基于MEMS技术的谐振器研究的开题报告

基于MEMS技术的谐振器研究的开题报告目录1.选题背景2.研究意义3.研究目的4.研究方法5.研究计划6.预期结果7.参考文献1.选题背景随着信息技术和通信技术的发展，使用射频（RF）信号进行通信的需求日益增加。射频信号的产生往往需要频率稳定性高的谐振器，而微机电系统（MEMS）技术的发展使得制作基于MEMS技术的谐振器成为可能。人们发现MEMS谐振器具有体积小、功耗低、频率稳定性高等优点，因此越来越多的人开始关注MEMS谐振器的研究。2.研究意义基于MEMS技术的谐振器可以应用于很多领域，例如通信、无线传感器网络等。大量的应用需求也推动了MEMS谐振器研究的发展。同时，MEMS谐振器主要由集成电路制造工艺和微加工制造工艺组成，因此研究基于MEMS技术的谐振器也有助于拓展微纳制造技术的应用范围。3.研究目的本研究旨在研究基于MEMS技术的谐振器，探究其频率稳定性、精度、抗干扰性等性能指标，以及相关应用。具体目的如下：1.研究基于MEMS技术的谐振器的制造技术及特点。2.研究基于MEMS技术的谐振器的性能指标，包括频率稳定性、精度、抗干扰性等方面。3.研究基于MEMS技术的谐振器在通信、无线传感器网络等方面的应用。4.研究方法本研究使用实验研究和文献调研两种方法进行。1.实验研究使用MEMS制造工艺制作谐振器样品，并对其进行实验测量，测试其频率稳定性、精度、抗干扰性等指标。同时，对谐振器相关参数进行分析和优化，以提高谐振器的性能。2.文献调研对国内外相关文献进行搜索、筛选和分析，总结谐振器相关制造工艺、技术、应用等方面的研究成果。可以通过文献调研，了解谐振器研究的前沿及未来发展方向。5.研究计划本研究计划分为以下阶段：1.文献调研（3~4周）2.制备谐振器横向样品（6~7周）3.进行谐振器实验测量及参数优化（4~5周）4.编写实验报告及论文（2~3周）6.预期结果通过本研究，可以得到以下预期成果：1.了解基于MEMS技术的谐振器的制造工艺和特点。2.研究谐振器的性能指标，包括频率稳定性、精度、抗干扰性等方面。3.研究基于MEMS技术的谐振器在通信、无线传感器网络等方面的应用。4.提高谐振器的性能，进一步拓展其应用领域。7.参考文献[1]PiazzaG,PederzolliF,PierobonR.MEMSResonatorsforWirelessCommunication:PiezoelectricVibrationDevicesversusMicromachinedSiliconResonators[J].Sensors(Basel,Switzerland),2017,17(2):261.[2]HuX,XuJ,GuanX,etal.DesignandFabricationofaMEMSTunableGigahertzResonator[J].Micromachines,2017,8(9):280.[3]MaYaliang,YuanJianmin,HanJunbo,etal.ResearchonSiliconMEMSResonatorforFrequencyControlApplications[J].MicroelectronicsJournal,2017,66:1-6.[4]LiuX,LuF,HanL,etal.InvestigationofthesizeeffectofMEMSresonatorsbynumericalsimulation[J].MicrosystemTechnologies,2017,23(4):1079-1089.[5]QiuCW,WagnerS,LiangYC,etal.MEMSResonatorsforSensingApplicatio