镀膜真空术语全集中英文对照

-.z.镀膜真空术语全集〔中英文对照〕5.分压真空计〔分压分析器〕

5-1.射频质谱仪radiofrequencymassspectrometer：

5-2.四极质谱仪〔四级滤质器〕quadrupolemassspectrometer；quadrupolemassfiler：

5-3.单极质谱仪momopolemassspectrometer：

5-4.双聚焦质谱仪doublefocusingmassspectrometer：

5-5.磁偏转质谱仪magneticdeflectionmassspectrometer：

5-6.余摆线聚焦质谱仪trochoidalfocusingmassspectrometer：

5-7.盘旋质谱仪omegatronmassspectrometer：

5-8.飞行时间质谱仪timeofflightmassspectrometer：

6.真空计校准

6-1.标准真空计referencegauges：

6-2.校准系统systemofcalibration：

6-3.校准系数Kcalibrationcoefficient：

6-4.压缩计法meleodgaugemethod：

6-5.膨胀法e*pansionmethod：

6-6.流导法flowmethod：

4.

1.真空系统vacuumsystem

1-1.真空机组pumpsystem：

1-2.有油真空机组pumpsystemusedoil：

1-3.无油真空机组oilfreepumpsystem

1-4.连续处理真空设备continuoustreatmentvacuumplant：

1-5.闸门式真空系统vacuumsystemwithanair-lock：

1-6.压差真空系统differentiallypumpedvacuumsystem：

1-7.进气系统gasadmittancesystem：

2.真空系统特性参量

2-1.抽气装置的抽速volumeflowrateofapumpingunit：

2-2.抽气装置的抽气量throughputofapumpingunit：

2-3.真空系统的放气速率degassing(outgassing)throughputofavacuumsystem：

2-4.真空系统的漏气速率leakthroughputofavacuumsystem：

2-5.真空容器的升压速率rateofpressureriseofavacuumchamber：

2-6.极限压力ultimatepressure：

2-7.剩余压力residualpressure：

2-8.剩余气体谱residualgasspectrum：

2-9.根底压力basepressure：

2-10.工作压力workingpressure：

2-11.粗抽时间roughingtime：

2-12.抽气时间pump-downtime：

2-13.真空系统时间常数timeconstantofavacuumsystem：

2-14.真空系统进气时间ventingtime：

3.真空容器

3-1.真空容器；真空室vacuumchamber：

3-2.封离真空装置sealedvacuumdevice：

3-3.真空钟罩vacuumbelljar：

3-4.真空容器底板vacuumbaseplate：

3-5.真空岐管vacuummanifold：

3-6.前级真空容器〔贮气罐〕backingreservoir：

3-7.真空保护层outerchamber：

3-8.真空闸室vacuumairlock：

3-9.真空冷凝器；蒸汽冷凝器deviceforcondensingvapor：

4.真空封接和真空引入线

4-1.永久性真空封接permanentseal：

4.2.玻璃分级过渡封接gradedseal：

4-3.压缩玻璃金属封接***pressionglass-to-metalseal：

4-4.匹配式玻璃金属封接matchedglass-to-metalseal：

4-5.瓷金属封接ceramic-to-metalseal：

4-6.半永久性真空封接semi-permanentseal：

4-7.可拆卸的真空封接demountablejoint：

4-8.液体真空封接liquidseal

4-9.熔融金属真空封接moltenmetalseal：

4-10.研磨面搭接封接groundandlappedseal：

4-11.真空法兰连接vacuumflangeconnection：

4-12.真空密封垫vacuum-tightgasket：

4-13.真空密封圈ringgasket：

4-14.真空平密封垫flatgasket：

4-15.真空引入线feedthroughleadthrough：

4-16.真空轴密封shaftseal：

4-17.真空窗vacuumwindow：

4-18.观察窗viewingwindow：

5.真空阀门

5-1.真空阀门的特性characteristicofvacuumvalves：

⑴.真空阀门的流导conductanceofvacuumvalves：

⑵.真空阀门的阀座漏气率leakrateofthevacuumseat：

5-2.真空调节阀regulatingvalve：

5-3.微调阀micro-adjustablevalve：

5-4.充气阀chargevalve：

5-5.进气阀gasadmittancevalve：

5-6.真空截止阀breakvalve：

5-7.前级真空阀backingvalve：

5-8.旁通阀by-passvalve：

5-9.主真空阀mainvacuumvalve：

5-10.低真空阀lowvacuumvalve：

5-11.高真空阀highvacuumvalve：

5-12.超高真空阀；UHV阀ultra-highvacuumvalve：

5-13.手动阀manuallyoperatedvalve：

5-14.气动阀pneumaticallyoperatedvalve：

5-15.电磁阀electromagneticallyoperatedvalve：

5-16.电动阀valvewithelectricallymotorizedoperation：

5-17.挡板阀bafflevalve：

5-18.翻板阀flapvalve：

5-19.插板阀gatevalve：

5-20.蝶阀butterflyvalve：

6.真空管路

6-1.粗抽管路roughingline：

6-2.前级真空管路backingline：

6-3.旁通管路；By-Pass管路by-passline：

6-4.抽气封口接头pumpingstem：

6-5.真空限流件limitingconductance：

6-6.过滤器filter：

5.

1.一般术语

1-1真空镀膜vacuumcoating：

1-2基片substrate：

1-3试验基片testingsubstrate：

1-4镀膜材料coatingmaterial：

1-5蒸发材料evaporationmaterial：

1-6溅射材料sputteringmaterial：

1-7膜层材料(膜层材质)filmmaterial：

1-8蒸发速率evaporationrate：

1-9溅射速率sputteringrate：

1-10沉积速率depositionrate：

1-11镀膜角度coatingangle：

2.工艺

2-1真空蒸膜vacuumevaporationcoating：

(1).同时蒸发simultaneousevaporation：

(2).蒸发场蒸发evaporationfieldevaporation：

(3).反响性真空蒸发reactivevacuumevaporation：

(4).蒸发器中的反响性真空蒸发reactivevacuumevaporationinevaporator：

(5).直接加热的蒸发directheatingevaporation：

(6).感应加热蒸发inducedheatingevaporation：

(7).电子束蒸发electronbeamevaporation：

.激光束蒸发laserbeamevaporation：

(9).间接加热的蒸发indirectheatingevaporation：

(10).闪蒸flashevaportion：

2-2真空溅射vacuumsputtering：

(1).反响性真空溅射reactivevacuumsputtering：

(2).偏压溅射biassputtering：

(3).直流二级溅射directcurrentdiodesputtering：

(4).非对称性交流溅射asymmtricalternatecurrentsputtering：

(5).高频二极溅射highfrequencydiodesputtering：

(6).热阴极直流溅射〔三极型溅射〕hotcathodedirectcurrentsputtering：

(7).热阴极高频溅射〔三极型溅射〕hotcathodehighfrequencysputtering：

.离子束溅射ionbeamsputtering：

(9).辉光放电清洗glowdischargecleaning：

2-3物理气相沉积PVDphysicalvapordeposition：

2-4化学气相沉积CVDchemicalvapordeposition：

2-5磁控溅射magnetronsputtering：

2-6等离子体化学气相沉积；PCVDplasmachemistryvapordeposition：

2-7空心阴极离子镀HCDhollowcathodedischargedeposition：

2-8电弧离子镀arcdischargedeposition：

3.专用部件

3-1镀膜室coatingchamber：

3-2蒸发器装置evaporatordevice：

3-3蒸发器evaporator：

3-4直接加热式蒸发器evaporatorbydirectheat：

3-5间接加热式蒸发器evaporatorbyindirectheat：

3-7溅射装置sputteringdevice：

3-8靶target：

3-10时控挡板timingshutter：

3-11掩膜mask：

3-12基片支架substrateholder：

3-13夹紧装置clamp：

3-14换向装置reversingdevice：

3-15基片加热装置substrateheatingdevice：

3-16基片冷却装置substratecoldingdevice：

4.真空镀膜设备

4-1真空镀膜设备vacuumcoatingplant：

(1).真空蒸发镀膜设备vacuumevaporationcoatingplant：

(2).真空溅射镀膜设备vacuumsputteringcoatingplant：

4-2连续镀膜设备continuouscoatingplant：

4-3半连续镀膜设备semi-continuouscoatingplant

6.

1.漏孔

1-1漏孔leaks：

1-2通道漏孔channelleak：

1-3薄膜漏孔membraneleak：

1-4分子漏孔molecularleak：

1-5粘滞漏孔vi*cousleak：

1-6校准漏孔calibratedleak：

1-7标准漏孔referenceleak：

1-8虚漏virtualleak：

1-9漏率leakrate：

1-10标准空气漏率standardairleakrate：

1-11等值标准空气漏率equivalentstandardairleakrate：

1-12探索〔示漏〕气体：

2.本底

2-1本底background：

2-2探索气体本底searchgasbackground：

2-3漂移drift：

2-4噪声noise：

3.检漏仪

3-1检漏仪leakdetector：

3-2高频火花检漏仪H.F.sparkleakdetector：

3-3卤素检漏仪halideleakdetector：

3-4氦质谱检漏仪heliummassspectrometerleakdetector：

3-5检漏仪的最小可检漏率minimumdetectablerateofleakdetector：

4.检漏

4-1气泡检漏leakdetectionbybubbles：

4-2氨检漏leakdetectionbyammonia：

4-3升压检漏leakdetectionofrisepressure：

4-4放射性同位素检漏radioactiveisotopeleakdetection：

4-5荧光检漏fluorescenceleakdetection

7.

1.一般术语

1-1真空枯燥vacuumdrying：

1-2冷冻枯燥freezedrying：

1-3物料material：

1-4待枯燥物料materialtobedried：

1-5枯燥物料driedmaterial：

1-6湿气moisture；humidity：

1-7自由湿气freemoisture：

1-8结合湿气boundmoisture：

1-9分湿气partialmoisture：

1-10含湿量moisturecontent：

1-11初始含湿量initialmoisturecontent：

1-12最终含湿量finalresidualmoisture：

1-13湿度degreeofmoisture,degreeofhumidity：

1-14枯燥物质drymatter：

1-15枯燥物质含量contentofdrymatter：

2.枯燥工艺

2-1枯燥阶段stagesofdrying：

(1).预枯燥preliminarydry：

(2).一次枯燥〔广义〕primarydrying(ingeneral)：

(3).一次枯燥〔冷冻枯燥〕primarydrying(freeze-drying)：

(4).二次枯燥secondarydrying：

2-2.(1).接触枯燥contactdrying：

(2).辐射枯燥dryingbyradiation：

(3).微波枯燥microwavedrying：

(4).气相枯燥vaporphasedrying：

(5).静态枯燥staticdrying：

(6).动态枯燥dynamicdrying：

2-3枯燥时间dryingtime：

2-4停留时间lengthofstay(inthedryingchamber)：

2-5循环时间cycletime：

2-6枯燥率dessicationratio：

2-7去湿速率massflowrateofhumidity：

2-8单位面积去湿速率massflowrateofhumiditypersurfacearea：

2-9枯燥速度dryingspeed：

2-10枯燥过程dryingprocess：

2-11加热温度heatingtemperature：

2-12枯燥温度temperatureofthematerialbeingdried：

2-13枯燥损失lossofmaterialduringthedryingprocess：

2-14飞尘liftoff(particles)：

2-15堆层厚度thicknessofthematerial：3.冷冻枯燥

3-1冷冻freezing：

(1).静态冷冻staticfreezing：

(2).动态冷冻dynamicfreezing：

(3).离心冷冻centrifugalfreezing：

(4).滚动冷冻shellfreezing：

(5).旋转冷冻spin-freezing：

(6).真空旋转冷冻vacuumspin-freezing：

(7).喷雾冷冻sprayfreezing：

.气流冷冻airblastfreezing：

3-2冷冻速率rateoffreezing：

3-3冷冻物料frozenmaterial：

3-4冰核icecore：

3-5枯燥物料外壳envelopeofdriedmatter：

3-6升华外表sublimationfront：

3-7融化位置freezerburn：

4.真空枯燥设备；真空冷冻枯燥设备

4-1真空枯燥设备和真空冷冻枯燥设备vacuumdryingplantandvacuumfreezedryingplant：

4-2真空枯燥器和冷冻枯燥器vacuumdryingchamberandfreezedryingchamber：

4-3加热外表heatingsurface：

4-4物品装载面shelf：

4-5枯燥器的处理能力throughput(ofthevacuumdryingchamber)：

4-6单位面积枯燥器处理能力throughputpershelfarea：

4-7冰冷凝器icecondenser：

4-8冰冷凝器的负载loadoftheicecondenser：

4-9冰冷凝器的额定负载ratedloadoftheicecondenser

8.

1.一般术语

1-1试样sample：

(1).外表层surfacelayer：

(2).真实外表truesurface：

(3).有效外表积effectivesurfacearea：

(4).宏观外表；几何外表macroscopicsurfacearea;geometricsurfacearea：

(5).外表粒子密度surfaceparticledensity：

(6).单分子层monolayer：

(7).外表单分子层粒子密度monolayerdensity：

.覆盖系数coverageratio：

1-2激发e*citation：

(1).一次粒子primaryparticle：

(2).一次粒子通量primaryparticleflu*：

(3).一次粒子通量密度densityofprimaryparticleflu*：

(4).一次粒子负荷primaryparticleload：

(5).一次粒子积分负荷integralloadofprimaryparticle：

(6).一次粒子的入射能量energyoftheincidentprimaryparticle：

(7).激发体积e*citedvolume：

.激发面积e*citedarea：

(9).激发深度e*citeddeath：

(10).二次粒子secondaryparticles：

(11).二次粒子通量secondaryparticleflu*：

(12).二次粒子发射能energyoftheemittedsecondaryparticles：

(13).发射体积emittingvolume：

(14).发射面积emittingarea：

(15).发射深度emittingdepth：

(16).信息深度informationdepth：

(17).平均信息深度meaninformationdepth：

1-3入射角angleofincidence：

1-4发射角angleofemission：

1-5观测角observation：

1-6分析外表积analyzedsurfacearea：

1-7产额yield：

1-8外表层微小损伤分析minimumdamagesurfaceanalysis：

1-9外表层无损伤分析non-destructivesurfaceanalysis：

1-10断面深度分析profileanalysisindepth;depthprofileanalysis：

1-11可观测面积observablearea：

1-12可观测立体角observablesolidangle：

1-13承受立体角；观测立体角angleofacceptance：

1-14角分辨能力angularresolvingpower：

1-15发光度luminosity：

1-16二次粒子探测比detectionratioofsecondaryparticles：

1-17外表分析仪的探测极限detectionlimitofanapparatusforsurfaceanalysis：

1-18外表层分析仪灵敏度sensitivityofanapparatusforsurfaceanalysis：

1-19外表层分析仪质量分辨能力massresolvingpowerofanapparatusforsurfaceanalysis：

1-20外表层分析仪能量分辨能力energyresolvingpowerofanapparatusforsurfaceanalysis：

1-21本底压力basepressure：

1-22工作压力workingpressure：

2.分析方法

2-1二次离子质谱术；SIMSsecondaryionmassspectros