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文档简介

JJF（有色金属）XXXX—XXXX1“米字线纹尺”是光学显微镜畸变校准的主要标准器，具有结构简单、准确度高、稳定性A型B型图1“米字形”线纹尺结构图2参考JJF73-2005高等别线纹尺，米字线纹尺上任s校准条件JJF（有色金属）XXXX—XXXX3序号校准项目测量标准1材料线膨胀系数箱式纵动或横动比较仪，数显卡尺2刻线面与非刻线面的平行度数显外径千分尺MPE：±2μm或立式测长仪3刻线宽度及长度读数值小于1μm的测微显微镜万能工具显微镜MPE1+L/100）μm4轴线与刻线的垂直度万能工具显微镜MPE1+L/100）μm5角度万能工具显微镜MPE1+L/100）μm6刻线间隔激光干涉比长仪U95=（0.04+1.0L）μm注：也可采用满足计量特性要求的其它测量设备进行校准。校准前应检查线纹尺外观有无破损，是否有影响测量的因素‘校准项目和校准方法LΔLi=CL0ΔL iΔLCi=L0ΔTiΔLi—材料的线膨胀量；Ci—线膨胀系数；LΔTi—温度的变化量。JJF（有色金属）XXXX—XXXX4a=3ai（3）Δa=a-a0（4）Δa—线膨胀系数偏差；用立式测长仪或千分尺测量线纹尺的两端厚度δ1、δ2，计算其差值Δδ。Δδ=δ1-δ2（5）每条轴线在首、中、末抽取三条刻线进行测量，取误差最大值作θi=j（6）Δθi=θ0-θi（7）θij—各角度5次测量结果，j=1,2,3 θ0—标称角度； θi—角度测量值。在线纹尺的侧面贴上测温传感器，所贴传感器的只数应根JJF（有色金属）XXXX—XXXX5以A型米字型线纹尺为例，其分度值为0.1mm，则需要对其所有轴线上的标称刻线间隔测量 L= ΔL=L0-LΔL—线纹尺刻线间隔误差，μmL校准结果应在校准证书上反映。校准原始记录参考格式见附录A，校准证书参考格式），h)校准所依据的技术规范的标识，包括名称j)校准环境的描述；JJF（有色金属）XXXX—XXXX6建议复校时间间隔为1年。标定器使用频繁时应适当缩短周期，在使用过程中标定器经过JJF（有色金属）XXXX—XXXX7℃/mm首中尾首中尾首中末8…12……9JJF（有色金属）XXXX—XXXX9δδ线纹尺刻线间隔测量结果不确定度评定示例 =L=L-L式中：δi—刻线间隔示值误差，μm；L—刻线间隔标称值，mm； u(δi)=cu2(L)+c(Li)输入量i引入的标准不确定度主要来源于测量重复性引入的标准不确定度分量、激光干涉比长仪引入的标准不确定度分量和环境温度波动引入s=(xi-x)9=0.007μmu(L1)=s=0.007μm2）激光干涉比长仪引入的标准不确定度分量u(u(Lu(L)=0.02μm环境温度波动引入的标准不确定度分

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