沿着压力较小的部分进入夹层。（3）辅助材料粘度过高。辅助材料粘度过高也是夹层形成的主要原因之一。当辅助材料粘度过高时，注浆材料无法顺利流动，容易形成夹层。（4）材料温度不合适。材料温度对夹层的形成也有一定影响。当材料温度过高时，注浆材料会变得过于稀薄，容易形成夹层；当材料温度过低时，注浆材料会变得过于粘稠，也容易形成夹层。3.影响夹层形成的因素夹层的形成主要受到以下几个因素的影响：（1）注浆速度。注浆速度过快会导致夹层的形成，所以要合理控制注浆速度。（2）注浆压力。注浆压力不均匀会增加夹层的形成的可能性，所以要保证注浆压力均匀。（3）辅助材料粘度。辅助材料粘度过高会妨碍注浆材料的顺利流动，所以要选择适合的辅助材料。（4）材料温度。材料温度过高或过低都会增加夹层的形成的风险，所以要控制好材料温度。4.改进措施为了减少夹层的形成，可以采取以下改进措施：（1）合理控制注浆速度。要根据具体情况合理调整注浆速度，避免注浆速度过快。（2）保证注浆压力均匀。可以通过调整注浆设备的压力来保证注浆压力均匀。（3）选择适合的辅助材料。要选择粘度适中的辅助材料，避免粘度过高妨碍注浆材料的流动。（4）控制好材料温度。要根据具体材料的特性，控制好材料的温度，避免温度过高或过低。5.结论夹层是影响压力注浆成型ITO靶材坯体质量的重要因素之一。通过对夹层形成原因和影响因素的研究，我们可以采取相应的改进措施来减少夹层的形成。合理控制注浆速度、保证注浆压力均匀、选择适合的辅助材料和控制好材料温度，可以有效地减少夹层的形成，提高ITO靶材的质量和性能。参考文献：[1]SunY,SunK,ChenF,etal.EffectofInjectionMoldingProcessParametersontheMicrostructureandPropertiesofITOCeramics[J].CeramicsInternational,2019,45(5):5727-5733.[2]JiangL,XuS,LiX,etal.InfluenceofInjectionPressureonMicrostructureandPropertiesofITOTargetbyPowderInjectionMolding[J].JournalofMaterialsProcessingTechnology,2019,272:116298.[3]ZhouX,LiY,DuB,etal.PreparationandMicrostructureofITOCeramics[J]