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4半导体行业超纯水工艺制程混床用离子交换树脂产品认证技术要求本文件适用于半导体行业超纯水制备用的制程混床用离子交GB/T5757离子交换树脂含水GB/T5758离子交换树脂粒度分布测定方法离子交换树脂粒度、有效粒径和均一系数的GB/T5759氢氧型阴离子交换树脂含水GB/T5760氢氧型阴离子交换树脂交换容GB/T12598离子交换树脂强度GB/T36769阳离子交换树脂再生转型率半导体行业超纯水ultrapurewaterforsemiconductorin欧姆厘米(Ω·cm纯水的理论电阻率为18.3MΩ·cm（25℃)。总有机碳totalorganic54.1强酸性阳离子交换树脂4.1.1外观4.1.3理化性能%%%%4.2强碱性阴离子交换树脂4.2.1外观4.2.3理化性能%%%%4.3运行参数65.2游离水分测定测试除去外层包装(编织袋或桶)后，将用透明塑料袋包装的树脂竖起直立，约10mi于容器中计量。应从到货树脂中至少测定3件(袋或桶)，以所收集量的平均值计算整批到货树脂游离水5.3试样预处理5.4含水量的测定5.5体积交换容量的测定氢型树脂交换容量用经过预处理的试样25mL，按GB/T8144-2008标钠型树脂交换容量按照GB/T8144氢氧型阴树脂采用GB/T5760-2000氢氧型阴离子交换树脂交换容量测定方法中规定的方法进行测氯型阴树脂采用GB/T11992-2008氯型强碱性阴离子交换树脂交换容量测定方法中规定的方法进Qv=Qwp(1−X)#(1)X——含水量，%。5.6湿视密度的测定湿视密度按GB/T8331-2008中规75.7湿真密度的测定湿真密度测定按GB/T8330-2008中规5.8粒度、有效粒径和均一系数的测定粒度、有效粒径和均一系数按GB/T5758-2001中规定5.9磨后圆球率的测定5.10氢型率的测定氢型率的测定采用GB/T36769—2018中规定的5.11氢氧型率的测定5.12运行参数的测定5.12.1试验条件表4制程混床用离子交换树脂测试试验进水水5.12.2试验仪器——二氧化硅测定仪：量程0.03μg/L~0.2mg/L，精——总有机碳测定仪：量程0

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