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建设项目环境影响报告表(污染影响类)中华人民共和国生态环境部制建设项目名称台州湾新区创王公司uNEED总部基地项目(一期)项目代码2104-331052-04-02-311649建设单位联系人陆联系方式建设地点浙江省台州市台州湾新区蓬北大道1888号地理坐标121度32分5.830秒,28度34分34.750秒国民经济行业类别C3974显示器件制造建设项目行业类别36_080电子器件制造建设性质新建(迁建)改建扩建技术改造建设项目申报情形首次申报项目不予批准后再次申报项目超五年重新审核项目重大变动重新报批项目项目审批(核准/台州湾新区行政审批与投资服务局项目审批(核准/备案)文号(选填)/总投资(万元)20000环保投资(万元)420环保投资占比(%)2.1施工工期6个月是否开工建设否是:重大变动重新报批用地(用海)面积(m2)10308(租赁面积)专项评价设置情况专项评价名称:大气专项评价;设置理由:本项目排放废气含有氯气且厂界外500m范围内有环境空气保护目标。规划情况《台州湾循环经济产业集聚区东部新区总体规划(2017~2035年)》规划环境影响评价情况《台州湾循环经济产业集聚区东部新区总体规划(2017~2035年)环境影响报告书》,浙江省生态环境厅,《浙江省生态环境厅关于台州湾循环经济产业集聚区东部新区总体规划(2017~2035年)环保意见的函)》规划及规划环境影响评价符合性分析(1)规划范围规划区范围为台州湾循环经济产业集聚区东部新区,规划面积约为61.47平方公里。(2)规划期限规划期限为2017~2035年。其中近期至2020年。(3)规划定位规划及规划环境影响评价符合性分析东部制造高地、湾区生态新城。(4)产业布局规划规划构建新区“三区三基地”的产业空间格局,即月湖现代服务区、三山涂综合服务区、滨海生态休闲区、战略性新兴产业基地、交通装备产业基地、节能环保产业基地。1月湖现代服务区集聚现代服务功能,作为台州最具现代化和国际化的服务核心区,辐射周边地区。2三山涂综合服务区发挥该区域生态资源及滨海特色,完善旅游服务设施,发展康体休闲、滨海度假旅游等产业项目,并集聚相应的商业服务业功能,加快构筑东部新区副中心的良好形象。3滨海生态休闲区依托两大绿廊的良好生态资源及东部滨海特色,积极打造主题鲜明的旅游产品,在确保绿廊生态功能的基础上配置一定规模的旅游服务设施,发展生态休闲、滨海度假旅游等。4战略性新兴产业基地(北区)主要发展海洋生物、海洋精细设备、生物医药、健康器械等研发生产,同时配套一定的现代物流服务。5战略性新兴产业基地(中区)依托现有汉克机械、巨科铝业、南洋科技等项目,加快相关战略性新兴产业的聚集,推动以高端装备、新材料产业为主的战略性新兴产业发展。6战略性新兴产业基地(南区)为东部新区未来产业发展预留充足空间,优先保障重大产业类项目的建设用地需求。7交通装备产业基地以北车整车制造等交通装备项目为着力点,聚集相关交通装备的制造和研发,提升台州交通运输设备产业的整体层级。8节能环保产业基地以东方大道南侧现有产业园为基础,聚集环保设备制造、环保材料研发等规划及规划环境影响评价符合性分析相关节能环保产业,延伸现有产业链条,推动台州节能环保产业的进一步发展。(5)规划总体结构本规划区总体结构可归纳为“两心三区三带”。以环月湖和三山涂区域分别作为集中展示东部新区生态、现代、活力的水城形象的主中心和副中心。2三区:核心区——重点发展交通装备、新型材料产业,并聚集生产、生活服务功能,作为东部新区的服务中枢区域,提供现代化的高品质服务,辐射整个区域。北片区:重点发展生命科学及高端装备制造业为主的战略性新兴产业。南片区:重点聚集相关节能环保产业,并在南侧预留产业发展空间。3三带:滨海公共带——集生态、景观、文化于一体的高品质滨海公共活动带。心海绿廊生态带——集生态农业观光、湿地观光、休闲运动等功能于一体的生态休闲带。青龙浦生态带——集农业观光、休闲运动为主要功能的生态休闲带。(6)环境保护规划1规划目标A.大气:工业废气由各单位自行处理达标排放,处理率近期达到85%,远期达到100%。烟尘控制区覆盖近期达到85%,远期达到100%。B.地表水:规划期内地表水质达到环境功能区的目标要求,沿河景观域率100%。生活污水进入城市处理厂集中,规划远期率达到100%以上。工业废水经企业处理达到国家综合污水排放标准二级后进入城市污水处理厂集中处C.声环境:规划城市噪声达标区覆盖率达到100%。D.固废:规划近期工业固体废弃物的综合利用率达到80%,危险固废处理率达到100%。远期工业固体废弃物的综合利用率达到90%,危险固废处理率达到100%。生活垃圾应进入垃圾焚烧厂,生活垃圾清运率达100%,近期无害化处理率为80%,远期无害化处理率为100%。2环境保护措施规划及规划环境影响评价符合性分析A.废气:对工业污染实施总量控制;控制机动车辆尾气排放标准和燃油类型,安装除尘设备;建立城市烟尘控制区。B.噪声:控制严格控制居住、文教、行政办公区域的噪声污染,严禁商场播放高音喇叭;加强城区绿化,起到降低噪声的作用;完善道路系统,减少过境道路对城区的影响,减少或消灭过境车辆的噪声对居住用地等区域的干扰以及烟尘飞扬,严格确定机动车禁鸣范围。进入城区内部车辆禁止鸣高音喇叭,远期拖拉机、农用车、摩托车、重载货车等要达到限线、限速、限时行驶,干路两侧应建设绿化隔声林带。噪声源和生活居住区之间应设置20m宽的林带,形成较宽的隔声区。C.废水:切实推广实施雨污分流制,完善排水系统,加快城市污水管道的建设。增强居民法制观念和环保意识,全社会动员,保护清洁的水环境。D.固废:宣传和普及分类投放生活垃圾;加强生活垃圾无害化处理场建设,扩建垃圾焚烧厂。提高工业固体废弃物综合利用率,按危害等级分别进入现状工业垃圾处置中心、规划一般工业废物处置厂或危险工业废物处置厂进行无害化处置。符合性分析:本项目位于浙江省台州市台州湾新区蓬北大道1888号,属于台州湾循环经济产业集聚区东部新区中的战略性新兴产业基地(中区)。本项目生产AR/VR用3D立体头载显示屏,采用超高像素密度AMOLED近眼显示(uNEED)技术,属于《战略性新兴产业重点产品和服务指导目录》(2016版)中的“新型显示器件-新型有源有机电致发光二极管(AMOLED)面板产品”,主要生产工艺为蒸镀、涂胶、显影、干式刻蚀、湿法蚀刻、封装等,为显示器件制造,符合该区块的产业规划定位。项目生产用水由市政供水管网提供,用电由园区电网供应。排水采取雨污分流制,污水纳管进入台州市水处理发展有限公司集中处理达标后排放;产生的工艺废气、废水收集后通过有效的末端治理措施实现达标排放;噪声通过源头控制、传播途径控制可达标排放;固废均能得到合理的处理和处置,符合环境保护规划。综上,本项目的建设符合《台州湾循环经济产业集聚区东部新区总体规划》要求。2.《台州湾循环经济产业集聚区东部新区总体规划(2017~2035年)环境影响报告书》符合性分析规划及规划环境影响评价符合性分析本项目位于浙江省台州市台州湾新区蓬北大道1888号,对照《台州湾循环经济产业集聚区东部新区总体规划(2017~2035年)环境影响报告书》及其审查意见,主要结论见表1-1~表1-2。符合性分析:本项目位于浙江省台州市台州湾新区蓬北大道1888号,租用台州东达资源利用有限公司的厂房,用地性质为仓储用地。根据台州湾新区管委会常务会议纪要[2020]4号(2020年11月2日),会议同意企业租用台州东达资源利用有限公司的厂房用于本项目的建设。本项目生产AR/VR用3D立体头载显示屏,采用超高像素密度AMOLED近眼显示(uNEED)技术,为显示器件制造,主要生产工艺为蒸镀、涂胶、显影、干式刻蚀、湿法蚀刻、封装等,本项目蚀刻工艺属于环境准入条件清单中规定的限制类工艺,但本项目产品属于《战略性新兴产业重点产品和服务指导目录》(2016版)中的“新型显示器件-新型有源有机电致发光二极管(AMOLED)面板产品”,符合限制类项目准入要求中的“已上市企业、拟上市企业,重大项目、国家新型战略性产业项目按一厂一策另行考虑”,符合准入清单要求。本项目排水采取雨污分流制,污水经预处理达到《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)后纳管进入台州市水处理发展有限公司集中处理达标后排放;产生的工艺废气、废水收集后通过有效的末端治理措施实现达标排放;噪声通过源头控制、传播途径控制可达标排放;固废均能得到合理的处理和处置。综上,本项目的建设符合《台州湾循环经济产业集聚区东部新区总体规划(2017~2035年)环境影响报告书》及其审查意见要求。表1-1其他区域(除节能环保产业基地)生态空间清单区1场站用地和防护/),区3/4/表1-2其他区域(除节能环保产业基地)环境准入条件清单(含“无人机航空小镇”)//(1)一般限制类新建项目总投资需达到3亿元以上,其中,铸造、橡胶炼化(2)限制类技改、扩建项目,企业近两年亩均税收和亩均增加值需达到《浙江省制造业行业新增项目投资强度期规划实施过程中如亩均税收和亩均增加值的相关文件进行了更新(3)涉及重金属污染及VOCs大量排(4)已上市企业、拟上市企业,重大项目、国家新型其他符合性分析1.“三线一单”符合性分析(1)生态保护红线本项目位于浙江省台州市台州湾新区蓬北大道1888号,租用台州东达资源利用有限公司的厂房,用地性质为仓储用地。根据台州湾新区管委会常务会议纪要[2020]4号(2020年11月2日),会议同意企业租用台州东达资源利用有限公司的厂房用于本项目的建设。项目不在当地饮用水源、风景区、自然保护区等生态保护区内,根据《台州市区生态保护红线划定技术报告》,不在划定的生态保护红线内,满足生态保护红线要求。对照台州湾新区“三区三线”图(具体见附图6),本项目位于城镇开发边界内,不涉及永久基本农田和生态保护红线,符合“三区三线”要求。(2)环境质量底线本项目所在区域的环境质量底线目标为:环境空气质量目标为《环境空气质量标准》(GB3095-2012)二级标准及其修改单(生态环境部公告公告2018年第29号);水环境质量目标为《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)Ⅳ类标准。项目所在地区域环境空气环境质量良好,基本污染物能达到《环境空气质量标准》(GB3095-2012)二级标准及其修改单(生态环境部公告公告2018年第29号),其他相关特征因子均能达到相应标准限值要求;附近地表水体总体评价水质满足Ⅳ类水功能区要求。本项目废水经厂内废水处理设施预处理后,纳入台州市水处理发展有限公司处理达标后排放,不直接排放附近水体,故不会加剧周边水体水质污染。采取本环评提出的相关防治措施后,企业排放的污染物不会对周边环境造成明显影响,不会突破区域环境质量底线。(3)资源利用上线本项目能源采用电,用水来自市政供水管网。项目建成运行后通过内部管理、设备选择、原辅材料的选用和管理、废物回收利用、污染治理等多方面采取合理可行的防治措施,以“节能、降耗、减污”为目标,有效地控制污染,符合能源资源利用上线和水资源利用上线要求。本项目租用台州东达资源利用有限公司的厂房,用地性质为仓储用地。根据台州湾新区管委会常务会议纪要[2020]4号(2020年11月2日),会议同意企业租用台州东达资源利用有限公司的厂房用于本项目的建设。本项目不涉及基本农田、林地等,满足土地资源利用上线要求。综上所述,本项目的建设不会突破区域的资源利用上线。其他符合性分析(4)生态环境准入清单本项目位于浙江省台州市台州湾循环经济产业集聚区东部新区,根据《台州市“三线一单”生态环境分区管控方案》,属于“ZH33100221003台州湾循环经济产业集聚重点管控单元”,本项目的建设符合该管控单元的环境准入清单要求,具体符合性分析见表1-3。表1-3生态环境准入清单符合性分析一览表“三线一单”生态环境准入清单要求本项目位于浙江省台州市台目生产AR/VR用3D立体头载显显影、干式刻蚀、湿法蚀刻、封州市“三线一单”生态环境分区管控方案》附件中规定的二类工业的人才公寓和东侧305m处的东是严格实施污染物总量控制制度,根据区域环境质量改善目标,削减污染物排放总量。新建二类、三类工业项目污染物排放水平要达到同行业国内先进水平。推进工业园区(工业企业)“污水零直排区”建设,所有企业实现雨污分流。实施工业企业废水深度处理,严格重污染行业重金属和高浓度难降解废水预处理和分质处理,加强对纳管企业总氮、盐分、重金属和其他有毒有害污染物的管控,强化企业污染治理设施运行维护管理。全面推进重点行业VOCs治理和工业废气清洁排放改造,强化工业企业无颗粒物、挥发性有机物全面执行国家排放标准大气污染物特别排放限值,深入推进工业燃煤锅炉烟气清洁排放改造。加强土壤和地下水污染防治与本项目实施后,企业厂区实现雨污分流,工艺废水经预处理达标后纳管进入台州市水处发展有限公司处理达标后排放,废气经收集处理后达标排放,各污染物排放均能满足相关废气排放标准,污染物排放水平可达到同行排放严格落实总量控制制度,新代,须在排污权交易平台竞拍获得。VOCs按照1:1削减替代。加强土壤和地下水影响防范,进是定期评估沿江河湖库工业企业、工业集聚区环境和健康风险,落实防企业须配备相关应急物资,加强环境风险防范设施设备的建是其他符合性分析控措施。相关企业按规定编制环境突发事件应急预案,重点加强事故废水应急池建设,以及应急物资的储备和应急演练。强化工业集聚区企业环境风险防范设施设备建设和正常运行监管,落实产业园区应急预案,加强风险防控体系建设,建立常态化的企业设和正常运行监管,加强隐患排本项目能源采用电,用水来自市政供水管网,本项目实施过程中加强节水管理,提高能源使是2.《台州湾新区建设项目环境准入指导意见》,台新办[2020]9号(1)规划范围规划区范围为台州湾循环经济产业集聚区东部新区,规划面积约为61.47平方公里。(2)规划期限本项目位于台州湾循环经济产业集聚区台州湾大道以南、荟集路以西,根据《台州湾新区建设项目环境准入指导意见》,本项目位于区块7,区块7区块划分如下。表1-4区块划分“三线一单”环境管控单元(3)区块7环境准入要求区块7沿用原有集聚区东部新区规划环评的环境准入条件。限制类项目如需建设,必须满足以下准入条件:1一般限制类新建项目(包括技改项目新增限制类工序)总投资需达到3亿元以上,其中,铸造、橡胶炼化等重污染工序总投资需达到5亿元以上。其他符合性分析油性漆喷漆工序需企业产品配套工序,禁止纯喷漆,不能对外加工。2限制类技改、扩建项目,企业近两年亩均税收和亩均增加值需达到《浙江省制造业行业新增项产出效益规范指南(2019版)》中相应限制的1.25倍以上。若后期亩均税收和亩均增加值的相关文件进行了更新,以最新文件要求为3涉及重金属污染及VOCs大量排放的企业按一般限制类项目要求予以准入。4已上市企业、拟上市企业及重大项目、国家新型战略性产业项目,限制类项目准入一厂一策另行考虑。5因倒闭、转让、拍卖、兼并重组等原因用于原审批功能进行项目生产的(包括限制类或禁止类),生产规模和污染物总量未超过原审批规模和总量的,一厂一策另行考虑。具体限制类项目准入要求如下表所示,具体环境准入条件详见下表。表1-5区块7环境准入条件清单类类聚区东部造造锌等涉及重金属//相符性分析:本项目位于浙江省台州市台州湾新区蓬北大道1888号,租用台州东达资源利用有限公司的厂房,用地性质为仓储用地。根据台州湾新区管委会常务会议纪要[2020]4号(2020年11月2日),会议同意企业租用台州东达资源利用有限公司的厂房用于本项目的建设。本项目生产AR/VR用3D立体头载显示屏,采用超高像素密度AMOLED近眼显示(uNEED)技术,为显示器件制造,主要生产工艺为蒸镀、涂胶、显影、干式刻蚀、湿法蚀刻、封装等,本项目蚀刻工艺属于环境准入条件清单中规定的限制类工艺,但本项目产品属于《战略性新兴产业重点产品和服务指导目录》(2016版)中的“新型显示器件-新型有源有机电致发光二极管(AMOLED)面板产品”,符合限制类项目准入要求中的“已上市企业、拟上市企业及重大项目、国家新型战略性产业项目,限制类项目准入一厂一策另行考虑”,符合环境准入条件清单要求。综上,本项目其他符合性分析符合《台州湾新区建设项目环境准入指导意见》要求。3.环评审批原则符合性分析根据《浙江省建设项目环境保护管理办法》(浙江省人民政府令第388号第三次修正),本项目的审批原则符合性分析如下:(1)建设项目符合生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线和生态环境准入清单的要求本项目位于浙江省台州市台州湾新区蓬北大道1888号,租用台州东达资源利用有限公司的厂房,根据《台州市“三线一单”生态环境分区管控方案》,属于“ZH33100221003台州湾循环经济产业集聚重点管控单元”,采取本环评提出的相关防治措施后,企业排放的污染物不会对周边环境造成明显影响,不会突破区域环境质量底线。本项目采用电能,采取节水措施,符合能源资源利用上线和水资源利用上线要求。本项目不涉及基本农田、林地等,满足土地资源利用上线要求。本项目的建设符合生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线和生态环境准入清单的要求。(2)排放污染物符合国家、省规定的污染物排放标准和重点污染物排放总量控制要求落实了本评价提出的各项污染防治对策后,企业产生的各项污染物均能做到达标排放,符合国家、省规定的污染物排放标准。企业全厂总量控制值为:CODCr0.210t/a、氨氮0.011t/a、NOx0.023t/a、VOCs0.421t/a,具体值由当地生态环境主管部门确定。企业原审批已取得CODCr、氨氮、NOx的排污权,重新报批后新增CODCr、氨氮排放量分别为0.002t/a、0.001t/a。2022年,台州湾新区水环境质量达标,因此调整项目新增CODCr、氨氮的削减替代比例为1:1,本项目CODCr削减替代量为0.002t/a,氨氮削减替代量为0.001t/a。项目排污权须在省交易平台竞拍获得。企业原审批VOCs未进行削减替代,以本项目外排量进行削减替代,削减替代比例为1:1,削减替代量为0.421t/a。VOCs总量交易平台目前尚未建立,本环评仅先提出总量控制值及削减替代量,待当地相关平台建立后再另行调剂或交易。4.环评审批要求符合性分析(1)建设项目符合国土空间规划的要求根据《浙江省主体功能区规划》(浙政发[2013]43号),本项目位于省级重点开发区域,符合主体功能区规划要求。本项目位于浙江省台州市台州湾新其他符合性分析区蓬北大道1888号,租用台州东达资源利用有限公司的厂房,用地性质为仓储用地。根据台州湾新区管委会常务会议纪要[2020]4号(2020年11月2日),会议同意企业租用台州东达资源利用有限公司的厂房用于本项目的建设,本项目的建设符合《台州湾循环经济产业集聚区东部新区总体规划(2017~2035年)》。对照台州湾新区“三区三线”图(具体见附图6本项目位于城镇开发边界内,不涉及永久基本农田和生态保护红线,符合“三区三线”要求。(2)建设项目符合国家和省产业政策的要求对照《产业结构调整指导目录(2019年)》(2021修改),本项目为显示器件制造,属于鼓励类“二十八信息产业”中的“薄膜场效应晶体管LCD(TFT-LCD)、有机发光二极管(OLED)、电子纸显示、激光显示、3D显示等新型平板显示器件、液晶面板产业用玻璃基板、电子及信息产业用盖板玻璃等关键部件及关键材料”,符合《产业结构调整指导目录(2019年)》(2021修改)相关要求。同时,对照《<长江经济带发展负面清单指南(试行,2022年版)>浙江省实施细则》,本项目不属于实施细则中禁止建设的项目。根据项目立项文件(2104-331052-04-02-311649),项目已由台州湾新区行政审批与投资服务局备案。因此,本项目的建设符合国家和省产业政策的要求。建设内容1、项目背景台州观宇科技有限公司成立于2020年6月15日,企业于2021年6月委托浙江泰诚环境科技有限公司编制了《台州湾新区创王公司uNEED总部基地项目(一期)环境影响报告表》,并于同年7月通过了台州市生态环境局的审批(台环建(新)[2021]17号),审批内容为:该项目在台州市台州湾新区蓬北大道1888号建设。新增建设清洗、镀膜、黄光、干式刻蚀、光刻胶剥离、蒸镀、烘烤生产线及相关辅助设施、环保设施等,项目建成后将形成年产0.1-1.3英寸AR/VR用3D立体头载显示屏50万片的能力。企业于2021年9月2日申领了排污许可证(证书编号:91331001MA2HGXQM9H001U)。该项目目前已进行调试运行,尚未开展环境保护设施竣工验收,调试运行过程中企业拟调整工艺,增加湿法蚀刻工序,对照《关于印发<污染影响类建设项目重大变动清单(试行)>的通知》(环办环评函[2020]688号),增加湿法蚀刻工艺会新增排放污染物种类,该变动属于重大变动。根据《中华人民共和国环境影响评价法》等相关要求,建设项目的环境影响评价文件经批准后,建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动的,建设单位应当重新报批建设项目的环境影响评价文件。因此,本项目需重新报批环评。2、项目报告类别判定本项目主要生产AR/VR用3D立体头载显示屏,采用超高像素密度AMOLED近眼显示(uNEED)技术,属于《国民经济行业分类》(GB/T4754—2017,2019年修订)及其注释中的C3974显示器件制造——指基于电子手段呈现信息供视觉感受的器件及模组的制造,包括薄膜晶体管液晶显示器件(TN/STN-LCD、TFT-LCD)、场发射显示器件(FED)、真空荧光显示器件(VFD)、有机发光二极管显示器件(OLED)、等离子显示器件(PDP)、发光二极管显示器件(LED)、曲面显示器件以及柔性显示器件等。对照《建设项目环境影响评价分类管理名录》(2021年版),本项目评价类别为报告表,具体见表2-1。表2-1名录对应类别//另外,根据原台州湾循环经济产业集聚区管理委员会关于印发《台州湾循环经济产业集聚区东部新区“区域环评+环境标准”改革实施方案(含“台州无人机航空小镇”(试行))》的通知(台集发[2017]115号),本项目湿法蚀刻涉及酸洗,在原台州湾产业集聚区东部新区“区域环评+环境标准”改革环评负面清单(含“台州无人机航空小镇”)内,故编制类别仍为报告表。建设内容表2-2台州湾循环经济产业集聚区东部新区“区域环评+环境标准”改革负面清单(含“台州无人机航空小镇”)/表2-3本项目基本情况表程程程程市政管网(其中纯水制备废水可经总排口直接纳管),食堂水一起经化粪池预处理后经总排口纳管排放,进入台州市水处理发展有限6000m3/h。干法刻蚀废气经设备配套的辅水洗工艺)处理后接入企业酸性气体废气处理设施,湿法蚀刻废气经工艺。气相沉积废气经设备配套的辅助废气处理装置(LocalScrubber燃烧工艺)处影机、剥离设备均为密闭设备,废气经管道排出。实验室有机废气3/h2食堂油烟经合格的油烟净化器处理后通过排气筒(DA005)引至程间建设内容4、主要产品及产能表2-4项目产品方案表1屏蒸镀、涂胶、显影、图2-1OLED结构示意图企业所建设的超高像素密度AMOLED生产线具有以下特点:(1)技术先进,使用半导体次微米技术,目前国际上尚无DirectRGB超高像素密度AMOLED的生产线;(2)采用半导体次微米技术的阵列基板制造技术,包括次微米、均匀性好、性能优良的超高像素密度的蒸镀技术;(3)采用创王专利的有机蒸镀制程技术,可突破金属精密屏蔽(FMM)500~700ppi的技术限制,制作超过2000ppi的超高像素密度AMOLED显示器;(4)将外围Gateline驱动集成在屏上;(5)本项目进行AMOLED(RGB)生产,产品性能较LTPS+CF+WOLED高,且不须CF制程(彩色过滤层);有利于提高产品价格及具有成本优势。5、主要生产设施表2-5项目主要生产设施一览表(全厂)建设内容建设内容6、主要原辅材料及能源表2-6本项目主要原辅材料及能源消耗情况表(全厂)建设内容表2-7部分原辅料化学成分理化性质说明序号类别1气体类硅烷,又叫四氢化硅,是一种无色、与空气反应并会引起窒2NH3氨气,一种无机物,无色、有强烈的刺激气味。易被液化液体。溶于水、乙醇和乙醚。在高温时会分解成氮气和氢气,能肤、眼睛、呼吸器官的粘膜,人吸入过多,能引起肺3NF3三氟化氮,在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,),4N2O一氧化二氮,无色有甜味气体,又称笑气,有轻微5氢气,常温常压下,是一种极易燃烧的气体。无色透明、6常温常压下是一种无色无味或无色无嗅而其水溶液略有酸味的气7液态的氮气。液氮是惰性,无色,无臭,无腐蚀性,不8氩是单原子分子,单质为无色、无臭和无味的气体。是稀有在空气中含量最多的一个,由于在自然界中含量很多,氩是最早建设内容9为无色无味的惰性气体,化学性质不活泼,一般状态四氟化碳是一种卤代烃,它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、六氟化硫,是一种无机化合物,化学式为SF6,常温常压下为无色布,键合距离小、键合能高,因此其稳定性很高,在温度不超过180℃作有机反应催化剂,如酯化、烷基化、聚合、异构化、磺化、也可用作铸镁及合金时的防氧化剂,还可用作制备卤化硼、元其他是一种以四氟乙烯作为单体聚合制得的高分子聚合物,化学式为(C2F4)n,耐热、耐寒性优良,可在-180~260ºC长期使用。这种材料具有抗酸抗碱、抗各种有机溶剂的特点,几乎剂。主要用于油墨、油漆、墨水、纺织染料、纺织油剂的溶剂,也可用于液晶显示器生产中的清洗剂。易燃,高于42°C时可能形成爆炸性蒸环保溶剂,全球变暖潜值低,无毒无害,可广无色至淡黄色清澈液体,为氯化氢的水溶液,具有刺激性气于浓盐酸具有挥发性,挥发出的氯化氢气体与空气中的水蒸气盐酸小液滴,所以会看到白雾。盐酸与水、乙醇任意混溶,氯于许多有机溶剂。浓盐酸稀释有热量放出。熔点-27.32℃(38%溶液),7、物料平衡和水平衡(1)物料平衡氯元素平衡见表2-8,氟元素平衡见表2-9。表2-8氯元素平衡建设内容//表2-9氟元素平衡进入废气NF3C6H5F9OC6H5F9ONF3乙烯)C6H5F9OC6H5F9O进入固废C6H5F9O进入废水NF3C6H5F9OC6H5F9O本项目涉氮元素物料包含NH3、NF3、N2O、N2以及显影液中的四甲基氢氧化铵等。其中氮气主要作为保护气使用,不参与物料反应转化。显影液中的四甲基氢氧化铵除少量挥发进入废气,其余均以废显影液形式存在,在VOCs平衡中体现。因此氮平衡主要考虑NH3、NF3、N2O等气体的转化,具体见下表。表2-10主要物料氮平衡NH3NF3量N2ONONO2建设内容N2ONOx污减NONO2N2OVOCs物料平衡见表2-11。表2-11VOCs平衡4(2)水平衡本项目水平衡见图2-2。建设内容新鲜水新鲜水图2-2全厂水平衡图单位:t/a8、劳动定员及工作制度本项目劳动定员157人,年工作时间330天,实行24h/d三班制。厂区内设食堂、倒班宿舍。9、厂区平面布置企业共设置1幢生产车间(局部)、1幢办公楼(共6F),其中物流入口位于厂区东侧。各功能布局情况具体见表2-12。表2-12项目厂区平面布置情况一览表10、车间送排风设计表2-13洁净车间设计参数建设内容表2-14排风系统设计一览表区400m3/h/400m3/h/统2(气//车间废气通过各产污设备设置的管道接出,汇入集总管。控制说明:(1)项目排风风机采用变频风机,根据集总管上的压力测点(2个,1用1备)调节风机变频;(2)支干管末端及最不利环路1/3处设置压力传感器,可现场显示及上传,监控管路压力变化状态;(3)联锁及安全保护控制:设备吸入口处设置电动阀门与排风机联锁,风机运行时,电动阀门开启,反之则关闭;(4)信号显示:风机运行状态,集总管及末端的压力传感器信号均需传至FMCS系统。11、设备先进性分析本项目设备工艺先进性、清洁性主要体现在以下几个方面:(1)本项目生产车间为洁净车间。干法刻蚀机、PECVD、涂胶机、显影机、剥离设备均为密闭设备,废气主要通过管道收集至废气处理系统。湿蚀刻机采用通风柜结构,仅留工人操作面开口,设置槽边吸风系统,废气经槽边排风抽出后经机台顶部设置的管道收集进入酸性废气处理系统处理。废气收集系统具有联锁及安全保护控制,设备吸入口处设置电动阀门与排风机联锁,风机运行时,电动阀门开启,反之则关闭;各类废气经收集处理后高空排放,可减少废气排放对周围环境的影响。(2)各类特气暂存于专门防爆气体柜内,设置有毒有害气体泄漏报警装置。气体通过管道输送至车间内的设备上。(3)加强生产过程中物料管理,提高物料利用率。(4)加强对员工的操作培训,严格按照生产要求操作。建设内容建设内容工艺流程和产排污环节1、工艺流程简述工艺流程和产排污环节图2-3企业生产工艺流程图工艺流程和产排污环节图2-4黄光工艺流程图工艺流程说明:2、产排污环节分析表2-15本项目产排污环节汇总表2/工艺流程和产排污环节与项目有关的原有环境污染问题台州观宇科技有限公司成立于2021年6月,位于台州湾新区蓬北大道1888号,是一家专业从事超高密度新型显示器件研发、生产的企业,采用超高像素密度AMOLED近眼显示(uNEED)技术。企业于2021年6月委托浙江泰诚环境科技有限公司编制了《台州湾新区创王公司uNEED总部基地项目(一期)环境影响报告表》,并于2021年7月通过台州市生态环境局的审批(台环建(新)[2021]17号),于2021年9月2日申领了排污许可证(证书编号:91331001MA2HGXQM9H001U)。该项目目前已进行调试运行,尚未开展环境保护设施竣工验收,调试运行过程中企业拟调整工艺,增加湿法蚀刻工序,对照《关于印发<污染影响类建设项目重大变动清单(试行)>的通知》(环办环评函[2020]688号),增加湿法蚀刻工艺会新增排放污染物种类,该变动属于重大变动(具体分析见下文)。根据《中华人民共和国环境影响评价法》等相关要求,建设项目的环境影响评价文件经批准后,建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动的,建设单位应当重新报批建设项目的环境影响评价文件。因此,本项目需重新报批环评。1、规模变动分析表2-16产品规模变动分析一览表2、生产设备变动分析表2-17主要生产设施变动分析一览表与项目有关的原有环境污染问题与项目有关的原有环境污染问题3、原辅料变动分析表2-18主要原辅材料及能源消耗变动一览表与项目有关的原有环境污染问题与项目有关的原有环境污染问题4、生产工艺变动分析生产工艺与原审批变动情况如下:与项目有关的原有环境污染问题与项目有关的原有环境污染问题与项目有关的原有环境污染问题图2-5企业生产工艺变动情况根据分析,主要变动为增加湿法蚀刻工序,同时增加了SF6、BCl3干法刻蚀气体使用,蒸镀工序取消了LiF使用。5、污染防治措施变动分析表2-19污染防治措施变动一览表设一套废水处理系统,主要工艺为污水处理设施处理达标后纳入市政管网(其中纯水制备废水可直接纳管),食堂废水经隔油后与其他生活污水一起经化粪池预处理后经总排口纳管排放,进入台州市水处理发展有限公司处理。设一套废水处理系统,主要工艺为污水处理设施处理达标后纳入市政管网(其中纯水制备废水可经总排口直接纳管),食堂废水经隔油后与其他生活污水一起经化粪池预处理后经总排口纳管排放,进入台州市水处理发展有限公司处理。处理系统,采用碱液喷淋工艺,单套设高排气筒(DA001)高空排放。气相沉积废气经设备配套的辅助废气处理装置(LocalScrubber燃烧工艺)处理后接入企业酸性气体废气处理设施处理后处理系统,采用碱液喷淋工艺,单套设Scrubber水洗+燃烧水洗工艺)处理后接入企业酸性气体废气处理设施处理放。湿蚀刻机采用通风柜结构,仅留工人操作面开口,设置槽边吸风系统,废气经槽边排风抽出后经机台顶部设置的),空排放。/新增一套酸性废气处理设施,专门用于气相沉积废气处理,设计风量为1300m3/h,采用除尘+四级喷淋处理工艺。气相沉积废气经设备配套的辅助废气处理装置(LocalScrubber燃烧工艺)处理后接入末端设置的气相沉积废气处理设施处理后通过25m高排气筒涂胶机、显影机、剥离设备均为密闭设备,废气经管道排出。企业设2套(1用1备)有机废气收集处理系统,企业涂胶机、显影机、剥离设备均采用初效过滤+UV光氧催化+活性炭吸与项目有关的原有环境污染问题气、光刻胶废气、显影废气、溶剂清洗废气进行收集处理后通过不低于15m排般废气15m排气筒(DA003)高空排放。本项经设备自带管道收集后通过25m排气筒(DA003)高空排放。本项目设2套(1用1备)一般废气排放设施,单生产车间内西北角设有一般固废仓库,面积约20m2。另设有一间面积约生产车间内西北角设有一般固废仓的危废仓库1,用于危废暂存。另外厂房北侧坡道下方设有危废仓库2,面积优先购置低噪声设备,合理布置生避免因设备不正常运转产生高噪声现象;废气处理设施风机、空压机进风口设消声器,冷却塔设导流消声器,风冷热泵设罩壳隔声;加强对高噪声设备的优先购置低噪声设备,合理布置生避免因设备不正常运转产生高噪声现象;废气处理设施风机、空压机进风口设消声器,冷却塔设导流消声器,风冷热泵设罩壳隔声;加强对高噪声设备的6、污染物排放量变动分析表2-20污染物排放量变动情况分析000NOxNH387、重大变动分析对照生态环境部《关于印发<污染影响类建设项目重大变动清单(试行)>的通知》(环办环评函[2020]688号),本项目调整是否属于重大变动清单分析见表2-21。与项目有关的原有环境污染问题表2-21项目重大变动情况分析变动123/4/56//789);区域环境质量现状1、大气环境项目拟建区域环境空气能满足二类功能区的要求,属于环境空气质量达标区。氟化物、TSP监测结果满足《环境空气质量标准》(GB3095-2012)二级标准,氯、氨、氯化氢监测结果能满足《环境影响评价技术导则大气环境》(HJ2.2-2018)附录D参考限值,非甲烷总烃监测结果满足原环保部科技标准司《大气污染物综合排放标准详解》中的建议值,项目拟建地环境空气质量良好。具体见大气环境影响评价专题。2、地表水环境本项目所在地附近水体为九条河,根据《浙江省水功能区水环境功能区划分方案》,九条河属于椒江(温黄平原)水系,编号74,水功能区为三条河、洪家场浦椒江、路桥农业、工业用水区,水环境功能区为农业、工业用水区,地表水环境质量执行《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)Ⅳ类标准。本项目所在区域地表水水质现状参考浙江省台州生态环境监测中心提供的2022年岩头闸断面(西北约12km处)的常规监测数据,具体数据见表3-1。表3-1岩头闸站位2022年常规监测数据单位:mg/L(pH除外)pHCODCrⅠⅡⅡⅢⅠⅢⅢⅠ由监测结果可知,岩头闸断面中pH、BOD5、石油类为Ⅰ类,DO、高锰酸盐指数为Ⅱ类,化学需氧量、氨氮、总磷为Ⅲ类。总体评价该水体水质为Ⅲ类,能满足Ⅳ类水环境功能区要求。图3-1地表水监测断面位置示意图区域环境质量现状3、声环境项目厂界50m范围内无声环境保护目标,无需监测声环境质量现状。4、生态环境项目位于浙江省台州市台州湾新区蓬北大道1888号(属于台州湾循环经济产业集聚区东部新区),无产业园区外新增用地。无需进行生态现状调查。本项目不属于电磁辐射类项目,无需开展电磁辐射现状监测。6、地下水、土壤环境本项目厂区及车间均已硬化或防渗处理,正常工况下不存在土壤、地下水环境污染途径。不开展环境质量现状调查。环境保护目标1、大气环境项目厂界外500m范围内不存在自然保护区、风景名胜区、文化区等保护目标,但厂界东面有人才公寓(约319m)和东盛汇贤府小区(约305m)。2、声环境项目厂界50m范围内无声环境保护目标。3、地下水环境项目厂界外500m范围内不存在地下水集中式饮用水水源和热水、矿泉水、温泉等特殊地下水资源。4、生态环境项目位于浙江省台州市台州湾新区蓬北大道1888号(属于台州湾循环经济产业集聚区东部新区),无产业园区外新增用地。本项目的主要环境保护目标情况见表3-2、附图7。表3-2环境保护目标一览表象容/kmXY1东2东3东4西567北89北北北北北污染物排放控制标准工艺废气排放执行《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)二级标准,丙酮排放浓度参照执行中华人民共和国国家职业卫生标准《工作场所有害因素职业接触限值化学有害因素》(GBZ2.1-2019)的时间加权平均容许浓度,上述特征因子的最高允许排放速率按照《制定地方大气污染物排放标准的技术方法》(GB/T3840-91)的有关规定计算。氨排放执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554-1993)。企业厂区内VOCs无组织排放浓度执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB37822-2019)中的表A.1的特别排放限值。食堂油烟排放参照执行《饮食业油烟排放标准(试行)》(GB18483-2001)中的相关标准。具体见专题一。2、废水企业工艺废水收集后由厂内污水处理设施处理达标后纳入市政管网(其中纯水制备废水可经总排口直接纳管),食堂废水经隔油后与其他生活污水一起经化粪池预处理后经总排口纳管排放,进入台州市水处理发展有限公司处理。本项目生产显示器件,废水排放执行《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020,2021.7.1实施)中规定的间接排放限值和单位产品基准排水量要求,其中氨氮指标执行《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》(DB33/887-2013)相关标准限值,总锡参照执行《锡、锑、汞工业污染物排放标准》(GB30770-2014)。具体见表3-3。目前台州市水处理发展有限公司出水执行《台州市城镇污水处理厂出水指标及标准限值表(试行)》(准地表水Ⅳ类),具体见表3-4。表3-3本项目废水排放标准单位:mg/L(pH值除外)置1pH值2345635788污染物排放控制标准923/m2位置一致斑马鱼卵急性毒性总铁参照《酸洗废水排放总铁浓度限值》(DB表3-4台州市水处理发展有限公司三期出水标准单位:mg/L(pH除外)pHNH3-N653、噪声企业厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准,具体标准限值见下表。表3-5工业企业厂界环境噪声排放标准单位:dB34、固废危险废物按照《国家危险废物名录》(2021版)分类,危险废物贮存应符合《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023),《危险废物收集贮存运输技术规范》(HJ2025-2012)要求,危废仓库和危险废物标识应符合《危险废物识别标志设置技术规范》(HJ1276—2022)、《环境保护图形标志—固体废物贮存(处置)场》(GB15562.2-1995)修改单要求;一般工业固废按照《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》(2020年4月29日修订)的工业固体废物管理条款要求执行,同时根据《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020采用库房、包装工具(罐、桶、包装袋等)贮存一般工业固体废物过程的污染控制,不适用该标准,但其贮存过程应满足相应防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求。总量控制指根据《国务院关于印发“十三五”生态环境保护规划的通知》(国发[2016]65号)、《关于印发<建设项目主要污染物排放总量指标审核及管理暂行办法>的通知》(环发[2014]197号)等文件要求,台州市实施污染物排放总量控制的指标为化学需氧量、氨氮、二氧化硫、氮氧化物、挥发性有机物、烟粉尘、总氮。根据《关于印发<建设项目主要污染物排放总量指标审核及管理暂行办法>的通知》(环发标总量控制指标[2014]197号用于建设项目的“可替代总量指标”不得低于建设项目所需替代的主要污染物排放总量指标。上一年度环境空气质量年平均浓度不达标的城市、水环境质量未达到要求的市县,相关污染物应按照建设项目所需替代的主要污染物排放总量指标的2倍进行削减替代;细颗粒物(PM2.5)年平均浓度不达标的城市,二氧化硫、氮氧化物、烟粉尘、挥发性有机物四项污染物均需进行2倍削减替代。地方有更严格倍量替代要求的,按照相关规定执行。根据项目特征,企业纳入总量控制的是CODCr、氨氮、NOx、VOCs。表3-6总量控制指标单位:t/aNOx/0注:企业原审批VOCs未进行削减替代,以本项目外排量进行削减替代。企业全厂总量控制值为:CODCr0.210t/a、氨氮0.011t/a、NOx0.023t/a、VOCs0.421t/a,具体值由当地生态环境主管部门确定。2022年,台州湾新区水环境质量达标,因此调整项目新增CODCr、氨氮的削减替代比例为1:1,本项目CODCr削减替代量为0.002t/a,氨氮削减替代量为0.001t/a。根据《浙江省“十四五”挥发性有机物综合治理方案》(浙环发[2021]10号),2021年度台州市属于环境空气质量达标区,项目新增VOCs排放量实行等量削减,即VOCs排放量实施1:1削减替代。表3-7总量平衡一览表根据《浙江省人民政府办公厅关于印发浙江省排污权有偿使用和交易管理办法的通知》(浙政办发[2023]18号)、《浙江省排污权储备和出让管理暂行办法》(浙环发[2013]45号)、《关于印发<浙江省储备排污权出让电子竞价程序规定(试行)>的通知》(浙环发[2015]21号)等相关规定,本项目新增COD、氨氮排污权须在排污权交易平台进行竞拍交易。VOCs总量交易平台目前尚未建立,本环评仅先提出总量控制值及削减替代量,待当地相关平台建立后再另行调剂或交易。施工期环境保护措施企业位于浙江省台州市台州湾新区蓬北大道1888号,租用台州东达资源利用有限公司的厂房进行生产。本次变动仅涉及少量设备安装等,施工量较小,不会对周围环境产生明显影响,要求企业加强施工期噪声管理。运营期环境影响和保护措施1.废气(1)污染源强本项目废气包括刻蚀废气G1、光刻胶剥离废气G2、气相沉积废气G3、涂胶固化废气G4、点胶固化废气G5、光刻胶废气G6、显影废气G7、溶剂清洗废气G8、酒精擦洗废气G9、一般废气(G10)、湿法蚀刻废气(G11)、IQC化性实验室废气(G12)、食堂油烟(G13)等。按类别本项目产生的工艺废气可分为三类:有机废气(G2、G4、G5、G6、G7、G8、G9、G12)、酸性气体(G1、G3、G11、G12)、一般废气(G10)。其中一般废气主要为蒸镀机、封装机、晶圆清洗机、手套箱、翻面机等设备使用的N2、O2、H2、Ar等废气排放。一般废气经设备自带管道收集后通过排气筒高空排放。IQC化性实验室废气(G12)主要包括酸性废气(氟化物)和有机废气(以非甲烷总烃计),产生量较小,相应的废气通过管道接入对应种类的废气处理设施处理,其中酸性废气经企业酸性废气处理系统(碱液喷淋)处理后通过25m高排气筒(DA001)高空排放,有机废气经企业有机废气处理系统(初效过滤+UV光氧催化+活性炭吸附)处理后通过25m高排气筒(DA002)高空排放,不作定量分析。主要污染物源强核算结果见表4-1。具体见大气专项评价。表4-1废气源强汇总表号/////////NOx//NH3//////////运营期环境影响和保护措施//4///////////N222////////////////////NOx///NH3///////////////////N222////////////(2)防治措施本项目废气防治措施汇总如下:表4-2项目废气防治设施相关参数一览表备2、运营期环境影响和保护措施式集/艺干式刻蚀废气经设备自带Scrubber(水洗+燃烧水洗)理/术是是是标东(续上表)箱气式/运营期环境影响和保护措施艺术是是标根据《排污许可证申请与核发技术规范电子工业》(HJ1031—2019),本项目废气处理工艺属于技术规范附录B.1中的可行技术。具体见大气评价专题。(3)环境影响分析本项目各工艺废气经收集处理后,有组织废气均能满足相应的排放标准。其中气相沉积工序涉及到氨气的使用,会有少量氨气排放,会产生轻微的恶臭。气相沉积废气经收集处理达标后高空排放,且最近敏感点约298m,不会对周围环境及人群产生明显影响。项目位于环境质量达标区,评价范围内无一类区,大气环境影响评价结果如下:(1)污染源正常排放下各污染物短期浓度贡献值的最大浓度占标率均小于100%;(2)项目环境影响符合环境功能区划。因此,通过对废气加强收集和处理的基础上,本项目废气的排放对环境影响可以接受。具体见大气评价专题。2.废水(1)源强分析本项目废水包括晶圆清洗废水W1、光刻胶剥离后续清洗废水W2、废气处理废水W3、纯水制备废水W4、循环冷却塔检修排水W5、湿法蚀刻后清洗废水W6、生活污水W7等。1晶圆清洗废水W1本项目设晶圆清洗机一台,采用超纯水对晶圆进行清洗。每片晶圆产生5L的清洗废水。项目晶圆用量9600片,则晶圆清洗废水约为48t/a。预计污染物产生浓度约为CODCr100mg/L、运营期环境影响和保护措施SS200mg/L,则污染物产生量约为CODCr0.005t/a、SS0.010t/a。2光刻胶剥离后续清洗废水W2光刻胶剥离工序后设1道清洗工序,采用超纯水,每片晶圆产生5L的清洗废水,预计废水产生量为48t/a。根据剥离液的MSDS,主要成分为乙基九氟丁基醚20-80%、乙基九氟异丁基醚20-80%,均为有机氟化物,而水质氟化物检测测定的是氟离子(F-),因此光刻胶剥离后续清洗废水不考虑氟化物因子。该清洗废水含有少量残留的剥离液(根据表2-9物料平衡,进入废水的C6H5F9O约0.020t/a),根据物料平衡预计污染物产生浓度约为CODCr1500mg/L、SS300mg/L,则污染物产生量约为CODCr0.072t/a、SS0.014t/a。3废气处理废水W3干法刻蚀机配备Scrubber水洗燃烧装置,采用纯水,Scrubber燃烧水洗装置补水6m3/d,为了保证水洗去除效率最大化,减少废水中悬浮物浓度,通过液位控制排水,约3min排水一次,每天排水约5m3/d。则Scrubber水洗燃烧装置废水产生量为1650t/a。本项目酸性气体处理系统碱液储液桶大小为φ0.8m×1.2m,共5个,碱液循环使用,定期排放,约5天更换一次,排水系数按0.8计,则废气喷淋废水产生量约为2.4t/次,预计排水量为159t/a。综上,本项目废气处理废水产生量共1809t/a。根据物料平衡,进入废气处理废水中的F为0.391t/a,则预计污染物产生浓度约为CODCr500mg/L、氟化物216mg/L、SS200mg/L,则污染物产生量约为CODCr0.905t/a、氟化物0.391t/a、SS0.362t/a。4纯水制备废水W4本项目工艺纯水用量约2093t/a,纯水机产水量约80%,则浓水排放量约为523t/a。另外纯水机需进行反冲洗,反冲洗排水约0.5t/d(165t/a)。纯水制备废水污染物浓度为CODCr80mg/L、SS100mg/L,则污染物产生量约为CODCr0.055t/a、SS0.069t/a。5循环冷却塔检修排水W5本项目空调、风机等设备循环冷却水流量约为250m3/h,设有2m3的存水塔盘。循环水定期补充,正常情况下不排放。但冷却塔检修时(频次约2次/年),须进行排水,年排放量约4t。预计污染物浓度为CODCr800mg/L、SS200mg/L,则污染物产生量约为CODCr0.003t/a、SS0.001t/a。6湿法蚀刻后清洗废水W6本项目设一台湿蚀刻机,ITO湿法蚀刻后需用纯水对晶圆进行清洗,根据企业提供的技术资料,每片晶圆消耗约10L纯水,排水系数按0.9计,项目需要进行ITO湿法蚀刻的晶圆用量运营期环境影响和保护措施为600片,则晶圆清洗废水约为5.4t/a。预计污染物产生浓度约为CODCr500mg/L、SS100mg/L、总锡50mg/L,则污染物产生量约为CODCr0.003t/a、SS0.0005t/a、总锡0.0003t/a。7生活污水W7本项目劳动定员157人,年工作时间330天,实行24h/d三班制。厂区内设食堂、倒班宿舍。生活污水用量按每人每天100L计,则年用量为5181t/a,生活污水产生量按用水量的85%计,则生活污水产生量为4404t/a。生活污水的主要污染物浓度为CODCr300mg/L、BOD5200mg/L、氨氮25mg/L,则污染物产生量为CODCr1.321t/a、BOD50.881t/a、氨氮0.110t/a。目前,企业工艺废水收集后由厂内污水处理设施处理达标后纳入市政管网(其中纯水制备废水可经总排口直接纳管),食堂废水经隔油后与其他生活污水一起经化粪池预处理后经总排口纳管排放,进入台州市水处理发展有限公司处理。本项目生产显示器件,废水排放执行《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020,2021.7.1实施)中规定的间接排放限值,其中氨氮指标执行《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》(DB33/887-2013)相关标准限值,总锡参照执行《锡、锑、汞工业污染物排放标准》(GB30770-2014)。目前台州市水处理发展有限公司出水执行《台州市城镇污水处理厂出水指标及标准限值表(试行)》(准地表水Ⅳ类)。表4-3废水污染源源强核算表1CODCrCODCr2洗洗废水CODCr3CODCr4CODCr5水水CODCr46水CODCr运营期环境影响和保护措施7CODCrBOD5表4-4台州市水处理发展有限公司废水污染源源强核算表5企业晶圆用量9600片(8寸/12寸),总投入面积约609.6m2,全厂总排水量7006.4t/a,则排水量为11.5m3/m2(以阵列玻璃基板投入面积计),符合基准排水量(12m3/m2)要求。(2)防治措施企业废水分质分流收集。食堂废水经隔油后与其他生活污水一起经化粪池预处理后经总排口纳管排放,纯水制备废水水质较好,可经总排口直接纳管排放,其他工艺废水(1914.4t/a)经收集后进入厂区废水处理设施预处理。企业工艺废水主要为废气处理废水,以及少量工艺清洗废水。车间工艺废水经管道排入企业废水收集桶(3个5m3,共15m3,至少可满足企业2天废水产生量),再经自动控制水泵通过管道送至废水站。废水收集桶作为废水站水量的调节设施,根据废水站处理情况采用自控系统调节水量。废水收集桶位于生产车间外南侧房间,地面采用环氧树脂等进行防腐防渗。企业建设一套处理能力为0.5t/h(最大12t/d)的废水处理设施。企业工艺废水处理设施能力匹配分析见表4-5,具体工艺见图4-1。表4-5企业水质水量一览表///////是//工艺说明:a.利用地上收集水桶收集厂区废水,经自动控制水泵通过管道进入原水调节槽,槽池内设曝气设备,借搅拌作用使固体物悬浮不致沉淀,并能使水质及水量均匀化,同时添加片碱或酸调节pH。b.调节水池废水综合后,利用废水提升泵及面积式流量计控制,定量抽至反应槽,自动加运营期环境影响和保护措施入PAC、生石灰进行混凝反应,待完成反应后再汇流至后继絮凝槽,加入PAM进行絮凝反应,使氢氧化合物形成较大絮凝物。重新报批后,企业在原审批基础上增加了生石灰的投加,可加强对氟化物的去除效果。c.絮凝后进入沉淀槽沉淀,上清液则流入中和槽利用pH自动控制系统控制酸自动添加成中性。然后增压泵增压经电磁流量计计量排放至工业区污水管网。d.沉淀槽底部污泥定时经机械式污泥脱水机脱水形成泥饼外运,委托有资质单位处置。图4-1工艺废水处理工艺图表4-6企业废水防治设施相关参数一览表1SS50%口234水5锡6////7///表4-7废水污染物排放执行标准表序号1pHCODCr运营期环境影响和保护措施表4-8废水间接排放口基本情况表1东浙江科达检测有限公司于2022年11月2日对企业调试期间企业总排口的废水进行了监测,(浙科达检(2022)综字第0589号),具体监测结果见表4-9。表4-9废水监测结果一览表物量物类-值8是是是是是是是是是是是由上表可知,调试期间企业废水总排口各污染物浓度符合《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020,2021.7.1实施)中规定的间接排放限值,其中氨氮指标符合《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》(DB33/887-2013)相关标准限值。(3)环境影响分析1台州市水处理发展有限公司(三期)台州市水处理发展有限公司成立于1999年,现有污水处理工程包括一期、二期和三期工程,总计污水处理规模为25万m3/d,中水处理5万m3/d,回用尾水基本用于补充城市河流,少量回用于企业作为工业冷却水。各期工程污水处理规模情况见图4-2。运营期环境影响和保护措施台州市水处理发展有限公司图4-2各期工程污水处理规模情况本项目废水经预处理后纳管依托台州市水处理发展有限公司三期工程进行污水处理。根据《关于提高污水处理厂出水排放标准有关问题协调会议纪要》(专题会议纪要[2015]54将椒江污水处理厂(台州市水处理发展有限公司)三期工程建设作为全市执行污水处理厂出水排放达到准Ⅳ类标准的试点工程,目前台州市水处理发展有限公司污水处理厂三期提标及配套工程已完工,现已完成“三同时”竣工验收。提标工程与三期规模一致,仍为10万m3/d,处理工艺重新设计后采用“预处理+改良A2O工艺+高效沉淀池+反硝化滤池+臭氧接触+消毒”工艺,厂内提标生产性建构筑物主要为高效沉淀池、反硝化滤池、臭氧接触池、送水泵房、脱水机房(改造)等。排水系统采用雨、污分流制,项目尾水经泵提升后通过厂外污水管道排入内河河道以及应急排海(台州湾),其中内河河道主要为海门河、葭芷泾、康平河、高闸浦、三才泾、洪家场浦、三条河以及月湖,超过内河接收能力部分水量排海(台州湾),排海口和三期工程原有排海口一致,尾水排放方式为岸边排放。三期提标工程的污水处理工艺流程详见图4-3。图4-3三期工程污水处理工艺流程运营期环境影响和保护措施台州市水处理发展有限公司污水处理厂三期工程进水水质执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996)三级标准后(其中氨氮、总磷排放执行《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》(DB33/887-2013)相关标准限值),出水水质标准按《台州市城镇污水处理厂出水指标及标准限值表》(试行)执行。台州市水处理发展有限公司三期工程2023年5月的出水水质状况见表4-10。表4-10台州市水处理发展有限公司三期工程出水水质状况12345678/2023年5月台州市水处理发展有限公司三期工程出水各项指标能达到《台州市城镇污水处理厂出水指标及标准限值表(试行)》中的标准限值,出水水质比较稳定。2依托可行性分析企业工艺废水收集后由厂内污水处理设施处理达标后纳入市政管网(其中纯水制备废水可经总排口直接纳管),食堂废水经隔油后与其他生活污水一起经化粪池预处理后经总排口纳管排放,进入台州市水处理发展有限公司处理。本项目废水排放量7006.4t/a(21.2t/d),各污染物的达标排放量为:CODCr0.210t/a、氨氮0.011t/a。台州市水处理发展有限公司三期工程处理规模为10万m3/d,现平均处理水量约为8.55万m3/d,余量约1.45万m3/d。企业废水排放量为21.2t/d,不会对污水处理厂造成明显影响。废水经台州市水处理发展有限公司处理后能稳定达标排放,故本项目废水纳管后不会对周围水体造成不良影响。3.噪声(1)源强分析项目的噪声主要来自各机械设备运行噪声,浙江科达检测有限公司于2022年11月2日对企业厂界的声环境质量现状进行了监测(浙科达检(2022)综字第0589号),监测期间,除拟增加的1套气相沉积废气处理设施(具体工艺见附图1-3)外,其余生产设备均已安装并调试运营期环境影响和保护措施运行,因此,本项目噪声预测采用“现状监测值+新增噪声源贡献值”方式判定。拟增加的噪声源源强情况见表4-11。表4-11工业企业噪声源强调查清单(室外声源)XYZ1/2/3/振4/振5/振6/振);(2)防治措施本项目噪声主要为机械设备运行时产生的噪声,为了降低项目运行噪声对周围环境的影响,企业需采取如下措施:①优先购置低噪声设备,合理布置生产设备车间布局;②定期对设备进行润滑,避免因设备不正常运转产生高噪声现象;③废气处理设施风机、空压机进风口设消声器,冷却塔设导流消声器,泵类设备设罩壳隔声;加强对高噪声设备的减震处理;④生产期间关闭车间门窗。(3)环境影响分析本评价对项目噪声采取上述防治措施后对四周厂界影响进行了预测分析。①预测模型采用《环境影响评价技术导则声环境》(HJ2.4-2021)附录中工业噪声预测计算模型进行预测计算。②预测内容本项目50m范围内无声环境保护目标,采用噪声预测软件对厂界噪声进行了预测,给出厂界噪声的最大值。③预测结果噪声预测结果见表4-12和图4-4。表4-12厂界噪声预测结果汇总表单位:dB(A)运营期环境影响和保护措施根据预测可知,企业各侧厂界噪声能够符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准限值,在采取有效综合降噪措施基础上,不会对周围声环境质量产生明显的不利影响。图4-4新增噪声源等声级线图(昼、夜)4.固体废物(1)源强分析本项目产生的固废主要为废靶材S1、废蚀刻液S2、废剥离液S3、废有机蒸镀材料S4、废金属蒸镀材料S5、切割碎屑S6、废光刻胶S7、废显影液S8、不合格品S9、废刀轮S10、废含汞灯泡S11、废RO膜S12、废滤网S13、废活性炭S14、废初效过滤网S15、SiO2粉尘S16、废水处理污泥S17、废溶剂S18、废包装材料S19、实验室废液废渣S20、生活垃圾S21。1废靶材S1本项目用到的金属靶材主要为铝金属、ITO,共计用量240kg,大部分金属材料沉淀在基片上,部分沉淀在设备的腔体内壁。靶材有效利用率约70%,预计废靶材产生量为0.072t/a。2废蚀刻液S2运营期环境影响和保护措施本项目ITO蚀刻液使用,主要成分为三氯化铁、盐酸和水,在使用过程中约15%蚀刻液被产品带走,另有部分盐酸会挥发进入废气,其余均以废蚀刻液形式委外处置。根据物料平衡,项目ITO蚀刻液600L/a(折合约660kg/a),约产生废蚀刻液0.545t/a。3废剥离液S3废剥离液主要含剥离液、光刻胶中的部分树脂(50%计)。本项目剥离液用量约为19.863t(13890L,相对密度1.43),其中94.9%进入废液中,预计废剥离液产生量约18.952t/a(含树脂0.102kg)。根据《国家危险废物名录(2021年版)》,废剥离液(与显影液成分相同)为危险废物,属于HW16感光材料废物,危废代码为398-001-16。4废有机蒸镀材料S4本项目有机蒸镀材料包括P型-离子参杂、有机掺杂物、发光主体、空穴传输材料、电子注入材料1、电子注入材料2,总消耗量共101.38kg,蒸镀材料有效

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