多晶硅生产用石墨制品表面杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法-编制说明-预审稿_第1页
多晶硅生产用石墨制品表面杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法-编制说明-预审稿_第2页
多晶硅生产用石墨制品表面杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法-编制说明-预审稿_第3页
多晶硅生产用石墨制品表面杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法-编制说明-预审稿_第4页
多晶硅生产用石墨制品表面杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法-编制说明-预审稿_第5页
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文档简介

1《多晶硅生产用石墨制品表面杂质含量的测定电感多晶硅是光伏产业链中的基础原材料,直接影响着后续产品的成本、质量,主流生产到大量石墨制品,比如石墨底座、石墨帽、卡瓣等,其中石墨底座、石就消耗2个石墨底座、2组石墨卡瓣。我国根据《工业和信息化部办公厅关于印发2022年第一批行业标准制修订和外文版项目计划的通知》(工信厅科函[20XX]XX号)的文件精神,行业标准《多晶硅生产用石墨制品表面杂质含量的测定电感耦合等离子体光谱法》由全国有色金属标准化技术委员会、标准化技术委员会材料分技术委员会具体组织编制赛夫特半导体材料检测技术有限公司、洛阳中硅高科技有限公司......等单位共同提出并起2全资控股的子公司。中能硅业研发团队独创了国际领先、具有自主知识产权的GCL法多检测技术中心拥有一座综合性实验大楼,建筑面积约3500m2,分为普通实验室、洁净实随着江苏中能硅业多晶硅产业的壮大,GCL位成立了标准编制组,确定了编制组成员的任务分工和计划。标准编制组开展了查询相关国内外资料、标准的整理和研讨工作,发现没有相关的SEMI标准,同时标准编制组也充分调研了本公司和同行业其他单位的石墨制品表面杂质的检测方法,并组织相关技术人员进行了石墨制品表面杂质含量检测的试验工作,结合实际情况和具体的试验结果,对拟制定标准所涉及的内容、范围、适用性、可操作性、科学性等内容进行了认真研讨、论证和改进,通过试验,初步确立了方法标准的内容。最终形成了《多晶硅生产用石墨制品表面杂质含量的测定电感耦合等离子体光谱法》的讨论稿,并在编制组成员单位内进行了充分的讨论。讨论会,与会专家对标准进行充分的讨论。根据专家意见,结合实验情况和实验结果进行改进,又对标准文本内容做了进一步完善,形成标准预审稿。3),选择独立包装的若干组卡瓣作为实验样品,将样品分别浸泡于超纯水、1%硝酸溶液BPK161161112113141 165181113113132-176191111113132-164181112113131水20min-115311111113132 水20min-2211111113161-水20min-319811112113261-1871111111315147水30min-116411112124121 14311113124142-17411111124152-16411112124142451313111113722-111411242213333-111511251113192-41214112311134528620min-1111645111216163 111546111326313 11154511411226133 11164511122623330min-11416112114233-1114111214133 111511202214423 121511221423396162111213352-134112213352-1923112113162-1331122132528520min-11734135113241-1453136203132-116440135113152-145413521314230min-1124311272124342-1634011282314282-167311281224162-1763112712242625石墨制品是固体样品,所以引用文件GB/T6678《化工产品采样总则》、GB/T6679确度,应避免操作过程的各种沾污,发现沾污应及时进行清洗表3待测元素的谱线元素谱线元素谱线元素谱线B249.677Na589.592Mg285.213Al396.153K766.490Ca396.847P177.434As188.979Cr267.716Mn257.610Fe238.204Pb220.353Ni231.604Cu327.393Zn213.85762.7

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