立式加工中心微纳加工技术研究

22/24立式加工中心微纳加工技术研究第一部分微纳加工技术概述 2第二部分立式加工中心微纳加工特点 4第三部分微纳加工材料选择与制备 5第四部分微纳加工工艺参数优化 7第五部分微纳加工精度控制与评价 9第六部分微纳加工表面质量分析 13第七部分微纳加工应用领域与前景 16第八部分立式加工中心微纳加工关键技术 19第九部分微纳加工技术发展趋势 21第十部分微纳加工技术在立式加工中心上的应用 22

第一部分微纳加工技术概述微纳加工技术概述

微纳加工技术是指应用各种物理、化学方法，对材料进行微米、纳米尺度的加工，制造出具有微纳结构的器件或材料的技术。微纳加工技术具有高精度、高分辨率、高灵活性等特点，广泛应用于电子、光学、生物、医疗等众多领域。

#微纳加工技术分类

微纳加工技术可根据加工方式的不同分为以下几种类型：

1.光刻技术：利用光刻胶对材料进行曝光，形成微纳结构图形，然后通过显影、蚀刻等工艺将图形转移到材料上。光刻技术是微纳加工技术中最常用的方法之一，具有精度高、分辨率高的特点。

2.电子束刻蚀技术：利用电子束对材料进行轰击，使材料表面产生溅射，从而形成微纳结构图形。电子束刻蚀技术具有精度高、分辨率高的特点，但加工速度较慢。

3.离子束刻蚀技术：利用离子束对材料进行轰击，使材料表面产生溅射，从而形成微纳结构图形。离子束刻蚀技术具有精度高、分辨率高的特点，且加工速度比电子束刻蚀技术快。

4.化学刻蚀技术：利用化学试剂对材料进行腐蚀，从而形成微纳结构图形。化学刻蚀技术具有成本低、加工速度快的特点，但精度和分辨率相对较低。

5.机械加工技术：利用机械刀具对材料进行切削，从而形成微纳结构图形。机械加工技术具有精度高、分辨率高的特点，但加工速度较慢。

#微纳加工技术应用

微纳加工技术广泛应用于电子、光学、生物、医疗等众多领域，包括：

1.电子行业：微纳加工技术用于制造集成电路、晶体管、芯片等电子器件。

2.光学行业：微纳加工技术用于制造光学元件、光纤、光栅等光学器件。

3.生物行业：微纳加工技术用于制造生物传感器、微流控芯片、组织工程支架等生物器件。

4.医疗行业：微纳加工技术用于制造微型外科手术器械、植入物、药品输送系统等医疗器械。

#微纳加工技术发展趋势

微纳加工技术近年来取得了飞速发展，并在不断开拓新的应用领域。未来，微纳加工技术的发展趋势主要包括：

1.精度和分辨率的提高：微纳加工技术精度和分辨率的不断提高，将使微纳器件的性能更加优异。

2.加工速度的加快：微纳加工技术加工速度的加快，将提高生产效率，降低生产成本。

3.工艺的集成化：微纳加工技术工艺的集成化，将使微纳加工过程更加简便、高效。

4.新材料的开发：新材料的开发，将拓宽微纳加工技术的应用范围，提高微纳器件的性能。

5.应用领域的拓展：微纳加工技术应用领域的拓展，将为微纳技术的发展带来新的机遇和挑战。第二部分立式加工中心微纳加工特点立式加工中心微纳加工特点

立式加工中心微纳加工技术是一种利用立式加工中心对微纳米尺度的工件进行加工的先进制造技术。它以其高精度、高效率和高柔性等优点，在航空航天、医疗保健、电子信息等领域得到了广泛的应用。

立式加工中心微纳加工技术的主要特点包括：

1.高精度：立式加工中心微纳加工技术能够实现微米甚至亚微米级别的加工精度。这主要得益于立式加工中心高刚性的机床结构、高精度的运动控制系统以及先进的刀具和加工工艺。

2.高效率：立式加工中心微纳加工技术具有较高的加工效率。这是因为立式加工中心能够同时进行多轴联动加工，并能自动更换刀具，大大减少了加工时间。

3.高柔性：立式加工中心微纳加工技术具有较高的柔性。它能够加工各种形状和尺寸的工件，并且能够快速更换加工工艺和刀具。这使得立式加工中心微纳加工技术能够适应不同工件的加工需求。

4.高自动化：立式加工中心微纳加工技术具有较高的自动化程度。它能够实现自动编程、自动检测和自动换刀等操作，大大减少了人工操作的强度和难度。

5.高可靠性：立式加工中心微纳加工技术具有较高的可靠性。这是因为立式加工中心采用先进的控制系统和可靠的机械结构，能够保证加工过程的稳定性和可靠性。

6.高安全性：立式加工中心微纳加工技术具有较高的安全性。这是因为立式加工中心具有完善的安全保护装置，能够防止加工过程中的事故发生。

7.广阔的应用前景：立式加工中心微纳加工技术具有广阔的应用前景。它不仅可以用于加工微米甚至亚微米级别的工件，还可以用于加工纳米尺度的工件。这使得立式加工中心微纳加工技术在航空航天、医疗保健、电子信息等领域具有广泛的应用前景。第三部分微纳加工材料选择与制备#立式加工中心微纳加工技术研究

微纳加工材料选择与制备

#一、微纳加工材料选择

微纳加工技术对材料的性能要求极高，材料的选择应综合考虑以下因素：

1.材料的物理和化学性质：材料的硬度、强度、热膨胀系数、导电率、耐腐蚀性等物理和化学性质对微纳加工过程和加工结果有重要影响。

2.材料的加工性能：材料的加工性能是指材料在加工过程中所表现出来的工艺性，包括可切削性、可磨削性、可蚀刻性等。材料的加工性能直接影响微纳加工的效率和精度。

3.材料的成本：材料的成本是微纳加工技术应用中的重要考虑因素，材料的成本应与加工成本和加工质量相匹配。

#二、微纳加工材料制备

微纳加工技术的材料制备方法主要包括以下几种：

1.物理气相沉积（PVD）:PVD是利用物理方法将材料从气相沉积到基体上的技术，主要包括蒸发沉积、溅射沉积和分子束外延（MBE）等。PVD沉积的薄膜具有较高的致密性和均匀性，广泛应用于微电子器件和光学器件的制造。

2.化学气相沉积（CVD）：CVD是利用化学方法将材料从气相沉积到基体上的技术，主要包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）和金属有机化学气相沉积（MOCVD）等。CVD沉积的薄膜具有较高的保形性和选择性，广泛应用于微电子器件和光学器件的制造。

3.外延生长：外延生长是指在基体晶体的表面上生长一层具有相同晶体结构和晶格方向的新晶体层。外延生长的主要方法包括液相外延（LPE）、气相外延（VPE）和分子束外延（MBE）等。外延生长技术广泛应用于微电子器件和光电子器件的制造。

4.微细加工：微细加工是指利用微机械加工技术制造微尺度和纳米尺度的结构和器件。微细加工的方法主要包括光刻、刻蚀、沉积和电镀等。微细加工技术广泛应用于微电子器件、微传感器、微执行器和微系统等领域的制造。

#三、微纳加工材料的应用

微纳加工材料广泛应用于微电子器件、光学器件、微传感器、微执行器、微系统等领域。微纳加工材料的选择和制备对微纳加工技术的应用具有重要影响。第四部分微纳加工工艺参数优化一、微纳加工工艺参数优化概述

微纳加工技术是一种能够在微米或纳米尺度上对材料进行加工的先进制造技术，具有加工精度高、加工效率高、加工质量好等优点，广泛应用于航空航天、电子、生物医疗等领域。立式加工中心微纳加工技术是微纳加工技术的一种，具有加工范围广、加工精度高、加工效率高、加工质量好等优点，在微纳加工领域得到了广泛的应用，例如，制造微型传感器、微型执行器、微型机器人、微型医疗器械等。

微纳加工工艺参数优化是通过优化微纳加工工艺参数来提高微纳加工质量和效率的一种技术，其主要目标是通过选择合适的工艺参数来提高微纳加工精度、加工效率和加工质量。微纳加工工艺参数优化是一项复杂而艰巨的任务，需要综合考虑多种因素，例如，加工材料的特性、加工工艺的特性、加工设备的特性等。

二、微纳加工工艺参数优化方法

微纳加工工艺参数优化的方法主要有以下几种：

1.试验法

试验法是最简单的一种微纳加工工艺参数优化方法，其基本思想是通过实验来确定最佳的工艺参数。试验法通常采用正交试验设计的方法来进行，其优点是简单易行，缺点是效率低，需要大量的实验。

2.数值模拟法

数值模拟法是一种基于计算机模拟的微纳加工工艺参数优化方法，其基本思想是利用计算机模拟软件来模拟微纳加工过程，并通过分析模拟结果来确定最佳的工艺参数。数值模拟法通常采用有限元法、边界元法、蒙特卡罗法等方法来进行，其优点是效率高，可以快速地确定最佳的工艺参数，缺点是需要建立准确的计算机模型，而且计算量大。

3.人工智能法

人工智能法是一种基于人工智能技术的微纳加工工艺参数优化方法，其基本思想是利用人工智能算法来分析微纳加工工艺数据，并通过学习来确定最佳的工艺参数。人工智能法通常采用神经网络、遗传算法、模糊逻辑等算法来进行，其优点是效率高，而且可以处理复杂的数据，缺点是需要大量的数据来训练人工智能算法。

三、微纳加工工艺参数优化实例

以下是一个立式加工中心微纳加工工艺参数优化实例：

1.加工材料：铝合金

2.加工工艺：铣削

3.加工设备：立式加工中心

4.加工精度要求：±10μm

5.加工效率要求：100件/小时

6.加工质量要求：表面粗糙度Ra≤0.5μm

通过优化工艺参数，最终确定了以下工艺参数：

1.主轴转速：10000rpm

2.进给速度：100mm/min

3.切削深度：0.1mm

4.刀具直径：1mm

5.刀具材料：硬质合金

6.刀具几何参数：前角10°、后角5°、刃倾角45°

采用上述优化后的工艺参数，实现了铝合金立式加工中心微纳加工精度±10μm、加工效率100件/小时、加工质量表面粗糙度Ra≤0.5μm的目标。

四、结论

微纳加工工艺参数优化是一项复杂而艰巨的任务，需要综合考虑多种因素。通过采用试验法、数值模拟法、人工智能法等方法，可以有效地优化微纳加工工艺参数，从而提高微纳加工精度、加工效率和加工质量。第五部分微纳加工精度控制与评价立式加工中心微纳加工精度控制与评价

#1.微纳加工精度控制

1.1机床几何精度控制

机床几何精度控制是微纳加工精度控制的基础。机床几何精度主要包括机床的直线度、垂直度、平行度、同轴度和回转精度等。这些几何精度直接影响到微纳加工的加工精度。因此，在微纳加工过程中，必须对机床的几何精度进行严格的控制。

1.2刀具精度控制

刀具精度控制是微纳加工精度控制的另一个重要因素。刀具精度主要包括刀具的几何精度、刀具材料的性能和刀具的磨损情况等。刀具的几何精度直接影响到微纳加工的加工精度。刀具材料的性能和刀具的磨损情况也会影响到微纳加工的加工精度。因此，在微纳加工过程中，必须对刀具的精度进行严格的控制。

1.3加工参数控制

加工参数控制是微纳加工精度控制的重要环节。加工参数主要包括切削速度、进给速度、切削深度和切削液等。这些加工参数直接影响到微纳加工的加工精度。因此，在微纳加工过程中，必须对加工参数进行合理的控制。

#2.微纳加工精度评价

微纳加工精度评价是微纳加工过程中的一个重要环节。微纳加工精度评价的方法主要有以下几种：

2.1几何测量法

几何测量法是微纳加工精度评价最常用的方法。几何测量法主要通过测量工件的尺寸、形状和位置等参数来评价微纳加工精度。几何测量法可以采用接触式测量方法和非接触式测量方法。接触式测量方法包括坐标测量机、三坐标测量机、轮廓测量仪等。非接触式测量方法包括光学测量仪、激光扫描仪、X射线测量仪等。

2.2功能测量法

功能测量法是通过测量工件的功能参数来评价微纳加工精度。功能测量法可以采用性能测试法、寿命测试法、可靠性测试法等。性能测试法主要通过测量工件的性能参数来评价微纳加工精度。寿命测试法主要通过测量工件的寿命来评价微纳加工精度。可靠性测试法主要通过测量工件的可靠性来评价微纳加工精度。

2.3综合评价法

综合评价法是将几何测量法和功能测量法结合起来，对微纳加工精度进行综合评价。综合评价法可以更加全面、准确地评价微纳加工精度。

#3.提高微纳加工精度的方法

提高微纳加工精度的方法主要有以下几种：

3.1提高机床几何精度

提高机床几何精度是提高微纳加工精度的前提。可以采用以下方法提高机床几何精度：

*改进机床的设计和制造工艺。

*采用高精度的机床元件。

*定期对机床进行校准和维护。

3.2提高刀具精度

提高刀具精度是提高微纳加工精度的重要环节。可以采用以下方法提高刀具精度：

*选择高精度的刀具材料。

*合理设计刀具的几何形状。

*采用先进的刀具制造工艺。

*定期对刀具进行磨损检查和更换。

3.3优化加工参数

优化加工参数是提高微纳加工精度的重要途径。可以采用以下方法优化加工参数：

*选择合适的切削速度、进给速度和切削深度。

*选择合适的切削液。

*采用合理的加工工艺。

3.4加强工艺控制

加强工艺控制是提高微纳加工精度的重要保证。可以采用以下方法加强工艺控制：

*制定详细的工艺流程。

*严格控制加工过程中的各项参数。

*定期对加工过程进行监测和调整。

3.5采用先进的加工技术

采用先进的加工技术是提高微纳加工精度的有效途径。可以采用以下先进的加工技术：

*激光加工技术。

*电子束加工技术。

*离子束加工技术。

*纳米加工技术。第六部分微纳加工表面质量分析#微纳加工表面质量分析

一、表面粗糙度分析

#1.粗糙度的概念

表面粗糙度是指加工表面实际轮廓线与理想几何形状轮廓线之间的微小不平度。表面粗糙度是微纳加工的重要质量指标之一，粗糙度值越大，表明加工表面越粗糙。粗糙度值越小，表明加工表面越光滑。

#2.粗糙度的评价方法

表面粗糙度的评价方法有很多种，常用的有：

（1）算术平均粗糙度（Ra）

算术平均粗糙度是指加工表面实际轮廓线与理想几何形状轮廓线之间的平均绝对偏差。其计算公式为：

```

Ra=(1/L)∫[y(x)]dx

```

式中：

*L为评估长度

*y(x)为加工表面实际轮廓线与理想几何形状轮廓线之间的偏差

（2）最大高度粗糙度（Rz）

最大高度粗糙度是指加工表面实际轮廓线与理想几何形状轮廓线之间的最大高度差。其计算公式为：

```

Rz=y(x)-y(x+L)

```

式中：

*L为评估长度

*y(x)为加工表面实际轮廓线的高度

*y(x+L)为加工表面实际轮廓线在L长度后的高度

#3.影响粗糙度的因素

表面粗糙度的影响因素有很多，包括：

*加工工艺参数：加工速度、进给速度、切削深度、刀具几何形状、刀具材料等。

*机床性能：机床的刚性、热变形、振动等。

*刀具材料和刀具磨损：刀具材料的硬度、韧性和耐磨性等，刀具的磨损程度等。

*工件材料：工件材料的硬度、韧性和延展性等。

二、表面形貌分析

#1.表面形貌的概念

表面形貌是指加工表面微观结构的形态，包括表面纹理、晶粒结构、缺陷等。表面形貌是微纳加工的重要质量指标之一，表面形貌的好坏直接影响加工表面的性能。

#2.表面形貌的评价方法

表面形貌的评价方法有很多种，常用的有：

（1）扫描电子显微镜（SEM）

扫描电子显微镜是一种利用电子束扫描样品表面，并检测反射电子或二次电子来成像的仪器。SEM可以观察样品表面的微观结构和形貌。

（2）原子力显微镜（AFM）

原子力显微镜是一种利用原子力来成像样品表面的仪器。AFM可以观察样品表面的纳米级结构和形貌。

#3.影响形貌的因素

表面形貌的影响因素有很多，包括：

*加工工艺参数：加工速度、进给速度、切削深度、刀具几何形状、刀具材料等。

*机床性能：机床的刚性、热变形、振动等。

*刀具材料和刀具磨损：刀具材料的硬度、韧性和耐磨性等，刀具的磨损程度等。

*工件材料：工件材料的硬度、韧性和延展性等。

三、表面缺陷分析

#1.表面缺陷的概念

表面缺陷是指加工表面上的各种缺陷，包括裂纹、划痕、凹坑、气泡、夹杂物等。表面缺陷是微纳加工的重要质量指标之一，表面缺陷的存在会影响加工表面的性能。

#2.表面缺陷的评价方法

表面缺陷的评价方法有很多种，常用的有：

（1）目视检测

目视检测是一种最简单、最直接的表面缺陷评价方法。目视检测可以发现加工表面的裂纹、划痕、凹坑等缺陷。

（2）无损检测

无损检测是一种不破坏样品表面即可检测表面缺陷的方法。无损检测的方法有很多种，常用的有：

*超声波检测：利用超声波在样品中的传播特性来检测表面缺陷。

*X射线检测：利用X射线穿透样品的能力来检测表面缺陷。

*红外热成像检测：利用红外热成像技术来检测表面缺陷。

#3.影响缺陷的因素

表面缺陷的影响因素有很多，包括：

*加工工艺参数：加工速度、进给速度、切削深度、刀具几何形状、刀具材料等。

*机床性能：机床的刚性、热变形、振动等。

*刀具材料和刀具磨损：刀具材料的硬度、韧性和耐磨性等，刀具的磨损程度等。

*工件材料：工件材料的硬度、韧性和延展性等。第七部分微纳加工应用领域与前景#一、微纳加工技术的研究现状

微纳加工技术是一门以微米和纳米尺度为加工对象的先进制造技术，近年来取得了长足的进步。微纳加工技术已被广泛用于航空航天、电子、医疗、汽车等领域，并逐渐成为推动产业发展的关键技术之一。随着微纳加工技术的不断发展，其应用领域也在不断拓展，前景广阔。

微纳加工技术的研究现状主要包括以下几个方面：

1.微纳加工技术的研究方向

微纳加工技术的研究方向主要包括微纳尺度加工方法、微纳尺度材料加工、微纳尺度器件加工等。

2.微纳加工技术的研究成果

微纳加工技术的研究成果主要包括微纳尺度加工方法的改进、微纳尺度材料加工工艺的优化、微纳尺度器件加工技术的突破等。

3.微纳加工技术的研究热点

微纳加工技术的研究热点主要包括微纳尺度加工方法的创新、微纳尺度材料加工工艺的集成、微纳尺度器件加工技术的应用等。

#二、微纳加工技术的应用领域与前景

微纳加工技术已广泛应用于航空航天、电子、医疗、汽车等领域，并逐渐成为推动产业发展的关键技术之一。微纳加工技术在上述领域中的应用主要包括以下几个方面：

1.航空航天领域

微纳加工技术在航空航天领域的主要应用包括微纳卫星、微纳推进器、微纳传感器等。

2.电子领域

微纳加工技术在电子领域的主要应用包括微纳芯片、微纳传感器、微纳执行器等。

3.医疗领域

微纳加工技术在医疗领域的主要应用包括微纳手术机器人、微纳药物输送系统、微纳生物芯片等。

4.汽车领域

微纳加工技术在汽车领域的主要应用包括微纳传感器、微纳执行器、微纳燃料喷射器等。

#三、微纳加工技术的前景

微纳加工技术的前景十分广阔。随着微纳加工技术的研究不断深入，其应用领域也将不断拓展。微纳加工技术有望在未来推动产业的变革，并为人类社会带来巨大的进步。

微纳加工技术的前景主要包括以下几个方面：

1.微纳加工技术将在更多领域得到应用

随着微纳加工技术的研究不断深入，其应用领域也将不断拓展。微纳加工技术有望在未来应用于能源、环境、农业、建筑等领域。

2.微纳加工技术将推动产业的变革

微纳加工技术有望推动产业的变革。通过微纳加工技术可以生产出更小的、更轻的、更便宜的、更可靠的产品。微纳加工技术将使许多产品变得更加智能化、自动化和互联化。

3.微纳加工技术将为人类社会带来巨大的进步

微纳加工技术将为人类社会带来巨大的进步。微纳加工技术可以用于生产出更先进的医疗设备、更节能的汽车、更智能的电子产品等。微纳加工技术将使人类的生活变得更加美好。第八部分立式加工中心微纳加工关键技术一、微纳加工关键技术概述

微纳加工技术是以微米和纳米为尺度的加工技术，以获取具有微结构或纳米结构的工件表面的过程。微纳加工技术是微电子技术、光电子技术、微系统技术和纳米技术的基础和关键技术，在国防、航空航天、生物医疗、材料科学等众多领域具有广泛的应用前景。

二、立式加工中心微纳加工关键技术

立式加工中心微纳加工技术是指利用立式加工中心作为加工平台，对工件进行微纳加工的加工技术。立式加工中心微纳加工的关键技术包括：

1.微纳加工工装技术

微纳加工工装技术是确保微纳加工精度和质量的关键技术之一。微纳加工工装主要包括定位、固定、夹紧和支撑等部件。微纳加工工装的设计和制造精度对微纳加工的精度和质量起着决定性的作用。

2.微纳加工刀具技术

微纳加工刀具技术是微纳加工的关键技术之一。微纳加工刀具主要包括金刚石刀具、硬质合金刀具、陶瓷刀具和超硬刀具等。微纳加工刀具的材料、几何形状、切削刃形状、表面质量等因素对微纳加工的精度、效率和质量起着决定性的作用。

3.微纳加工控制技术

微纳加工控制技术是微纳加工的关键技术之一。微纳加工控制技术主要包括位置控制、速度控制、加速度控制和进给控制等。微纳加工控制技术的精度和稳定性对微纳加工的精度、效率和质量起着决定性的作用。

4.微纳加工测量技术

微纳加工测量技术是微纳加工的关键技术之一。微纳加工测量技术主要包括尺寸测量、形状测量、表面粗糙度测量和轮廓测量等。微纳加工测量技术的精度和可靠性对微纳加工的精度、效率和质量起着决定性的作用。

三、立式加工中心微纳加工技术应用

立式加工中心微纳加工技术具有精度高、效率高、质量好、适用范围广等优点，在航空航天、电子、医疗、汽车、仪器仪表、模具等众多领域得到了广泛的应用。

1.航空航天领域：立式加工中心微纳加工技术可以用于加工飞机发动机叶片、涡轮叶轮、火箭发动机喷管等复杂形状的零部件。

2.电子领域：立式加工中心微纳加工技术可以用于加工半导体晶片、集成电路、显示器件等电子元器件。

3.医疗领域：立式加工中心微纳加工技术可以用于加工手术器械、植入物、义齿等医疗器械。

4.汽车领域：立式加工中心微纳加工技术可以用于加工汽车发动机缸体、缸盖、活塞、曲轴等零部件。

5.仪器仪表领域：立式加工中心微纳加工技术可以用于加工光学仪器、测量仪器、控制仪表等仪器仪表。

6.模具领域：立式加工中心微纳加工技术可以用于加工塑胶模具、金属模具、陶瓷模具等模具。第九部分微纳加工技术发展趋势微纳加工技术发展趋势

微纳加工技术作为现代制造业的核心技术之一，近年来取得了长足的发展，并在各个领域得到了广泛的应用。随着科学技术的发展，微纳加工技术也在不断地进步和创新，呈现出以下几个发展趋势：

1.微纳加工技术向更高精度、更高分辨率方向发展

随着微电子器件、光学器件、生物医疗器件等对加工精度的要求越来越高，微纳加工技术也朝着更高精度、更高分辨率的方向发展。目前，微纳加工技术已经能够加工出亚微米甚至纳米级的结构和器件，并且正在向原子级加工迈进。

2.微纳加工技术向更小尺度和更高集成度方向发展

随着微纳器件尺寸的不断减小，微纳加工技术也朝着更小尺度和更高集成度方向发展。目前，微纳加工技术已经能够加工出纳米级的器件和系统，并且正在向分子和原子级集成迈进。

3.微纳加工技术向更复杂和多功能方向发展

随着微纳器件功能的不断增加，微纳加工技术也朝着更复杂和多功能方向发展。目前，微纳加工技术已经能够加工出具有多种功能的微纳器件和系统，并且正在向智能化和自适应化方向迈进。

4.微纳加工技术向更绿色和可持续方向发展

随着人们环保意识的不断增强，微纳加工技术也朝着更绿色和可持续方向发展。目前，微纳加工技术已经开始采用无毒无害的材料和工艺，并且正在向循环利用和低碳排放方向迈进。

5.微纳加工技术与其他技术的融合