SIC材料清洗培训课件

碳化硅材料清洗

操作规范和技巧主要内容第一部分：工序介绍第四部分：操作技巧第二部分：操作流程第三部分：操作规范第五部分：设备相关第六部分：质量控制第七部分：安全生产工序介绍碳化硅材料介绍1.碳化硅材料耐高温，硬度大，但比较脆，不能碰撞。2.碳化硅属于导电材料，不能直接接触炉丝，否则会被熔化。3.碳化硅研磨性很强，两个碳化硅之间不能摩擦。4.目前我们用的碳化硅材料包括碳化硅浆舟和碳化硅管。工序介绍工具清单工具、器具名称型号规格

净化口罩

医用手套

PVC手套

耐酸碱手套

试纸

圆珠笔

工序介绍所需药品盐酸氢氟酸工序介绍大石英管清洗机操作流程碳化硅处理操作流程（一）在净化间打开包装，检查产品是否合格.配制1:1:4，将浆舟或碳化硅管放在清洗机内泡1:1:4后，用去离子水浸泡，冲洗。用氮气将浆舟吹干，放在石英管内150度烘烤拆装自检酸冲洗溢流冲洗用三氯乙烷工艺清洗后，记录清楚后可以使用饱和使用干燥拆包装操作规范在净化间内打开包装，检查产品型号规格是否正确，外观是否有破损（如碳化硅管）。操作规范酸洗操作规范把大石英管清洗槽清洗干净，配制好1：1：4，把碳化硅浆舟放进去浸泡30-50分钟。操作规范酸洗操作规范浆舟柄部口要求抬高在液面外，防止酸液进入中空部分操作规范去离子水溢流冲洗操作规范酸洗完毕后,先用去离子水冲洗几次，然后再浸泡在去离子水中，每两个小时换一次水，漂洗12小时，至水呈中性.操作规范PH试纸呈中性，说明冲干净操作规范先把手套洗干净操作规范用氮气枪吹干干燥操作规范把浆舟拿出来用氮气枪所有区域都吹干，然后安装在扩散炉上，推进石英管内150度烘烤4小时.操作规范操作规范清洗完以后把浆舟装到炉子上，准备烘浆操作规范装完浆舟以后，装载烘浆舟的工艺，然后运行，待工艺结束以后就可以使用了。操作规范饱和操作规范1.在通入氮气6000的情况下，在150℃以低于200mm/min的速度进炉，或者以5℃/min速度升温到400℃；2.保持30分钟，以彻底去除产品中残留的水汽3.在纯氧气中继续以5℃/min升温至700℃；通入携带氯源的小氮200ml4.温度升到1100℃时将氯离子源的流量减少一半。最后将温度升到1250℃或者比最高工艺使用温度高50℃（最少1150℃）。保持此温度1小时后关闭氯源；设备日常维护保养不能用硬物去磕碰浆舟不能在浆舟上拖动硅舟碳化硅浆舟每个月工艺清洗一次不能裸手去碰浆舟设备日常维护保养方法及注意事项设备相关设备使用注意事项设备相关使用前必须彻底的干燥，柄部区域清洗时不能进酸，不能碰撞，酸一定要冲洗干净.使用时进舟速率一定要小于200mm/min

，最高使用温度最好小于1350度.进桨存放时开口一端要向下，不要在浆舟上拖动硅舟，碳化硅承受的重量不能超过它的承重力.存放清洗

质量要求清洗完的浆舟上不能有印痕。碳化硅不能有破损。柄部中空不能有酸，要清洗干净。质量控制质量控制常见质量问题的原因及解决方法质量现象原因分析解决办法表面有杂质，印痕手套不干净，摸到浆舟重新处理有裂痕进舟速率过快严格控制进舟速度与硬物碰撞使用时小心注意事项设备安全方面：设备安全接地，通风排毒正常。使用中严禁磕碰。严禁与炉丝接触并通电。人员安全方面：工作时注意药品不要溅到人，下班后关好水、电、气。操作时一定要带好口罩，耐酸碱手套安全生产谢谢地址