SU8200场发射扫描电镜技术说明文件

.z.SU8200场发射扫描电镜技术说明文件一、二次电子分辨率：0.8nm(加速电压15kV，工作距离4mm)1.1nm(着陆电压1kV，工作距离1.5mm)(减速模式)以上分辨率的测试都是基于日立电镜的分辨率测试标样〔蒸金磁带样品，蒸金碳样品〕二、放大倍率： 低倍模式：20到2k高倍模式：100到1000k三、电子光学：电子枪：冷场发射电子枪〔带有柔性flash功能〕加速电压:0.5到30kV着陆电压:0.01到2kV透镜系统三级电磁透镜系统物镜光阑四孔可调光阑(置加热自清洁功能)扫描线圈二级电磁式偏转线圈〔高倍模式〕一级电磁式偏转线圈〔低倍模式〕消像散器八级电磁系统〔*，Y〕探测器：低位〔Lower〕、高位〔Upper〕、和顶位〔Top〕三种探测器进展二次电子/背散射电子的接收能谱系统(选配)束闸电磁型电位移：12m(工作距离注意：工作距离改变时，电位移围会改变四、样品室和样品台：样品台控制：五轴马达台可移动围和样品尺寸：SU8220SU8230SU8240*0~50~110~11Y0~50~110~8Z1.5~31.5~41.5~40mmT-5~70°R0~360°样品尺寸最大样品尺寸〔直径〕150mm可安装样品高度SU8220SU8230/SU8240样品最大直径样品最大高度样品最大直径样品最大高度26mm17224mm75mm8mm75mm15mm100mm6mm125mm12mm150mm2mm150mm8mm换样预抽室样品台控制：图形界面控制自动样品更换位置定位功能样品台移动轨迹存储功能优中心旋转功能图片导航功能五、显示系统用户界面电脑显示器上的图形用户界面电脑操作系统：微软Windows7专业版〔32位〕操作台：鼠标、键盘、旋钮板、样品台控制方法〔标配轨迹球，或选配操纵杆〕显示器24.1寸液晶显示器或同等配置的显示器〔屏幕：1,920×1,200像素〕扫描模式：二维图像显示选区模式点分析模式平均浓度分析模式图像显示模式大屏显示模式(1280960)单屏显示模式(800600)双屏同时显示模式(800600)四屏同时显示模式(640480)选区显示模式〔图像调整时使用〕电子光学对中：电子束对中光阑对中像散对中低倍对中扫描模式积分扫描快扫慢扫缩小区域扫高清捕图积分捕图荷电抑制扫描(CS扫描)扫描速度TV：两级扫描速度〔Rapid1～Rapid2〕快扫：两级扫描速度〔Fast1～Fast2〕慢扫：七级扫描速度〔Slow1～Slow7〕CS扫描：七级扫描速度〔CSS1～CSS7〕选区扫描自动调节功能：ABCC(自动亮度/比照度调节)，自动聚焦信号和图像处理功能：通过积分，图像的信噪比提高桢积分〔最大积分数量：1,024〕〔TV和快扫模式〕彩色图像显示两种颜色混合图像显示〔实时〕伪彩图像显示〔保存图像〕存储图像处理渐变转换Gamma调节多重滤波处理图像存储：图像存储尺寸：640480，800600，1,280960，2,5601,920，5,1203,840像素保存格式：BMP,TIFF(8位),JPEG图像打印自由布局打印功能保存数据图像的处理图像管理和处理(SEMDataManager)：图片数据库管理缩略图显示多种图片处理功能其他功能：束闸功能〔图像冻结时〕光栅旋转/倾斜补偿测量功能(实时图像或存储图像)参数显示(照片号、加速电压、放大倍率、微标尺、工作距离、日期、时间)参数条被底：透明、黑色数据输入和标注〔圆，矩形，箭头，尺寸线〕外部设备接口：USB接口网卡接口*射线分析功能扫描模式：点扫描面扫描DBC接口〔选配〕六、真空系统真空控制：完全自动气动阀系统真空泵：离子泵：60L/s1,20L/s2磁悬浮分子泵：300L/min1〔主抽气〕机械泵为减轻污染，推荐使用干泵真空量规：全量程量规，皮拉宁规两个〔控制真空系统〕，宁规一个真空度：电子枪：﹤10-8Pa样品室：﹤10-4Pa样品交换室：六寸预抽室七、保护措施断电保护、断水保护、漏气保护八、循环水冷却水循环流速：1.0～1.5L/min〔冷却物镜〕水压：50～100kPa水温：10to20九、防污染措施液氮冷阱十、SU8200系列扫描电镜〔SU8220,SU8230,SU8240〕主机 1显示单元 1机械泵 1空压机 1标配专用工具 1套耗材及配件 1套操作手册 1套十一、尺寸及重量长 宽 高 重量主机〔SU8220〕990 8501主机〔SU8230〕990 850 1,745mm主机〔SU8240〕9908501,745mm显示单元1,1201,1001,200mm空压机 210420 520mm减震器 200 180 160mm十二、主要选项探测器：顶探头过滤器YAG型BSE探测器〔SU8220/SU8230/SU8240〕扫透探测器〔SU8220/SU8230/SU8240〕半导体型BSE探测器〔SU8220/SU8230/SU8240〕