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文档简介

光学薄膜技术复习提纲(一)减反射膜(增透膜)2、單层减反射膜的最低反射率公式3、掌握常见的多层膜系表达,例如G|HL|A代表什么?G|2HL|A?4、什么是规整膜系?非规整膜系?5、單层减反射膜只能对波段内的光波起增透作用。为了在较宽的光谱范围达到更有效的增透效果,常采用的减反射6、V形膜、W形膜的膜系结构以及它们的特征曲线?2、金属反射膜四点特性。P293、金属膜分光镜的一个共同的缺点是吸收损失较大,降低了分光的效率。4、介质膜分光镜的特点。P305、偏振中性分束棱镜是利用斜入射时光的偏振,实现50/50中性分光。2、截止光滤片的应用:彩色分光膜。1、什么是帶通滤光片?P582、什么是通带半宽度和相对半宽度?p593、F—P干涉滤光片?金属一介质F—P干涉滤光片;全介质F—P干涉滤光片p59二、薄膜制造技术1、热蒸发真空镀膜设备主要由三大部分组成:三个系统p109采用旋片式的转子和定子组成,隨着转子的旋转,不断地进行吸气、压缩和排气的循环过请归纳下表(5-8):旋片式机械泵油扩散泵罗茨泵低温冷凝泵9、PVD使用的高真空系统(图3.3.7)工作原理。P117请归纳下表(11-19):电阻加热法电子束加热法磁控溅射离子束溅射离子镀离子辅助镀6、什么是目视法膜厚控制?如何根据反射光的颜色近似判断薄膜的光学厚度?互补判断。7、什么是极值法?p1498、什么是石英晶振法?p1529、什么是宽光谱膜厚监控?p1541、常见的金属薄膜有哪些?

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