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文档简介

从一粒沙子到一颗芯片FundamentalofMicroelectronictechnologies一粒沙子的魔法1.引言2芯片在我们的生活中无处不在。2.从沙子到晶圆硅晶圆/硅片：Siliconwafer硅矿石单晶硅棒单晶硅片2.从沙子到晶圆HCl硅粉反应腔过滤器纯化器冷凝器多晶硅粉粉碎研磨石英砂冶金级硅多晶硅（98~99%）粗硅加碳还原高纯TCS精馏多晶硅氢气还原电子级硅三氯硅烷HClTCS反应腔H2和TCSSiO2

+2C

→Si+2CO加热SiO2

+3HCl

→SiHCl3+H2300℃SiHCl3

+H2

→Si+3HCl1100℃99.999999%2.从沙子到晶圆多晶硅单晶硅结晶过程2.从沙子到晶圆单晶生长车间及生长炉（CZ法）2.从沙子到晶圆2.从沙子到晶圆硅晶圆/硅片：Siliconwafer是什么为什么直接制约了我们芯片的自主发展至少九个9：0.9999999992.从沙子到晶圆102.从沙子到晶圆11光刻，Photolithography指借助于掩膜版，利用光敏的光刻胶发生光化学反应，同时结合刻蚀技术，实现掩膜版图形到硅片表面各种薄膜上图形的转移。3.从晶圆到芯片3.从晶圆到芯片光刻：“卡脖子”的关键环节3.从晶圆到芯片整个光刻系统精度控制要求特别高从一粒沙子到一颗芯片硅晶圆/硅片：Siliconwafer是所有半导体材料中最重要的！4.国家芯片的发展微电子学光学材料学化学精密机械自动

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