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文档简介
分析处理半导体的基本导电理论,特别是PN结理论,同时对半导体表面,金属-半导体接触等相关问题。第一章导论半导体晶体第二章平衡状态下半导体体材的特性E变化的分布函数;费米能级EF;PN结特性PN的能带图;PN第五章PN结的伏-安特性正偏条件下的PN结特性;反偏条件下的PN第六章半导体表面和MIS结构pn构MIS结构的C-V教材: 鸣《半导体物理学(6版)1、试卷总分:1002、考试时间:12034110351201251301,请给出图示晶面的密勒指数(Miller度分别为:p012.25×1016/cm3;p021.5×1010/cm3;p034/cm3(])这三块材料的电子浓度。Eg=1.12eV,ni=1.5×10==(])n01n02n03
2ninn2nin2ni
2.251.52.25
1104/1.51010/11016/p01=2.25×1016/cm3>>n01=1×1010/cm3pp02=1.5×1010/cm3=n02=1.5×1010/cm3=nip03=2.25×104/cm3<<n03=1×1016/cm3nT=300K,kT=0.026eVp
expEiEF
E
kTn
, p
2.25Ei
kTn0
1.5p0.369eV处。Ei
kTnp0
1.51.5
0Ei
kTn
2.251.5
0.0260.40562302n0.348eV3,EkEk
Ak2Bk2Ck F=ma解:因为电子的运动速度可表v1hadv
d1dE1
dE dt
dk
h
dtdEFdlFvF1dEh h
dk
1dE
1d
1dE
d2E
1d2Ea
dt
dk
hdkF
dk
h2Fdk
h2dk
F 1d2Eh2dkh2dk m*m*n
1d2Eh2dkh2dk
Ak2Bk2Ck
m*nx1d2E2h2dk2m*ny
x2 21d2E h2dk2 y m*nz1d2Eh2dk2 z Fx2Aax;Fy2Bay;Fz2C4, 2 88Ek88
ma2
ka ka00ak能带的宽度n=0,±1,±2,±3···即n=0,±1,±2,±3n=0,±1,现在根据能量的二阶导数n0k值代入能量二阶导数的n1kk5,NaNd的p样品,如果两 1b 2b
1b ni是本征载流子密度。样品进入本征导电区,上式简化为什么形式ipNaNdnpnn2i
2 2p NaNd1
NaNd 1 n NaNd1 2 NaNd 2
即
1b
1b样品进入本征导电区,Na–Ndni
iNai
1
1b1
aNd6,μn=39002/伏•秒mn3×10-28qn=1.6×10-19v平均值(取均方根速度电子的平均自由时间τ电子的平均自由路程l10伏/厘米时的漂移速度并简要讨论(3)和(4)利用迁移率的表示式μn=qτ/mn,故平均自由时间为结果表明,电子的平均自由路程相当于数百倍晶格间距(10–8厘米)。说明半导体中电子散射的机构不能用经典理论来说明。散怪了。据上述结果可见vDv,即漂移速度远小于热运动速度,7,Jp(x)若P(0)/P0=103,求x=0 x=W之间的电位差(n102.302解:据图示空穴浓度的分布曲线,可以写出空穴浓度p(x)p0p0xp0kxp0
0xpxk
p0p0W
x
0xjpx
dpp
xE(x)
dppqD pEx dx pp 即 Dpdp
0xEx
0
x已知pxkxp0Dp
Ex
kx0
0xxx=0x=WWU0W0.026k0kx00.026nkx00.026np00.026
n1033
8,假定τ0=τp=τn为不随样品掺杂密度改变的常数,试求ii先求出使τdτdn00把n0·p0=n 代入上式则n0ni时,τ取极值。 时寿τ取极大值。当τ0=τp=τn时,根据小注入寿命公式,可以讨论寿 Et容易看出,Ei≠Et时,无论EtEV的上方,还是在ECEiEt时,τ取极小值,即复合中心能级9,+0x0N型区,xX02,ρ(x)0正空间电荷区,–X02≤x≤0,ρ(x)=qND;负空间电荷区,0x+X02,ρ(x)qNA:电中性Px>,+X0/2,ρ(x)=0在电中性NdE故EψdE ExdE 由
2
qNDXEx
xεdε
Ex故
xX0 N N
20ψxqNDx2X0dE
XdE A2Ex 考考ExqNAxεDNA,可得负空间电荷区中恰与正空间电荷区反向对称的的电0ψxqNAx2X010,n画出开始出现强反型层时的能带图和出现强反型层的条((b)UGnMOSUG=0时,半导体表面属于平带情况,如图(a)所示。图(b)和(c)分别是积累层和耗尽层的能带图。nsps分别表示表面的电子密度和空穴密度,EiSnS或
EiSEiqUSEF
qUFUSUFUS2U11,nNCexp
ECEf EfEVpNVexp
nxn0
pxp0exp
n0p0是体内的电子和空穴密度,U(x)是表面空间电荷区中的要附加静电势能-eU(x)。譬如ECxECSeUxEVxEVSeUECSEVS分别为表面相应于体内导带底和价带顶的电子能量。nx
ECxEf ECSeUxEfN ECSEf
NCexp k expkT n k0Tpx
EfEV EfEVSeUN EfEVS
eUNVexp k
kT eUp k0T12,对于n型半导体,利用耗尽层近似,求出耗尽层层宽度和空间电荷面密度量QSC随表面势US ρqND
0 0dU
x空间电荷区,边界xdxAqND 0dUqNDxx 0xdUdU
xx
Ux
22
xxd
0US
x x01 xd 0SiUS QSCqND
0 Dn
nexpEFEi
nexpqUF
kT
Eiq
q
nNdUS
q
nnid假设用耗尽层近似得出的公式在强反型开始时也近似适1 Fd 0sUFd xd
22ε0 2F
1n 0s
ni Nd1 n 0 nidq2d
Nd12 n 0 niq Nd
NdES
xUx
22
xxd0得ES
2xxdm
x 0
1
x 0
01 d 0
ni
ni q2N 0 d 0 d响,ND=1017/cm3的n型硅与Al、
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