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1表面化学分析—俄歇电子能谱--选择仪器性能参数的表述2规范性引用文件Vocabulary—Part1:Generaltermsandte3术语和定义4符号和缩略语AES：俄歇电子能谱（也指俄歇电子能谱仪AugerelecFWHM：半高峰宽（fullwidthathalfmaximum）rms：均方根（rootmeansquare）scanningAugerelectronSEM：扫描电子显微镜（scanningelectron5选择仪器性能参数的表述5.5横向分辨和束流a)SEM是在最佳操作条件下获得的；应分析的样品有一个小于仪器标称的横向分辨的30%的特貌区。该区的特征俄歇电子信号扫描线台区俄歇电子强度之差从20%变化到80%的两点间距离定义为该扫描方向上的横向分辨。3刃边的平台区的俄歇电子强度差值从20%变5.6谱仪强度性能和能量分辨能量标应参照费米能级(FL)说明并应包括标尺线性、用仪器手册描述的定位步骤重置样品时Cu5.8谱仪强度线性5[1]ISO17973,Surfacechemicalanalysis—Calibrationoftheenergys[2]ISO17974,SurfacechemCalibrationofenergyscalesforelementalandchemical-stateanalysis[3]ISO/TR19319,Surfacechemicalanalysis-Fresolutionandsharpnessinbeam-basedmetho[4]ISO21270,Surfacechemicalanalysis—X-rayphotoelectronandAugerelectronspectrometers—Linearityofintensityscale[5]ISO24236,Surfacechemicalanalysis—Augerelectronspectroscopy—Repeatabilityandconstancy[6]ISO29081,Surfacechemicalanalysis—Augerelectronspectroscopy—Report

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