无机精细化学品的制备-薄膜化

2.5薄膜化薄膜技术目前还是一门正在发展的边缘学科，其中不少问题还正在探讨之中。薄膜的性能多种多样，有电性能、力学性能、光学性能、磁学性能、催化性能、超导性能等。因此，薄膜不仅在工业上有着广泛的应用，特别是在现代电子工业领域中也占有极其重要的地位，也是世界各国在这一领域竞争的主要内容，并且从一个侧面代表了一个国家的科技水平。现有的制膜工艺已经很多，有涂布法、溶胶—凝胶法、化学溶液镀膜法、氧化法、离子成膜法、物理蒸发法、化学堆积法、分子束外延法等等。如何选择方法，则要根据具体情况而定。有时制取某一种薄膜有几种方法可供选择，但主要应根据薄膜的功能要求和工艺繁简程度等因素综合考虑来决定。§一、

难得的金属耐蚀保护膜非晶态合金薄膜是一种无晶界的、高度均匀的单相体系。不存在一般金属或合金所具有的晶态缺陷：位错、层错、空穴、成分偏析等。因此，金属耐腐蚀保护膜它不存在晶体间腐蚀和化学偏析，具有极强的防腐蚀性能。作为防腐蚀材料，非晶态合金薄膜(或镀层)可以取代不锈钢或劣材优用.是节约资源、节约能源、降低成本的有效途径，具有广阔的应用前景。一、

难得的金属耐蚀保护膜金属耐腐蚀保护膜是通过化学催化反应，在金属或非金属表面沉积一层非晶态物质。以非晶态镍磷合金为例，非晶态Ni-P合金中，没有晶态Ni-P合金所具有的两相组织，无法构成微电池。特别是化学沉积的非晶态Ni-P合金，成分较之电解沉积者更为均匀。所以，化学沉积的非晶态Ni-P合金可用于许多耐腐蚀的场合。二、多功能薄膜—SnO2氧化锡膜组成为氧化锡的薄膜。特点为高导电性，在可见光波段有良好的透光性，较高的红外叹射率和紫外吸收性。氧化锡膜常用热解化学气相沉积或反应磁控溅射法制备。主要用于作电阻器，光电元件、太阳能电池、场致发光元件、显示器、红外反射透光玻璃等。为了增强透明导电效果，常常在氧化锡膜中掺入氧化锑。由氧化锡与氧化铟组成的ITO膜的透光导电性能则更为优越。二、多功能薄膜—SnO2应用：1）金属膜电位器金属膜电位器是在玻璃或陶瓷基体上用真空蒸发或电镀的方法，涂敷一层金属膜或一层金属复合膜而制成。用作金属膜的材料有铂铜、铂锗、铑锗，以及三元合金膜铂铱钌、铂铑金、铂铑锰等。用作复合膜的则是一层金属膜与另一层金属氧化膜相合成，如铑膜和氧化锡膜，以及镍铬合金膜加氧化钛膜等。金属复合膜可提高膜层的阻值和耐磨性。该种电位器的优点是：电阻温度系数小，耐高温，分辨力高，但它的功率小，且阻值较低。化学传感器化学传感器是传感器中的重要一类，而气体传感器是化学传感器的重要组成部分。气体传感器的工作原理：利用金属氧化物随周围气体组成的改变，导致电阻等发生变化来对气体进行检测和定量测的。组成气体传感器材料的微粒粒度越小，比表面积越大，传感器与周围气体的接触而发生相互作用越大敏感度越高。另外，用二氧化钛、二氧化铝等组成的传感器可用于氧、氮等气氛的预报；用氧化锡膜制成的气体传感器，可用作战场化学剂的报警、可燃气体泄漏报警和湿度变化预报等。[4]电热玻璃通电后能升高温度的玻璃复合材料。电加热元件为极细的钨丝、康铜丝夹在两片玻璃之间（A型）。此型均匀性较好，但制作工艺复杂，且容易产生折光；或在玻璃内表面涂以透明氧化物的导电膜，然后再胶合成夹层玻璃（B型）。用氧化锡膜时，膜层牢固，喷膜工艺简单，但均匀性稍差；用氧化铟锡膜时，膜层牢固，均匀性较好，电阻范围宽，但成本较高。二、多功能薄膜—SnO2应用：2）化学传感器化学传感器是传感器中的重要一类，而气体传感器是化学传感器的重要组成部分。气体传感器的工作原理：利用金属氧化物随周围气体组成的改变，导致电阻等发生变化来对气体进行检测和定量测的。组成气体传感器材料的微粒粒度越小，比表面积越大，传感器与周围气体的接触而发生相互作用越大敏感度越高。另外，用二氧化钛、二氧化铝等组成的传感器可用于氧、氮等气氛的预报；用氧化锡膜制成的气体传感器，可用作战场化学剂的报警、可燃气体泄漏报警和湿度变化预报等。二、多功能薄膜—SnO2应用：3）电热玻璃通电后能升高温度的玻璃复合材料。电加热元件为极细的钨丝、康铜丝夹在两片玻璃之间（A型）。此型均匀性较好，但制作工艺复杂，且容易产生折光；或在玻璃内表面涂以透明氧化物的