一种基于RF MEMS开关的四端口电子校准件设计_第1页
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文档简介

，高精度和高速率的信号处理变得越来越重要。四端口网络是一种用于测量器件(例如天线、滤波器和放大器)的传输特性的测量器件，其具有卓越的稳定性和精度。然而，EMS度在现代通信和雷达技术中是至关重要的。对于精度要求高的测量器件(例如天线、滤波器和放大器)，四端口网络是一种量器件。尽管四端口网络在低频范围内表现良好，但在高频率耗会明显增加。因此，开发一种校准件可以减少校准误差和插的方法，尤其是在低功耗无线器件、雷达和卫星通信中具有广泛FMEMS端口校准件通常使用不同的技术来实现校准。例如，双平衡混频器(DBM)结构可以实现完全校准的四端口测量系统，但它不适高性能测量系统。为了提高自适应性，使用改进的双平衡结构校准MS降低校准误差和插入损耗的目的。具体来说，该设计有以下几个关实现对控制模块的实时控制;四个元件和一些电路组成：两个参考平面、一个微带线和属提供一个稳定的共模电势面，使测量结果更加准确。在本条电容垂直于基板和两个金属箔组成用于将校准器件与其他器件连接起来。微带线是具有低插入损设计中，微带线路是采用MicrostripS，MEMS.通过控制模块的开关控制单元实现对RFMEMS开关状态进行控制。信号到达目标接口时的相对幅度MSdBS实现校准电路的开关切换。实验

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