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文档简介
电子显微镜及其附属设备的结构、基本原理、用途及其使用方法第一部分透射式电子显微镜1.透射式电子显微镜外形及其基本结构组成:电子光学系统;
高压系统;数据采集系统电子控制系统;真空系统等五大部分。真空系统真空系统的组成:机械泵、扩散泵、离子泵、真空管道、循环水系统等电子枪镜筒照相室DPIPRP数据采集系统数据采集系统包括:CCD数据采集系统、PHOTO采集系统;高压及其电源系统高压箱、高压电缆、高压瓷瓶、电子束发射枪、电源等。2.透射电子显微镜的基本工作原理电子光学系统的工作原理LaB6灯丝在高电压的作用下,产生一
束高能电子束。经
过透镜、物镜、消
像散等系统的调整,形成一束近似平行
光的电子束,作用
于试样。电子束与
试样将发生各种各
样的作用。主要形
成透过电子、弹性
散射电子、非弹性
散射电子
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