化学品基础知识培训

化学品基础知识培训1化学品基础知识培训5/8/2024报告目录动力组2化学品基础知识培训5/8/2024[1]PANDA化学品系统用途及概况3化学品基础知识培训5/8/2024TFT基本工艺流程薄膜(ThinFilm)PVD:成长导电层CVD:成长绝缘层黄光(Photo)Exposure:曝光Coater&Developer:光阻涂布及显影蚀刻(Etching)Dry:绝缘层之蚀刻WET:导电层之蚀刻STR:光阻去除Cleaner:清洗基板测试(Testing)KIP:电性测试KOI:光学检查REN:缺陷修补KMM:Mura检查

循环4化学品基础知识培训5/8/2024GlassPRFilmGlassPRGlassPAGlass1.基板上um级的Particle如何去除？？？2.各膜层图案是怎么形成的？？？3.各膜层上光阻是如何去掉的？？？引言25化学品基础知识培训5/8/2024以Array为例：蚀刻组织架构6化学品基础知识培训5/8/2024化学品

ArrayPhoto工段

ArrayWET工序

CFPhoto工段

CellPI工段PCD显影工序TMAH25%PCD涂胶工序EBRthinner蚀刻工序：ITO，IGZO,K255等刻蚀液剥离工序：StripperPDV显影工序KOH0.045%PCT涂胶工序EBRthinnerRework工序ITO、RGB-rework等PI工序NMP,N321，N403G8.6化学品主要使用区域7化学品基础知识培训5/8/2024原料槽车进厂CCB充装口CDS供应机台VMB阀箱

工艺机台补充供应200L桶动力化学品间生产净房1.1CCSS工艺流程简介废液桶槽高浓度废液排放废液槽车外运至处理厂家CCSS:Central

ChemicalSupplySystem中央化学品供应系统8化学品基础知识培训5/8/20241.2G8.6CCSS站房位置分布4H有机化学品供应及回收间(±0.00m)化学品间控制室4A无机化学品供应间4B有机化学品回收间4B无机供应间4B

KOH稀释间4B有机供应间K255K255-NewStripperEBR清边液Stripper废液EBR废液IGZO刻蚀废液NaClO2TMAH（25%）IGZO-EtchantKP-5-newNa2SO3ITO-EtchantKP-5HNO3（65%）N321废液N403废液NMP废液EBR稀释剂废液ITO-rework废水提升罐RGB-rework废水提升罐ITO-reworkRGB-reworkKOH4.5%KOH0.045%N321N403NMPEBR稀释剂RGB-rework-new废水提升站4HStripperEBRIGZO-Etchant中继提升站房9化学品基础知识培训5/8/20241.2G8.6运输动线4H有机化学品供应及回收间(±0.00m)化学品间控制室4A无机化学品供应间4B有机化学品回收间4B无机供应间4B

KOH稀释间4B有机供应间仓库地磅处门卫2资材仓库办公室质量部QC办公室来料厂商联络仓库流程：仓库通知QC和动力FMCS动力FMCS仓库，动力，QC三方到厂检查过磅沿动线至TCM10化学品基础知识培训5/8/2024设置场所药液名称成分设计使用量（140K）设计废液量（140K）输送方式TanK大小备注(L/day)(L/day)供给回收供给(M3)回收(M3)Array栋机械室

稀释剂EBRPGME

PGMEA9602490LorryLorry20+6*230剥离液stripperAlkanolamine

Glycols4448840039LorryLorry30*840*5K255-newH2O2

HNO3

等42011-Lorry-30*3-部分储罐共用切换K255H2O2

HNO3

等79136-Lorry-30*14-ITO-Etchant草酸

等12947-Lorry-30*2+6*2-酸化膜AL-Etch磷酸

硝酸

醋酸67875017LorryLorry30*1+6*240显影液25%TMAHTMAH13057-Lorry-30*2+6*2-硝酸硝酸795-Drum-3*2-KP5HNO3

NH4HF2

等3782-LorryorDrum-30*1+3*2-KP5-newHNO3等2121-LorryandDrum-20*1+3*2Na2S（20%）-3100-lorry-20*1-洗涤塔用药NaClO2（20%）-5800-lorry-20*1-1.5G8.6化学品用量信息汇总表11化学品基础知识培训5/8/2024设置场所药液名称成分设计使用量（140K）设计废液量（140K）输送状态Tank大小备注L/dL/d供给回收供给（M3）回收（M3）CELL制程清洗液N321(CELL)2-amino-ethanol

Glycol-ether1694794LorryLorry20*1+3*230NMP(CELL)N-Methyl-2-Pyrrolidone799970LorryorDrumLorry20*1+3*230N403(CELL)

Alkanolamine

Glycols41241794LorryorDrumLorry30*1+6*230

CF制程

有机溶剂EBR(CF)PGME

PGMEA18434029LorryLorry20*1+3*240现像液1DEV(CF)potassiumhydroxide23891-Lorry-30*3-现像液1调合Tank(CF)potassiumhydroxide2389062-from現像液1(CF)-30*8-ITO-Rework(CF)盐酸289-Drum-3*2-RGB-Rework(CF)potassiumhydroxide

Diethanolamine514-Drum-3*2-RGB-rework-newTMAH,DMSO,BDG,NMP514-Drum-3*2-1.5G8.6化学品用量信息汇总表12化学品基础知识培训5/8/2024[2]PANDA化学品系统设计专篇13化学品基础知识培训5/8/2024主要参考规范及标准：2.1化学品站房规划设计1.参考GB50016-2014《建筑设计防火规范》，我司化学品站应归类于乙类库房，能存放闪点大于28℃，小于60℃的液体，不能存放属于甲类的氧化剂及化学易燃危险固体，不能存放爆炸下限小于10%的气体。但实际我司化学品库按照甲类二级防火建筑标准建设。2.GB50058-92《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》明确各类电气设备存放区域，电气管线及装置防爆等级。3.GB50019-2003《采暖通风和空气调节设计规范》明确站房排风类型及风量要求等。4.GB15603-1995《常用化学危险品贮存通则》明确化学品站房设计原则基本考虑如下：a.有机化学品和无机化学品分开储存，设计在不同的供应间；b.供应间与使用点应考虑供应的距离，采用就近原则，还需考虑设备的安装条件，化学品间的高度应与生产产房一致；c.易燃易爆的有机间应考虑到防爆措施，应采用非燃烧轻质屋顶、轻质墙体作为泄压设施，设计使用二氧化碳灭火系统，电气防爆隔离，操作界面与供应间隔离；d.有腐蚀性质的化学品供应间，其地面、门窗、墙面需要有防腐功能。5.GB13690-2009《常用危险化学品的分类及标识》明确我司各类化学品的类别归属及标识方法。6.SJ30002-92《电子工业职业安全卫生设计规定》明确化学品站房职业卫生安全相关设施设计要求。14化学品基础知识培训5/8/2024化学品建筑安全设计

建筑特药有机（4H）无机房（1G）外墙钢筋混凝土空心砖防爆隔墙

屋面轻钢夹芯板钢筋混凝土建筑防火甲类二级防火换风正常情况下每小时6次紧急情况下每小时12次负压保证负压控制围堵系统：储罐区域采用±0设计，但构筑整体围堰以避免化学品外泄造成污染易燃易爆区，采用轻钢屋面防爆隔离墙2.1化学品站房规划设计15化学品基础知识培训5/8/20242.化学品系统设计流程Step1.根据技术组UM表确定每种化学品供应及回收方式Step2根据技术组UM表确定储存罐及管道材质，储罐容积大小Step3根据技术组UM表确定药液输送泵型号，过滤器型号，管径大小Step4根据供应逻辑编写调试软体程序，测试interlock功能16化学品基础知识培训5/8/2024[3]PANDA化学品系统安全专篇17化学品基础知识培训5/8/20241.动力供化学品危险性分类（按实际物料性质辨识）1

危险系数高N321剥离清洗剂，Stripper剥离液，AL刻蚀液，RGB-rework，ITO-rework（原液及废液，酸/碱摩尔浓度高，酸碱腐蚀性强）KP-5辅助铜刻蚀液（原液，含有NH4F，可能水解产生HF）EBR稀释剂（原液及废液，有机成分>95%,易燃易爆）NMP溶剂（原液及废液，有机成分>95%,易燃易爆）TMAH25%浓液（碱性、神经毒性）硝酸（65%，强腐蚀性）K255，KOH，ITO刻蚀液，亚硫酸钠，亚氯酸钠（原液浓度较低或腐蚀性相对较小）2

危险系数中等3

危险系数较低18化学品基础知识培训5/8/20241.1高危险性化学品性质剖析-NMP暴晒试验试验简述取100mlNMP废液，在室外温度35°时暴晒3小时。结论：未见燃烧及其他异常19化学品基础知识培训5/8/2024试验简述取100mlNMP废液，室外温度35°，用明火点燃结论：极具燃烧性质，遇明火易燃！1.1高危险性化学品性质剖析-NMP明火接触试验20化学品基础知识培训5/8/20241、警示语：警告2、危险性说明：易燃液体和蒸气。对眼有强烈的刺激。可能造成对呼吸器官的刺激。可能引起嗜睡或头晕。3、灭火方法及灭火剂：水喷雾头泡沫干粉二氧化碳(CO2)4、救火时的特殊危险性火灾发生时，燃烧会产生有害气体：一氧化碳（CO）5、防火防爆的建议远离火源。采取预防措施防止静电积累试验简述取100mlEBR废液，在室外温度35°时暴晒3小时。结论：未见燃烧及其他异常1.1高危险性化学品性质剖析-EBR暴晒试验21化学品基础知识培训5/8/2024试验简述取100mlEBR废液，室外温度35°，用明火点燃结论：极具燃烧性质，遇明火易燃！1、警示语：警告2、危险性说明：易燃液体和蒸气。对眼有强烈的刺激。可能造成对呼吸器官的刺激。可能引起嗜睡或头晕。3、灭火方法及灭火剂：水喷雾头泡沫干粉二氧化碳(CO2)4、救火时的特殊危险性火灾发生时，燃烧会产生有害气体：一氧化碳（CO）5、防火防爆的建议远离火源。采取预防措施防止静电积累1.2高危险性化学品性质剖析-EBR明火接触试验22化学品基础知识培训5/8/2024TMAH中毒致死案例

1996年2月中旬台湾高雄某电子化学品制造厂工人在从事TMAH输送系统故障之排除工作时，输送管线爆裂造成两名工人身体多处被TMAH溶液喷溅，两名工人立即用大量清水紧急冲淋，20分钟后两名呈现昏迷现象，厂方人员即刻对两名工人施以心脏复苏术并送医院急救，经医院抢救无效死亡。

1.3高危险性化学品案例-TMAH中毒致死23化学品基础知识培训5/8/2024

研究表明TMAH主要健康危害，其特性为类似毒螺类神经毒素，可以抑制呼吸肌肉群，造成呼吸肌肉停止，心跳减缓，严重者脑部缺氧死亡。

吸入、食入和皮肤大面积接触TMAH时，在15-30分钟内产生急性中毒，甚至呼吸停止死亡，人类口服可能致死剂量：25%TMAH0.8-4cc，2.38%TMAH8.4-42cc。急救措施：皮肤接触是立即以大量清水持续冲洗20分钟以上并脱去受污染衣物，立即送医院急救，过程中避免二次污染；不慎吸入时，若患者呼吸困难，立即供应氧气，若患者停止呼吸时，立即施以人工呼吸并送医院急救。

1.3高危险性化学品案例-TMAH毒性危害24化学品基础知识培训5/8/2024面对危化品，该如何安全运行？2.危险化学品安全预防措施25化学品基础知识培训5/8/20242.1危险化学品安全预防硬件措施排气系统：无机化学品系统充装口/供应机台漏液侦测器均与紧急排气风机阀门联动

有机化学品系统供应机台设置有红外及温度探测器，与房间气体侦测器一并与紧急排气风机阀门联动槽车CCB充装口CDS供应机台门侦测器VMB阀箱

工艺机台补充供应200L桶化学品供应间生产净房漏液侦测CO2自动灭火装置（有机机台设置）气体泄露侦测器（有机及HF房间设置）消防系统：各个站房均按国家标准配置烟雾报警器，消防栓，灭火器等消防设施劳保应急：各个站房按相关标准配置有冲身洗眼器，应急器材柜等劳保应急物资26化学品基础知识培训5/8/20241.动力化学品运行团队及运行机制建设情况TCM工作范围人员职责TCM经理：工作管理与人员管理1.TCM工作管理:1)与业主排定维修保养计划。

2)依保养计划安排每日工单项目。

3)现场维修保养作业质量之督导。

4)异常维修追踪管控。2.TCM人员管理

1)人员班表排定

2)人员请假/调班与加班人员控管

3)人员之教育训练与案例倡导TCM领班:工作管理与执行

1）依当日工单:安排人力完成任务

2）现场修保养作业执行确认.3）异常维修执行报告

4）出勤回报.5）周报/月报整理TCM安全工程师:安全标准化实施及现场安全管理

1）TCM安全标准化内容实施更新2）现场作业安全检查及督导整改3）员工不安全行为纠正教育4）各类安全报告整理班组组员：负责TCM工作范围内工作及任务之执行

（1人监控电脑、2人抄表巡检）

1）值班抄表巡检

2）监控装置

3）异常紧急联络窗口4）酸桶更换.5）槽车充填/回收作业检查（平均每天6~8辆槽车）.6）取样送检作业

7）定期维修保养作业执行①FilterPM②Sensor测试③Parts更换④电动机具保养(堆高机/板车/夹酸车)8）其它业主交办事项（1）动力部化学品工程师职责：1.化学品原料/废液叫料/外运安排。2.化学品系统运行过程中产线反应的问题对应解决。3.全方位安全监管。4.TCM运行工作监管。5.化学品节能减排工作推进实施。另：动力部设置1名专职化学品工程师和3名兼职运行人员（每班一名）（2）动力部兼职运行人员职责：

1.槽车接驳，每天上下午各一次现场槽车充装安全巡查。2.抽查TCM工作执行情况，并反馈于化学品工程师。2.2专业危化品运行团队及运行机制建立27化学品基础知识培训5/8/2024序号工作内容实施人员实施频次附图1日常运行点检（用/存量统计）TCM现场点检一天4次，监控电脑液位统计一天4次，总计8次/天2日常运行点检（设备保养点检）TCM按日/月/季度/年保养计划严格实施，动力部工程师每周抽查核实后于点检表签字，确保完成质量3日常运行点检(槽车充装检查）TCM及动力运行部运行人员每辆槽车严格按照checklist流程作业，TCM，动力部运行人员，化学品工程师三级监管，每周周报回顾发现问题，举一反三4日常运行点检（化学品管道检查）TCM目前仅涉及一次配，待二次配验收后也包含入内，每周完成一次全面检查5日常运行点检（电气设备专项检查）TCM每月一次，须持温枪或热成像仪对所有化学品电气柜进行温度检查6日常5S整理TCM每天一块区域（包含机台清洁），每周将所有区域清理一遍略1.动力化学品运行团队（TCM）工作实施情况（普通类）2.2.1化学品系统运行-运行工作分解28化学品基础知识培训5/8/2024序号工作内容实施人员实施频次附图1安全标准化体系更新落实TCMTCM安全工程师专人跟踪落实，动力化学品工程师2周对照总清单目录检查一次体系更新情况2安全点检（排气设备，CO2自动灭火设备，侦测器等设备点检）TCM按日/月/季度/年保养计划严格实施，动力部工程师每周抽查核实后于点检表签字，确保完成质量3安全点检(消防设施及应急劳保器材点检）TCM,动力运行部消防设施半月点检一次（较公司要求增加一倍），灭火器材动力部消防运行人员季度复核，劳保及应急用品由动力化学品工程师季度复核4应急培训，演练TCM，动力运行部TCM每周内部培训一次，每月为动力部运行班组进行一次例行培训，参与各类危化品相关演习一次5安全专项检查TCM，动力运行部TCM安全工程师一周一次，经理2周一次，动力部化学品工程师一周一次，科长带队专项检查2周一次2.2.1化学品系统运行-运行工作分解2.动力化学品运行团队（TCM）工作实施情况（安全类）29化学品基础知识培训5/8/2024安全管理提升软件措施高标准建立动力特气化学品及大宗气站安全管理标准化体系

加强槽车充装现场安全管理，报请运行科支援人力落实充装现场巡检制度。

规范及完善的表单台账制度，作为TCM请款考核资料与产线组织联合应急演练，加强重点区域化学品泄露应急处理能力Step1Step2Step3Step42.3运行期危险化学品安全提升措施30化学品基础知识培训5/8/20241.施工作业管理2.无死角安全检查制度1.特种及普通作业：严格执行动力部作业审批许可流程，施工前