杭州海乾半导体有限公司碳化硅外延实验线建设项目环境影响报告

1/业专业实验室、研发(试验基超五年重新审核项目/况但是本项目厂界外500m范围内无环境否价否否否2否否/否/否注：有毒有害污染物根据“关于发布《有毒有害大气污杭州大江东产业集聚区管理委员会和杭州市城市规划设计研究院于2017年2月由共同编制完成《杭州大江东产业集聚区（大江规划期限：2015~2030年。其中：近期2015~2020年；远期3三区一城，即“国家自主创新示范区、长三角产城人融合先行根据地理区位条件、自然地理分割影响和公共服务设施配套万平方米，占城市建设用地的17.30%。其中二类居住用地（R2）4序号称 道区道区道区5化设施、教育设施、体育设施、医疗卫生设施、社会福利设施”六）；⑤“三级”指区级、片区（街道）级、社区级（包括居住规划工业用地面积为4056.63万平方米，占城市建设用地的6规划依据产业特色、园区规模、配套要求等，形成“四片多园”分落实国家高新技术产业园的创建目标，积极发展新能源运输装78规划形成“四区多园、三心多片”的产业空间结构。“四区”：即江东、前进、临江、临空四大产业片，分别分布于由钱江通道和江东大道构成的四个象限内。每个人产业片区基本包含四项要素，分别为特色产业园、物流园、创新单元和创新“多园”：即“7+X”产业园，包括汽车及零部件产业园、新能源新材料产业园、轨道交通产业园、机器人及自动化产业园、临空产业园、生命健康产业园、航空航天产业园等7个主导产业园“三心”：即三级服务中心，包括“城市服务核心—产业服务中心—产业邻里中心和创新单元中心”。“多片”：即多个旅游休闲片，包括江海湿地休闲片、滨江观三、产业空间布局引导①四大产业片A.江东产业片区：重点发展江东先进装备制造园、江东战略务园、总部经济园、花园研发园等3处创新单元，职教小镇、高教科研园等3处创新策源地。B.前进产业片区：重点发展前进先进装备制造园、前进战略新单元，以2所中等专业学校作为创新策源地。C.临江产业片区：重点发展临江高新技术产业园、临江新材9创新单元，临江职业高中、临江高中等2处创新策源地。D.临空产业片区：重点发展临空会展商贸园、临空制造园、东高教科研园为创新策源地。②“7+X”产业园A.汽车及零部件产业园：依托长安福特、东风裕隆、广汽等化纤、纺织产业转型升级，建设循环经济示范高地。近期保留效C.轨道交通产业园：以电气设备制造为特色，打造长三角轨道交通技术研发中心。近期围绕汽车产业园周边进行布局；远期以关键零部件为主加快产业集聚。D.机器人及自动化产业园：依托新松机器人，服务机器换人行布局，加快产业集聚，远期加快向周边拓展，形成组团发展。E.临空产业园：依托萧山机场及空港组团发展，重点发展以物流、电商、培训等为主临空服务业。近期围绕萧山机场进行布局；远期围绕萧山机场进行拓展。F.生命健康产业园：依托华东制药、苏泊尔制药、费列罗、冠亚等企业，主动对接医药研发项目，打造产业化基地。近期围绕核心企业布局，加快产业集聚；远期进行整合，重点拓展前进G.航空航天产业园：依托西子航空等关键零部件企业，打造国内重要的航空航天零部件产业基地。近期围绕西子航空及周边主要以楼宇经济为载体，聚焦发展创意、研发、设计、总部、金融、旅游等，支持7大主导产业园产业发展。③三级服务中心C产业邻里中心和创新单元中心。④多个旅游休闲片A.江海湿地休闲片：位于大江东东侧，结合地方特色围垦文化，发展以游览、观光、体验为主体的湿地公园，结合湿地内的优质农田和鱼塘，打造湿地农耕体验、渔业捕捞体验等。B.滨江观潮度假片：位于大江东西侧，依托紧邻钱塘江的景观优势及钱江潮资源，发展观潮主题的旅游度假休闲功能。C.生态都市农业片：位于钱江通道以西、江东三路以北及梅林农场、江海湿地区域，以现代化、智慧化为方向，积极发展都造都市近郊新型农业发展示范区。表1-3生态空间清单(部分)序号开发区内规划区块现状用地类型520109工业企业之间设置防护绿3.严格实施污染物总量控制5.强化工业集聚区企业环境风险防范设施设备建设和境风险管控企业应急预案表1-4现有问题整改措施清单序号况1产业结构局空间布局2资源利用与环境保护环境质量2污染防治措施基础设施成表1-5规划优化调整建议清单优化调整类型质量改善程度或避让环境敏感区类型及面积）单用地布局横河围成区域及长风路与东三路交叉口东区域用地性质调整为备用地行业转型提升整治后在进行气环境风险未域暂缓开发住及大型的商业该区域住宅用类工业用地。到多家企业大气污染物叠加大气环境投诉量居据对周边企业调查化工企业吉华化工均为上市风险可控期对该区域周边企业进行搬迁存在很大难度。议分区规划在用地性质和产业空间布局上以符合环境功②同时考虑到大江东产业集聚区为新成立境功能区划编划在后等特殊因区域发展需求须要调整环江东产业集聚区必须按照浙11号中第5条环境功能风险可控一单”基础设施配套方面内现有的5座热电厂进行必要的改造或扩保热电厂及恒逸自备热电厂地方燃煤热电联产行业综合改造升级(浙经信电371号)中风险可控圾烧处理规模为时新规划建设大江东循环经园生活垃圾焚固废处置中心项目近期年处理危险废物10理危险废物15垃圾焚烧场）活垃圾焚且位于环境功能区生态红线区域生态建议调整为一险表1-6环境准入条件清单(部分)区块分类产品清单区块七禁止准入类产业//范块扩准不修/造//压延加/////////////限制准入类产业//序号类别1空间准入标准区块七）；）；）；）；）；表1-8规划环评六张清单对照分析情况1234准入类产业清单，本项目研发工艺也不属于其禁止准入和限制准入的工艺清单，本项目不属于氨纶和锦纶等三类项目，故本项目符合环境准入条件清单5单6单析落实省市水污染物总量控制和重点海域污染物排放总量控制乡污水处理设施建设与提标改造，推进生活小区和工业集聚区“零直排区”建设。加强对纳管企业总氮、总磷、重金属和其他有毒有严格控制新增燃煤项目建设，严格控制燃煤机组新增装机规城镇开发建设、交通项目建设、基础设施建设等行为，未在中城镇单元是以城镇开发为主的区域，保护居住环境，维护人群健康；产业单元是以工业开发为主的区域。严格控制淳安县等源头地区污染项目的准入。工业项目分类参照《浙江省“三线一单”本项目建设地址位于杭州市钱塘区江东工业园江东六路5588号6幢一层北部，本项目位于萧山区大江东产业集聚区重点管控单表1-9重点管控单元环境准入清单符合性分析一览表“三线一求区块的功能定别化的产业准划居住区与工工业企业之间域环境质量改善目聚区企业环境风险防范设施设备建设和正常运行境风险管控企业立常态化的企业隐患排查整治监防控体系建设。况目废水经预处理后析表1-10杭州市“三线一单”生态环境分区管控要求条条条条对照《产业结构调整指导目录(2019属于限制发展和禁止发展类项目，另外，项目也不属于别管理措施(负面条条2、长江支流、重要湖泊岸线一公里范围指长江支流、重要4、合规园区指已列入《中国开发区审核公告目录》、《浙江政府办公室关于印发钱塘区产业发展导向目录与产业平台布局指4、建设项目符合主体功能区规划、土地利用总体规划、城乡本项目实施选址位于杭州市钱塘区江东工业园江东六路5588号6幢北部，租用杭州幄肯新材料科技有限公司的厂房，用地为工本项目租用厂房，不新增土地，符合《关于以改善环境质量为核心加强环境影响评价管理的通知》（环环评（2016）150号）中的“三线一单”要求，因此项目的建设满足环境可行性本项目环境影响预测根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南(污染本项目营运期产生的各类污染物成份污染物的治理技术目前已比较成熟，因此从技术上分析，只要切实落实环类污染物均可得到有效控制并能做到达标排放或不对外直接排放，因此其准建设项目类型及其选址、布局、规模等不符合环境保护法律法规和相关法合国家、地方产业政策，各类污染物均可得到有效控制并能做到达标排放项目实施不会改变所在地的环境质量社会效益、环境效益的统一，符合环于形所在区域环境质量未达到国家或者地且建设项目拟采取的措施不能满足区域环境质量改善目水环境质量、声环境质量均符合国家标准；大气环境质量现在臭氧略有超标，但本项目不涉及臭氧排放，只要切实落实各项污染防治措施，项目各类污染物均可得到有效控制并能做到达标排放或不对外直接排放，对环境于形建设项目采取的污染防治措施无法确保污染物排放达到国家和地方排放标准，或者未采取必要措施预防和控制染防治措施，本项目各类污染物均可得到有效控制并能做到达标排放或不于形改建、扩建和技术项目原有环境污染和生态破坏提出有于形建设项目的环境影响报告书、环境影响报告表的基础资内容存在重大缺境影响评价结论不建设项目环境影响报告表的基础资料数据真实可靠，内容不存在缺陷、遗于形8、与《浙江省“十四五”挥发性有机物综合治理方案》符合表1-13《浙江省“十四五”挥发性有机物综合治理方案》符合性分析1产业结构助力绿色发展减23生产环节减少过程泄漏加强含VOCs物料全方位、全链条、全环节密闭管理，做好VOCs物料储存、转移和输远处的VOCs无组织排放位置控制风速应不低于0.3米/秒。对VOCs物料储罐和污水集业排放标准要求开展LDAR工作；其他企业载有气态、液态VOCs物料设备与管线组件密封点大于等于2000个的，应开展LDAR工作。开展LDAR企业3家以上或辖区内开展LDAR企业密封点数量合计1万个以上的县4改造治理实施高效治理VOCs产生特征、生产工况等合理选择治理技术等VOCs治理设施排查，对达不到要求设施改造升级，石化行业的VOCs综合去除印刷、合成革等行业的VOCs综合去除效率炭3个月一换设备停止、残留VOCs收集处理完毕后，方非必要的含VOCs排放的旁路。因安全等因生的VOCs废气量较少，经活性炭吸附处理后可达标排放，故本项目的实施符合“三线一单”及《浙江省“十四五”挥发9、与《浙江省重金属污染防控工作方案》(浙环发【2022】14重有色金属冶炼业(铜、铅锌、镍钴、锡、锑和汞冶炼)、铅蓄电池革鞣制加工业”等6个重点行业，且本项目使用的重金属汞全部作工业园，租赁杭州幄肯新材料科技有限公司位于钱塘区江东工业园江东六根据《中华人民共和国环境影响评价法》和《接受委托后，我单位通过资料收集、现场踏勘后2.2工程内容及规模建建...2.3生产时间和劳动定员...序号142431415161718191NicoletiS50111Agilent7900s1112.5主要原辅材料12345678汞9序号称1）；23是仅存在于氨水中的弱碱。氨水易挥发出氨气4学名氢氯酸，相对分子质量为36.46，熔点-114.2℃,沸点-85℃,567汞℃,沸点356.6℃,密度13.59g/cm3，8甲醇、丙酮和其他多数有机溶剂混溶，熔点-114℃,闪点13℃9沸点31.8℃,遇水分解，密度1.342g/cm3℃,沸点127.12℃,遇水剧烈反应式为H₂,无毒液2.6建设地点及周边环境概况区，原材料仓库位于厂区内东北侧。项目所在地原为越西客车厂杭州幄肯新材料科技有限公司的周边概况为：东侧为洛特(杭州)实业有2.7项目平面布置暂存库，原材料库按照甲类仓库、乙类仓库分开存放，还有一个为气体原材料存放库；危废暂存库位于甲类仓库东侧，项目废水处理设施和废气处理设项目位于江东工业园区内，且从事碳化硅外延研发，为实验室建设，故本项目从事碳化硅外延的研发，研发的合格样片转载室，选好生长程序，设备自动将晶片从装载室运置。炉内温度缓慢上升到1650度，然后开始通入生长气高温下分解成原子和原子团在晶片表面上吸附，迁移到2SiHCl3+H2+C2H2=2SiC+6HCl↑时会将毛细管中的汞吐到汞盒右边的汞槽，然后再经检测的外延片(包括合格品和不合格品)进采用电加热硫酸槽至80℃,维持浸洗20min，然后放入无离子水槽中浸洗=1:1:5)]，浸泡15-20min，浸洗后放入无离子水槽合格外延片清洗，需要依次经过丙酮清洗、稀氢表2-5本项目主要污染物环节及污染因子12物34物56789本项目为新建项目，租用厂房原为闲置，故不存在与本项目有关的原有3.1环境空气质量现状根据杭州市环境空气质量功能区分类，该项目所根据《杭州市人民政府办公厅关于印发杭州市大气环境质量限期达标规划通过二十年努力，全市大气污染物排放总量显著下降，区域大气环境管理2233在内的主要大气污染物指标全面稳定达到国综合上述分析，随着区域大气污染防治工作根据监测结果，所在区域特征污染因子氟化物小3.2地表水环境质量现状全市水环境质量状况为优，同比稳中有升。市控另外，本项目附近地表水体为六工段直河，为了解项目附质量现状，本环评采用智慧河道云平台网站（杭州市生态环境局官方pH8监测结果表明：项目拟建地附近水体高锰酸盐指数、氨氮、总磷等指3.3声环境质量现状3.4生态环境3.6地下水、土壤环境项目配套完善的污染防治措施，基本上不存在土壤和地下水生态环境：项目位于工业园区内，租用已建生产厂房，不新增用地准本项目为碳化硅外延的研发、检测的实验室，其废气排放执行《大气污染氨气和臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)标准，具体见氨丙酮废气排放浓度参照执行上海市地方标准《大气污染物排放标准》厂界有机物执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB37822-2019)标项目研发过程产生的清洗废水、纯水制备废水污水管网，生活污水经化粪池预处理达到纳管标准后纳的三级标准，其中氨氮执行《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013临江污水处理厂出水执行《城镇污水处理厂污染物pHNH3-N准/环境防治法》和《关于进一步加强项目固体废物环境管理的通知》（浙环发“十二五”期间我国落实减排目标责任制，强化污染物减排和治理，增加严格落实污染物排放总量控制制度，把主要污染物排放总量指标作为本项目为碳化硅外延实验室项目，非重点行业，且本项目使用的重金全部作为危废处理，废气和废水中基本不排放汞，故本项目建设符合根据《杭州市建设项目和排污权交易总量审核管理暂行规定》(杭环发[2015]143号)中“三、审批原则”：本排污权交易及登记，其排放总量统一纳入排污权总量基本账户中的非施工期环境保护措施运营期环境影响和保护措施本项目研发过程产生的废气主要为外延生长过程产生的废气、检测废气、平①外延生长产生的废气3+H2+C2H2=2SiC+6HCl↑,故外延生产工艺产生的废气主要为2SiHCl3+H2+C2H2=2SiC+6HCl↑268kg2.0kg包、探头、汞瓶、真空管、控制器、电脑主机、汞泄漏处理套装、键盘和鼠标等组成，其汞探针系统主机为全封闭设备，操作过程为电脑自动化操作，且汞探针毛细管为1.7mm，管径极小，单次汞用量极少，且测试后将汞回收，故根据《排污申报登记适用手册》(国家环境保护总局编V——酸液表面上的空气流速，无条件实测时一般取0.2-0.5m/s，本项目取P——相应于酸液温度下的空气中的蒸汽分压力mmHg柱，当液F—酸液蒸发面表面积，本项目为0.2m2。由企业提供的设备资料，根据外延片研发超净车间的设计规范，本项目酸性123注：挥发的酸雾主要为水、硫酸、氯化氢和氨气，项目使用溶剂浓项目平片清洗后的合格品采取丙酮和1%氢氟酸在常温下清洗，丙酮沸点为项目研发后采取无水乙醇和异丙醇对设备用抹布进行擦拭，项目无水乙醇用量为3kg/a，异丙醇用量为3kg/a，乙醇沸点为78.3℃,异丙醇沸点为82.5℃,因乙醇和异丙醇无排放标准，故乙醇和异丙醇以非甲烷总烃表征，擦拭后一部分留在抹布上，另外一部分在设备上挥发进入空气中，故非甲烷总烃产生量以用量的表4-2项目研发过程废气产生情况汇总表12345678表4-3项目废气收集风量及处理措施情况序号率195%以上，乙烯234项目外延生长废气主要为氯化氢和剩余乙烯废气，根据企业提供资料，吸附C2H4+4KMnO4→2K2CO3+4MnO2+2H2OC2H4+12KMnO4+16KOH→12集气罩面积设计，确保集气罩口断面平均风速应按不低于0.6m/s。项目清洗机主硫酸雾、氯化氢和氨气均溶于水，且酸碱易中和，故采取水喷淋吸收是可行的，序号1长002003洗0.0090.0220.0120.0280.05040.0000.0010.050.00040.0010.00250.0020.0050.320.0030.0070.01260.0170.0402.400.0170.040.08078拭烃00090.00040.001/////标准》(GB16297-1996)二类标准要求；对周围大气环境影响较小。未能完全收集的无组织排放废气得到充分扩散稀释，厂界下风向处无组织排放非甲烷总烃浓度可以满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)二类标准中企业边界标准放量较少，且项目位于工业园区，周边无大气环境敏感点，故项目研发产生的臭气对周边环境影响较小，排气筒排放速率能够满足《恶臭污染物排放标准》另外，根据《吸附法工业有机废气治理工程技术规范》(HJ2026-2013)，丙酮采取活性炭吸附处理有机废气是技术成熟可行的，酸碱废气采取喷淋处理是技术可行的；氯化氢废气为酸性废气，氧化钙为碱性氧化物，氯化氢废气采取氧化钙表4-5项目废气污染源源强核算结果及相关参数一览表工序物h核算方法工艺%%核算方法度放速率浓度外延生长物料衡算吸附式尾气处理器物料衡算//氢平片清洗雾系数法水喷淋系数法氢/合格片清洗物系数法合格片清洗系数法活性炭吸附系数法/称编号名称类型1般排放口径氢行《恶臭污染物排放标参照执行上海地方标准//2般排放口径雾氢//物3研发中心外////烃6/1234512非正常工况即指正常开停车或部分设备检修时排放的污染物及工艺设备或环保设备达不到设计规定指标要求或出现故障时排放的污染物，本项目多套设备同时出现故障几率较低，本项目考虑活性炭吸附满未及时更换导致有机废气吸附效序号/mg/m3/h次施1筒41本项目研发过程产生的废水主要为清洗废水(包括平浸洗过程加热，浓硫酸与双氧水与残留的极少量汞发生反应形成硫酸汞去离子水清洗的清洗废水中基本不含汞，故无需再单独预处理，可以直接与其他废水一同混合，因此本项目清洗废水中基本不含一类污染物，本次评价仅提出监项目废气采取碱喷淋、水喷淋等处理设施，喷淋塔废水每个月更换一次，根水期间，纯水制备效率为3t/h，同期浓水产表4-10纯水制备废水产生情况间hdthdtt3///01本项目污水产生量约1.6t/d(480t/a)。排水水质类比城市生活污水水质监测结水//水////////////5//水处理厂处理达标排放。项目污水水质浓度较低，不会对临江污水处理厂产生冲击，对周边地表水体无影响。只要切实做好废水治理工作，确保废水达标纳管，口Cr序号置1内23456789仪表4-17等效室外声源声级功率计算一览表编号1室55②加强生产设备的维护，确保设备处于良好的运转状态③在工程设计、设备选型、管线设计、隔声消声设计时严格按照《工业企业如图4-2所示，声源位于室内，室内声源可采声源所在室内声场为近似扩散声场，则可按式4-2)）（然后按式4-4将室外声源的声压级和透过面积换算成α=20lgr+8（式4-5）不同的噪声源共同作用于某个预测点，该预测点噪声值为各声源传播到预测表4-18声源声功率级及距厂界距离5项目正常营运期间对厂界的贡献值可以达到《工业企业厂界环境噪声排放标根据《杭州市生态环境局关于加强低效挥发性有机物治理设施改造升级工作节称向置量1理2质3汞T4拭5附6附酸7理汞T8/9备///33向收33运表4-23工程分析中危险废物汇序号称形态分1液液态品2桶固态品3固态汞汞T4固态品5炭9固态品6剂9固态品7率半固态汞汞T-2020《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》等本项目实施后，企业须按照这一技术政策要求进一步完善固废处置措施，具项目危险废物需委托有资质单位处置。企业需渗漏措施，不得随意倾倒、丢弃。企业严格按照危险废物执行《危险废物贮存污根据《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）及修改单，企业需设①、暂存场所内地面和裙脚需进行防腐、防渗、防漏处理，可根据废物特征选择合适的防腐防渗措施，如可采用环氧地坪进行防腐防渗处理等，防腐防渗措②、场所需设置门和锁，各类危险废物需根据种类和数量合理分区堆放，每个分区之间建议设置挡墙间隔，同时危废名称、管理制度等各类标识标牌上墙③、安排专人要求做好危险固废的管理、贮存、交接、外运等登记工作，对危险固废进行申报登记，制定定期外运制度，并对危险废物的流向和最终处置进行跟踪，严格执行转移联单制（建立信息台账，危险废物的记录和货单在危险废），执行相关安全要求，禁止在