电子气体 六氟化硫 征求意见稿

1GB/T18867—XXXX电子气体六氟化硫本文件规定了电子用六氟化硫的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。本文件适用于以工业六氟化硫为原料提纯制得的电子用六氟化硫。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件GB190危险货物包装标志GB/T5099（所有部分）钢质无缝气瓶GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法GB/T7144气瓶颜色标志GB/T12022工业六氟化硫GB/T14193液化气体气瓶充装规定GBl5258化学品安全标签编写规定GB/T16804气瓶警示标签GB/T28054钢质无缝气瓶集束装置GB/T28726气体分析氦离子化气相色谱法GB/T33145大容积钢质无缝气瓶GB/T43306气体分析采样导则TSG07特种设备生产和充装单位许可规则TSG23气瓶安全技术规程3术语和定义本文件没有需要界定的术语和定义。4技术要求六氟化硫的技术要求应符合表1的规定。2GB/T18867—XXXX表1技术要求六氟化硫(SF)纯度(摩尔分数)/10（氧+氩O+Ar）含量（摩尔分数）/l0一氧化碳（CO）含量（摩尔分数）/l0水分（HO）含量（摩尔分数）/l0酸度（以HF计摩尔分数）/10可水解氟化物(以氟离子计）含量（摩尔分数）/10杂质总含量（摩尔分数）/l05采样六氟化硫的采样应符合GB/T43306的规定。6试验方法6.1六氟化硫纯度6.1.1杂质总含量杂质总含量按式(1)计算：x13=x1+x2+x3+x4+x5+x6+x7+x8+x9+x10+x11+x12 (1)式中：x1——氢含量(摩尔分数)，10-6；x2——（氧+氩）含量(摩尔分数)，10-6；x3——氮含量(摩尔分数)，10-6；x4——四氟化碳含量(摩尔分数)，10-6；3GB/T18867—XXXX5x——一氧化碳含量(摩尔分数)，10-6；56x——二氧化碳含量(摩尔分数)，10-6；67x——甲烷含量(摩尔分数)，10-6；7x8——六氟乙烷含量(摩尔分数)，10-6；x9——八氟丙烷含量(摩尔分数)，10-6；x10——水分含量(摩尔分数)，10-6；x11——酸度含量(摩尔分数)，10-6；x12——可水解氟化物含量(摩尔分数)，10-6；x——杂质总含量（摩尔分数），10-6。6.1.2六氟化硫纯度六氟化硫纯度按式(2)计算：x=100-x1310-4…………(2)式中：x——六氟化硫纯度(摩尔分数)，10-2。6.2氢、氧+氩、氮、四氟化碳、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、六氟乙烷和八氟丙烷含量的测定6.2.1测定方法按GB/T28726规定的切割进样的方法测定六氟化硫中氢、氧+氩、氮、四氟化碳、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、六氟乙烷和八氟丙烷含量。允许采用其他等效的方法测定六氟化硫中氢、氧+氩、氮、四氟化碳、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、六氟乙烷和八氟丙烷含量。当对测定结果有异议时，以本文件规定的方法为仲裁方法。6.2.2预分离柱预分离柱：长约0.6m，内径约2mm的316L不锈钢管，内装粒径为0.18mm～0.25mm的改性碳分子筛，或采用其它等效预分离柱。6.2.3色谱柱色谱柱І：长约2m、内径约2mm的316L不锈钢管，内装粒径为0.18mm～0.25mm的5A分子筛，或其他等效色谱柱。该柱用于测定氢、氧+氩、氮、一氧化碳、甲烷含量。色谱柱Ⅱ：长约6m，内径约3mm的316L不锈钢管，内装粒径为0.18mm～0.25mm的高分子聚合物（乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物或其他等效色谱柱。该柱用于测定四氟化碳、二氧化碳、六氟乙烷、八氟丙烷含量。4GB/T18867—XXXX6.2.4标准样品标准样品中组分含量为（1~5）×10-6（摩尔分数），平衡气为氦。6.3水分含量的测定按GB/T5832.3的规定执行。可采用其他等效的方法测定六氟化硫中的水分含量。当对测定结果有异议时，以GB/T5832.3规定的方法为仲裁方法。6.4酸度的测定按GB/T12022的规定执行。6.5可水解氟化物（以氟离子计）的测定6.5.1方法提要使试样气化，鼓泡进入盛有水的多孔式气体洗瓶中，吸收样品中的可水解氟化物，用离子色谱仪对吸收液中的氟离子进行测定，采用外标法进行定量。6.5.2试剂和材料碳酸钠（Na2CO3）。碳酸氢钠（NaHCO3）。淋洗液：Na2CO3（1.8mmol/L）与NaHCO3（1.7mmol/L）的混合溶液。氟离子标准溶液：氟离子含量为100μg/mL。一级水：符合GB/T6682的规定。阴离子分离柱：长约250mm、内径约4mm的不锈钢管，内装粒径为0.009mm的含季铵盐官能团聚乙烯醇，或其他等效分离柱。多孔式气体洗瓶：250mL。6.5.3仪器、设备离子色谱仪采用配备电导检测器的离子色谱仪，仪器对氟离子的检测限应符合本文件的要求。湿式气体流量计应满足下列要求：——准确度等级：1级；——流量范围:（0.1~0.5）m3/h；——回转体积：5L。样品预处理装置5GB/T18867—XXXX按图1示意图安装样品预处理装置。六氟化硫气瓶连接调压阀，出口管路上串联2个多孔式气体洗瓶（以下简称气体洗瓶），每个装有100mL的一级水。第2个气体洗瓶后面连接湿式气体流量计。图1样品预处理装置示意图6.5.4测定条件参考的测定条件检测器温度：50℃;分离柱温度：30℃;进样体积：50μL；样品流速：1mL/min。其他测定条件其他测定条件按照相应的仪器说明书执行。6.5.5测定步骤启动仪器按离子色谱仪说明书开启仪器。调整仪器各部件达到测定条件，待仪器稳定后即可测定。样品预处理.1样品预处理装置示意图见图1。.2在2个气体洗瓶中各加入100mL一级水。.3打开图1所示的六氟化硫气瓶阀门，调节调压阀，使流量控制在300mL/min。六氟化硫样品连续鼓泡通过2个气体洗瓶30min左右，放出约10L试样，停止吸收。.4吸收完成后，合并2个气体洗瓶中的吸收溶液，摇匀待测。.5同时做空白试验。6GB/T18867—XXXX工作曲线的建立量取10mL氟离子标准溶液置于100mL容量瓶内，用一级水稀释、定容，即得10μg/mL氟离子工作储备液。用逐步稀释法依次移取工作储备液，配制浓度为0.001mg/L、0.004mg/L、0.006mg/L、0.008mg/L、0.01mg/L、0.02mg/L和0.03mg/L的氟离子标准溶液，此溶液现用现配。量取稀释后的标准溶液各50μL，待仪器稳定后在符合规定的测定条件下进样，建立工作曲线。采用最小二乘法制作仪器响应值对浓度值的线性方程，线性相关系数应不小于0.999。样品的测定以建立工作曲线同样的测定条件测定样品吸收溶液，从工作曲线可查得样品吸收溶液中的氟离子含量。重复进样至少两次，直至两次平行测定的相对偏差不大于5%，取其算术平均值为测定值。结果处理按公式（4）计算六氟化硫中可水解氟化物（以氟离子计）的含量。x123………(4)式中：x12——氟离子的含量（摩尔分数），10-6；c——离子色谱检测出的氟离子浓度，单位为毫克每升（mg/L）；V1——样品吸收溶液的体积，单位为升（L）；22.4——标准状态下的理想气体摩尔体积，单位为升每摩尔（L/mol）；P0——标准状态下的大气压力，单位为千帕（kPaP0=101.325T——环境温度，单位为开尔文（K）；V0——吸收的样品气体积，单位为升（L）；M——氟原子质量的数值，单位为克每摩尔（g/mol）（M=20.01）；P——环境大气压力，单位为千帕（kPa）；T0——标准状态的绝对温度，单位为开尔文（KT0=273.15）。6.5.6其他等效方法允许采用其他等效的方法测定六氟化硫中的可水解氟化物含量。当对测定结果有异议时，以本文件6.5.1规定的方法为仲裁方法。6.6尾气处理测定时，应有六氟化硫尾气处理措施，以防止六氟化硫对环境的污染。7检验规则7.1组批7GB/T18867—XXXX同一生产线连续稳定生产的六氟化硫构成一批，每批产品重量不超过5吨；或以一集装格、一槽车装产品为一批。7.2瓶装六氟化硫的抽样、判定和复验7.2.1应逐一检验（氧+氩）含量、氮含量、水含量，当检验结果均符合表1的规定时，则判该产品合格。当检验结果不符合表1的规定时，则判该产品不合格。7.2.2表1中所列出的除（氧+氩）含量、氮含量、水含量之外的其余杂质含量应按表2规定的抽样数量随机抽样检验。当检验结果符合表1的规定时，则判该批产品合格。当检验结果不符合表1的规定时，则应自同批产品中重新加倍随机抽样检验，若检验结果符合表1的规定时，则判除不合格的那瓶产品外，该批产品合格；若检验结果仍不符合表1的规定时，则判该批产品不合格。表2瓶装六氟化硫抽样表12>2057.3集装格装及槽车装六氟化硫的抽样、判定对于集装格装及槽车装六氟化硫产品，应逐一检验并验收。当检验结果均符合表1的规定时，则判该产品合格。当检验结果不符合表1的规定时，则判该产品不合格。8标志、包装、运输及贮存8.1标志8.1.1六氟化硫出厂时应有产品质量合格证，其内容至少应包括：——产品名称，生产厂名称，危险化学品生产许可证编号；——生产日期或批号，以及保质期；——充装质量（kg——本文件号及六氟化硫的纯度。8.1.2包装容器上应涂刷“电子气体六氟化硫”字样。8.1.3六氟化硫的包装标志应符合GB190的相关规定，颜色标志应符合GB/T7144的规定，标签应符合GB15258、GB/T16804规定的要求。8.2包装、运输及贮存8GB/T18867—XXXX8.2.1包装六氟化硫的气瓶应符合GB/T5099（所有部分）或GB/T33145的规定。8.2.2六氟化硫的充装及贮运应符合GB/T14193、TSG07、TSG23的规定，充装及贮运的安全管理要求见《危险化学品安全管理条例》、《特种设备安全监察条例》。8.2.3六氟化硫的最大充装量按式（4）计算：m=Fr根V…………（4）式中：m——气瓶内六氟化硫的质量，单位为千克（kgFr——六氟化硫的充装系数,Fr=1.33kg/L(气瓶公称工作压力为12.5MPa)；V——气瓶标明的公称水容积，单位为升（L）。8.2.4宜使用进行内表面处理的气瓶,处理后的气瓶应满足本文件的要求。瓶阀出气口连接方式宜使用CGA590、DISS716。8.2.5应防止泄漏和瓶口被污染。8.2.6六氟化硫产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内，不应暴晒，远离热源。8.3安全信息六氟化硫的安全信息见附录A。9GB/T18867—XXXX（资料性）安全信息A.1基本信息A.1.1化学式：SF6；中文名：六氟化硫；英文名：Sulfurhexafluoride。A.1.2相对分子质量：146.055（按2018年国际相对原子质量计算）。A.1.3代码：CAS号：2551-62-4、UN号:10802.2。A.1.4物理性质：沸点-63.8℃,熔点-50.8℃,临界温度45.6℃,临界压力3.76MPa；相对蒸气密度（空气=1）：6.602，相对密度（水=1）：1.67（-100℃)。A.2危险性说明A.2.1六氟化硫在常温常压下为无色、无臭、无毒的不燃气体，遇热有爆炸危险。A.2.2六氟化硫气体可能会引起昏昏欲睡或眩晕。空气中高浓度六氟化硫可引起缺氧，有神志不清和死亡危险。A.2.3六氟化硫的化学性质不活泼，热稳定性好，在204℃下，对大多数材料仍能完全保持稳定，加热到500℃以上时，该物质分解生成硫氧化物和氟化物等有毒腐蚀性烟雾。A.2.4在放电条件下，六氟化硫会分解出一系列含硫的氟化物，其分解产物具有腐蚀性，当含有这些杂质时便变成有毒物质。A.3操作注意事项A.3.1生产过程密闭操作，生产装置全面通风。操作人员经过专门培训，严格遵守操作规程。A.3.2操作人员穿戴适当的个人防护装备。现场配备正压空气呼吸器。A.4紧急情况应对措施A.4.1发生火灾时，切断气源。消防人员佩带防毒面具，穿全身消防服，在上风向灭火。切断气源，用水冷却容器然后根据着火原因选择适当灭火剂灭火。A.4.2如果误吸入六氟化硫，迅速脱离现场至空气新鲜处，保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给氧。如呼吸停止、心跳停止，立即进行心肺复苏术，并就医。A.5泄漏处理处