从一粒沙子到一颗芯片_第1页
从一粒沙子到一颗芯片_第2页
从一粒沙子到一颗芯片_第3页
从一粒沙子到一颗芯片_第4页
从一粒沙子到一颗芯片_第5页
已阅读5页，还剩12页未读， 继续免费阅读

付费下载

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

从一粒沙子到一颗芯片FundamentalofMicroelectronictechnologies一粒沙子的魔法1.引言2芯片在我们的生活中无处不在。2.从沙子到晶圆硅晶圆/硅片：Siliconwafer硅矿石单晶硅棒单晶硅片2.从沙子到晶圆HCl硅粉反应腔过滤器纯化器冷凝器多晶硅粉粉碎研磨石英砂冶金级硅多晶硅（98~99%）粗硅加碳还原高纯TCS精馏多晶硅氢气还原电子级硅三氯硅烷HClTCS反应腔H2和TCSSiO2

+2C

→Si+2CO加热SiO2

+3HCl

→SiHCl3+H2300℃SiHCl3

+H2

→Si+3HCl1100℃99.999999%2.从沙子到晶圆多晶硅单晶硅结晶过程2.从沙子到晶圆单晶生长车间及生长炉（CZ法）2.从沙子到晶圆2.从沙子到晶圆硅晶圆/硅片：Siliconwafer是什么为什么直接制约了我们芯片的自主发展至少九个9：0.9999999992.从沙子到晶圆102.从沙子到晶圆11光刻，Photolithography指借助于掩膜版，利用光敏的光刻胶发生光化学反应，同时结合刻蚀技术，实现掩膜版图形到硅片表面各种薄膜上图形的转移。3.从晶圆到芯片3.从晶圆到芯片光刻：“卡脖子”的关键环节3.从晶圆到芯片整个光刻系统精度控制要求特别高从一粒沙子到一颗芯片硅晶圆/硅片：Siliconwafer是所有半导体材料中最重要的！4.国家芯片的发展微电子学光学材料学化学精密机械自动

人人文库> 全部分类> 应用文书 > 作业报告

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论