开关电弧表面特种涂层制备系统-表面涂层材料沉积系统

开关电弧表面特种涂层制备系统-表面涂层材料沉积系统采购需求一、该项目最高限价为人民币（60）万元。二、采购需求应当完整、明确，并包括以下内容：（一）项目概述（采购标的需实现的功能或者目标，以及为落实政府采购政策需满足的要求）：本采购项目为表面涂层材料沉积系统1套，该系统拟采用磁控溅射方法，主要包括由溅射真空室、磁控溅射靶、单基片加热台、直流电源、射频电源、抽气系统、真空测量、电控系统级安装机台等部分组成。（二）采购标的的数量、采购项目交付或者实施的时间和地点：1.采购数量：1套2.交付时间：2020-10-303.交付地点：西安交通大学指定地点；（三）技术需求（采购标的需满足的质量、安全、技术规格、物理特性等要求）：1.功能性需求：镀制：Pt、W、W、Au、Ag、Ti、Al、Cu、Ni等金属膜；氧化物膜、氮化物膜；外延膜、原子层膜；2.技术性需求：序号产品名称指标要求：实现镀制半导体膜，纳米薄膜，金刚石膜，外延膜，超导膜等；1真空系统包括溅射真空室、磁控溅射靶、真空测量系统1）溅射真空室真空室为矩形手动前开门结构，尺寸500mm（长）×500mm（深）×500mm（高），全不锈钢结构，进行除应力处理和变形处理。可内烘烤到，选用优质冷轧304不锈钢，氩弧焊接，表面进行电化学抛光钝化处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；靶安装在上面，基片转台在下板。2）磁控溅射靶靶材尺寸：φ75mm；磁控靶可手动调节共溅射角度（0-25°）；靶头下可以调节高度，靶基距调节范围：40～80mm，调节镀膜密度；靶配有屏蔽罩，以避免靶材之间的交叉污染；内部具备水冷道，冷却靶材，具备保护磁钢腐蚀功能；具备每个靶射频溅射与直流溅射兼容、共用；靶都配备气动控制挡板组件：兼顾多层膜功能；磁控靶可手动调节共溅射角度，具备膜系设计调节；基片尺寸：φ100mm；正反转动；转速1～15转/分；样品加热100～600°可调；样品盘可以辅助离子驱动；3）真空测量系统复合真空计:量程：1.0×105～1.0×10-5Pa；可分为2部分：ZJ-52T一只，量程1.0×105～1.0×10-1Pa；ZJ-27一只，量程4～1.0×10-5Pa；显示：2路；控制方案：点控或区域控制；控制点负载：AC220V/3A；电离外控：通过PLC开关电离规，使电离规不受大气冲击。2电源系统包括直流电源、溅射电源1）直流电源数量：2台；功率:每台500W；电压输入:AC180-240V，50Hz；输入电流:5A；输出电压:0~800V；输出电流:0.8A；数字通讯:RS485，标准Modbus协议；尺寸:440mm（宽）×300mm（长）×86mm（高）标准2U；面板（含外延及螺钉等）尺寸：480mm（宽）×89mm（高）；针对磁控溅射和偏压电源专门设计；功率、电压、电流三种控制方式任选；抗打火和灭弧设计；2）射频电源功率:500W；功率稳定度:≦±1%；频率:13.56MHz；输出波形:正弦波；AC电压:AC180-250V；输入电流:5A；冷却:风冷；数字通讯:RS232,RS485；Modebus协议；模拟口控制:0-10V/DB15；尺寸:440mm（宽）×400mm(深）×89mm（高)标准2U；面板（含外延及螺钉等）尺寸:480mm（宽）×89mm（高）；重量:10kg。3电控系统级安装机台可以移动，承重2吨以上框架结构；控制编程部分：计算机屏幕操作；设定真空度，阀门会根据真空信号调节角度，达到真空的抽速；溅射电源采集样品台信号，设定磁控靶工作功率，功率随时调整；气体流量设定，真空度设定；样品温度设定；样品转速设定；4监测系统包含进气系统、抽气系统、水流检测及报警1）进气系统配置：控制器、充气阀CF16、进气截止阀、混气室、管路、接头等，共4路质量流量进气；产品精度：±1.5％；重复精度：±0.2％；响应时间：≤10sec；输入信号：(0-5)VDC；电源头形式：DB15PIN；工作压差：（0.1-0.5）MPa；阀类型：常闭；重量：1.1kg；一路直接进气：Dg16手动放气阀、管路、接头等，共1路。2）抽气系统分子泵+机械泵抽气系统：（1）分子泵：（北京世纪久泰）；型号：JTFB-1200；抽速：1200L/S；进气法兰：CF200；排气法兰:KF40；极限压强:6X10-8Pa；启动时间：5min；额定转速：24000rpm；震动值：≤0.1μm；（2）机械泵：型号：TRP-48；抽速：14L/S；压力：4X10-1Pa；进气口径：40KF；电机功率：0.75KW；电机转速：1450rpm；噪音：52dB；重量：39kg；3）水流检测及报警水流报警器1套；水冷机，1套；分子泵水套：1个；靶水套：3个；5单基片加热台基片尺寸：φ100mm；连续转动；转速1～15转/分；样品加热100～600℃可调；（四）服务要求（采购标的需满足的服务标准、期限、效率等要求）：1.质保期：3年。2.服务期限：产品终身维修，质保期满后，仍需提供专业维修服务，投标人在投标文件中需注明维修服务单项报价。3.服务响应时间：接到维修电话后4小时内给予明确答复，8小时内到达现场维修。维修人员到现场后若问题特殊无法现场修复的，供货方需在24小时内给出合理解决方案。4.其他服务要求：（五）采购标的的验收标准；（可续行）采购项目最终实施条件下：现场的检验指标及方法序号功能或指标验收或测试方法1真空指标真空计+规2样品加热温度计3启辉镀膜样品镀膜4流量计进气流量计电源5金刚石膜φ20×5μm(厚)验收时