如何向划片去离子水加CO2

-.z.如何向划片去离子水加CO2我们用DAD321划片，最近有些品种的芯片划片时清洗不干净，因此想加CO2试试。请问如何加？加多少？哪里有这样的设备？加ＣＯ２主要是防ＥＳＤ的,另外３００－５００的设置太小了，酸性太高了，小心切割的时候遇到Ｏ化物比拟多，并且无保护层的产品，ＰＡＤ会腐蚀加co2只能是防静电，和清洗没关系的，看看你们的DIwater有没有问题，还有水流量大小。首先确保所用的纯水质量,一般要求除掉盐分制成电阻率16M以上的水，要求高的需要18M以上，不含任何杂质的理论纯水电阻率在18.24M。水主要靠溶解在水中的盐离子导电，水越纯电阻率越高，导电性越差，高速冲击下越容易产生静电。静电对于芯片加工的危害主要表现在两方面：1是静电直接放电损伤芯片,静电积累放电造成放电氧化或击穿;2是硅屑等微粒产生静电吸附造成芯片外表不容易清洗干净。

CO2参加纯水可降低纯水电阻率，防止静电产生。烘干后，CO2变成气体挥发掉，芯片外表保持纯洁,但是CO2过量参加水中会产生酸性腐蚀，影响刀片寿命，因此必须严格控制CO2的参加量。

一般切片过程，将水电阻率控制在0.5-1M，低于0.4容易腐蚀刀片，同时注意0.5的用气量是1.0的5倍,清洗时控制在0.2-0.5M。所以如何控制电阻率，是在保证效果的情况下尽量高,清洗电阻率通常控制在0.2-0.5，看效果也是电阻率设置越高越省,气纯度99.95以上，几十块一瓶，一般可以用半个月到1个月。2.水温对刀蛮有影响的吧，刀痕会有深浅；还有氧化问题。对沾污可能没有直接关系，搂住的温度和我们差不多，机器速度也差不多，不过水压和我们比好似低了点〔记不清楚了〕。

DIWater和CO2混合使用在DIeSaw制程。主要是降低温度，减少水分子外表力，增加刀片的寿命！

我是Diamaflow产品的销售，它其实和DiWater,CO2一起使用！效果是比拟理想的！纯水高阻抗会引起的静电效应问题！参加CO2，可降低电阻率，同时也

会产生酸性。要根据实际情况来设置DIWater的水阻值！可以有效防止wafer外表硅屑沾污＋ＣＯ２主要是为了产品不受到或者少受到静电影响其他也没什么大的作用，，其实不加也没什么问题，做好工作台接地，设备接地，人员ＥＳＤ防护装备等，对现在中国加工的９０％以上的产品没有任何影响，，

加大水压水流量调整好设备切割喷水角度．控制切割水温度．才是最好最省钱最直接的解决切割的纯水电阻值多少才适宜请教大家切割的纯水电阻值多少才适宜,是越大越好吗.我司的纯水电阻值到达14兆了，对晶圆切割和刀片有不良影响吗.近期切割的园片有氧化现象,跟水的电阻值有关吗,还与什么有关"产生氧化的原因可能是晶片上的水分没吹干净，不知道你们无尘车间的湿温管控如何？纯水电阻国家标准是不低于10MΩ。有一些弱酸性，接近中性。

是普通水通过一系列渗透后制成，目的是去除水中的金属离子等杂质。一般切割的纯水要求〉10〔在未参加co2)的结果，参加co2后才能去切割，阻值在左右为比拟适宜，你反映的问题有可能是在切割过程中，水量缺乏，导致硅粉沉积在铝垫上的结果，加上清洗机的清洗效果不好，所以检查为氧化的问题，所以应该检查的问题较多，应该每一步骤进展分析及追查我们切割的产品现在有时有轻微氧化,在水质4兆多是没氧化,在水质到达8兆多时又有氧化,切割时间也才20分钟啊,片厚500um.氧化的问题真的烦人啊,难道真的是与水有关吗.但问过搞品质的又说应是wafer在流线时没弄干净.有的公司会用到发泡机,就是在diesaw前往DIwater中混入二氧化碳,以降低水阻值.

未参加二氧化碳的DIwater一般要求水阻值大于10M欧姆,参加二氧化碳后的DIwater水阻值一般要求在0.1--1.0M欧姆.水处理常见问题集水处理常见问题集

水处理中经常碰到一些问题，稍不留心又忽略，下面小弟特把这些问题收集整理，以供有兴趣的你学习。

什么是水的硬度"

水中有些金属阳离子，同一些阴离子结合在一起，在水被加热的过程中，由于蒸发浓缩，容易形成水垢，附着在受热面上而影响热传导，我们抒水中这些金属离子的总浓度称为水的硬度。如在天然水中最常见的金属离子是钙离子〔Ca²+〕和镁离子〔Mg²+〕，它与水中的阴离子如碳酸根离子〔CO3²-〕、碳酸氢根离子〔HCO3-〕、硫酸根离子〔SO4²-〕、氯离子〔CL-〕、以及硝酸根离子〔NO3-〕等结合在一起，形成钙镁的碳酸盐、碳酸氢盐、硫酸盐、氯化物、以及硝酸盐等硬度。水中的铁、锰、钭等金属离子也会形成硬度，但由于它们在天然水中的含量很少，可以略去不计。因此，通常就把Ca²+、Mg²+的总浓度看作水的硬度。水的硬度对锅炉用水的影响很大，因此，应根据各种不同参数的锅炉对水质的要求对水进展软化或除盐处理。水的硬度有哪几种？

水的硬度分为碳酸盐硬度和非碳酸盐硬度两种。

碳酸盐硬度

主要是由钙、镁的碳酸氢盐[Ca(HCO3)2、Mg(HCO3)2]所形成的硬度，还有

少量的碳酸盐硬度。碳酸氢盐硬度经加热之后分解成沉淀物从水中除去，故亦称为暂时硬度。

非碳酸盐硬度

主要是由钙镁的硫酸盐、氯化物和硝酸盐等盐类所形成的硬度。这类硬度不能用加热分解的方法除去，故也称为永久硬度，如CaSO4、MgSO4、CaCl2、MgCl2、Ca(NO3)2、Mg(NO3)2等。

碳酸盐硬度和非碳酸盐硬度之和称为总硬度。

水中Ca²+的含量称为钙硬度。

水中Mg²+的含量称为镁硬度。

当水的总硬度小于总碱度时，它们之差，称为负硬度。

什么是半逆流再生"

半逆流再生是四床五塔式除盐系统，离子交换处理的工艺流程为：阳床-脱碳-阴床-阳床-阴床。阴、阳树脂均为强碱、强酸性交换树脂。第一台阳床及阴床装有较多的树脂，可根本上除去所有的离子；第二台阳床及阴床的树脂较少，起精制作用。再生时，酸、碱再生液分别先进入第二台阴、阳床，再串联至第一台的阴、阳床进展再生。各台交换器均采用顺流再生，操作较简便。此法具有分层再生的意思，由于树脂失效时，其型态排列阳床为：Ca型-Mg型-Na型-H型，当再生时按其反方向进展，即H型-Na型-Mg型-Ca型，这样的再生效率较高，因为H置换出Na，又可以继而置换出Ca、Mg。因此，大大减轻屯由H来置换的负担，取得了逆流再生相似的效益，故称为半逆流再生。此法适用于含盐量较高的除盐水处理。便投资较大，设备较多。

何谓离子水"

何谓离子水？安康离子水即电解复原碱性离子水的简称.它是适合人体机能的最正确饮用水，它能帮助排除人体的各种有害毒素，中和体的酸性物质，调节人体的酸碱度，使之维持在弱碱性的安康体质，从而可以预防各类疾病的产生，保障人体的安康，活力，长寿，离子水的根本原理是：自来水通过高品质的过滤系统，去除水中的氯，有害菌类及铁锈等杂质，再经过电解生成碱性离子水和酸性离子水，并把大水分子团分割成小水分子团，增强了水的活性、渗透力及溶解力。何谓水的电阻率"

在测定水的导电性时，与水的电阻值大小有关，电阻值大，导电性能差，电阻值小，导电性能就良好。根据欧姆定律，在水温一定的情况下，水的电阻值R大小与电极的垂直截面积F成反比，与电极之间的距离L成正比，如下式：R=ρ•L/F式中ρ--电阻率，或称比电阴。电阴的单位为欧姆〔欧，代号Ω〕，或用微欧〔μΩ〕，1Ω等于1000000μΩ；电阻率的国际制〔SI〕单位为欧米〔Ω•m〕。如果电极的截面积F做成1cm²，两电极间的距离L为1cm，则电阻值就等于电阻率。水的电阻率的大小，与水中含盐量的大小、水中离子浓度、离子的电荷数以及离子的运动速度有关。因此，纯洁的水电阻率很大，超纯水电阻率就更大。水越纯，电阻率越大。

什么是水中的悬浮物质？

水中的悬浮物质是颗粒直径约在0.0001mm以上的颗粒。肉眼可见。这些微粒主要是由泥沙、沾土、原生动物、藻类、细菌、病毒、以及高分子有机物等组成，常常悬浮在水流之中，水产生的浑蚀现象，也都是由此类物质所造成。这些微粒很不稳定，可以通过沉淀和过滤而除去。水在静置的时候，重的微粒〔主要是砂子和粘土一类的无机物质〕会沉下来。轻的微粒〔主要是动植物及其残骸的一类有机化合物〕会浮于水面上，用过滤等别离方法可以除去。悬浮物是造成浊度、色度、气味的主要来源。它们在水中也不稳定，往往随着季节、地区的不同而变化。

什么是水中的胶体物质？

水中的胶体物质是指直径在0.0001-0.000001mm之间的微粒。胶体是许多分子和离子集合物。天然水中的元机矿物质胶体主要是铁、铝和硅的化合物。水中的有机胶体物质主要是植物或动物的肢体腐烂和分解而生成的腐殖物。其中以湖泊水中的腐殖质含量最多，因此常常使水呈黄绿色或褐色。

由于胶体物质的微粒小，重量轻，单位体积所具有的外表积很大，故其外表具有较大的吸附能力，常常吸附着多量的离子而带电。同类胶体因带有同性的电荷而相互排斥，它胶在水中不能相互粘合而处于稳定状态。所以，胶体颗粒不能藉重力自行沉降而去除，一般是在水中参加药剂破坏其稳定，使胶体颗粒增大而沉降予以去除。什么是水中的溶解物质？

水的溶解物质是直径小于或等于0.000001mm的微小颗粒。主要是溶于水中的以低分子存在的溶解盐类的各种离子和气体。溶解物质可以用离子交换或除盐等方法予以去除。

水中的有机物质是指什么？

水中的有机物质主要是指腐殖酸和富里酸的聚羧酸化合物、生活污水和工业废水的污染物。其中前者多官能团芳香族类大分子的弱性有机酸，占水中溶解的有机物质95%以上。腐殖物质是水生物一类的生命活动过程的产物。生活污水主要是人体排泄物和垃圾废物。各种工业废水中的有机物有动植物纤维、油脂、糖类、染料、有机酸、各种有机合成的工业制品、有机原料等。这些有机物污染着水体，并使水质恶化。有机物对水体有什么危害？

水在的有机有个共同特点，就是要进展生物氧化分解，需要消耗水中的溶解氧，而导致水中缺氧。同时会发生腐败发酵，使细菌滋长，恶化水质，破坏水体；工业用水的有机污染，还会降低产品的质量。有机物质是引起水体污染的主要原因之一。

什么是水的总固体、溶解固体和悬浮固体？

水中除了溶解气体之外的一切杂质称为固体。而水中的固体又可分为溶解固体和悬浮固体。这二者的总和即称为水的总固体。溶解固体是指水经过过滤之后，那些仍然溶于水中的各种无机盐类、有机物等。悬浮固体是指那些不溶于水中的泥砂、粘土、有机物、微生物等悬浮物质。总固体的测定是蒸干水分再称重得到的。因此选定蒸干的温度有很大的关系，一般规定控制在105-110℃。

水的含盐量〔也称矿化度〕是表示水中所含盐类的数量。由于水中各种盐类一般均以离子的形式存在，所以含盐量也可以表示为水中各种阳离子的量和阴离子的量的和。

水的含盐量与溶解固体的含义有所不同，因为溶解固体不仅包括水中的溶解盐类，还包括有机物质。同时，水的含盐量与总固体的含义也有所不同，因为总因休不仅包括溶解固体，还包括不溶解于水的悬浮固体。所以，溶解固体和总固体在数量上都要比含盐量高。但是在不很严格的情况下，当水比拟清净时，水中的有机物质含量比拟少，有时候也用溶解固体的含量来近似地表示水中的含盐量。当水特别清净的时候，悬浮固体的含量也比拟少〔如地下水〕，因此有时也可以用总固体的含量来似表示水中的含盐量。

什么叫渗析？什么叫电渗析？

渗析是属于一种自然发生的物理现象。如将两种不同含盐量的水，用一渗透膜隔开，就会发生含盐量大的水的电介质离子穿过膜向含盐量小的水中扩散，这个现象就是渗析。这种渗析是由于含盐量浓度不同而引起的，称为浓差渗析。渗析过程与浓度差的大小有关，浓差越大，参析的过程越快，否则就越慢。因为是以浓差作为推动力的，因此，扩散速度始终是比拟慢的。如果要加快这个速度，就可以在膜的两边施加一直流电场。电解质离子在电场的作用下，会迅速地通过膜，进展迁移过程，这就称为电渗析。渗析膜是用高分子材料制成的一种薄膜，上面有离子交换活性基团。膜含有酸性活性基团的称为阳膜；如有碱性活性基团的称阴膜。从膜的构造上分，又可分为异相膜、均相膜、半均相膜三种。什么是水的浑浊度？

由于水中含有悬浮及胶体状态的微粒，使得原来无色透明的水产生浑浊现象，其浑浊的程度称为浑浊度。浑浊度的单位是用度来表示的，就是相当于1L的水中含有1mg.的SiO2〔或是非曲直mg白土、硅藻土〕时，所产生的浑浊程度为1度，或称杰克逊。浊度单位为JTU，1JTU=1mg/L的白土悬浮体。现代仪器显示的浊度是散射浊度单位NTU，也称TU。１TU＝１JTU。最近，国际上认为，以乌洛托品－硫酸肼配制浊度标准重现性较好，选作各国统一标准FTU。１FTU＝１JTU。浑浊度是一种光学效应，是光线透过水层时受到阻碍的程度表示水层对于光线散射和吸收的能力。它不仅与悬浮物的含量有关，而且还与水中杂质的成分、颗粒大小、形状及其外表的反射性能有关。控制浑浊度是工业水处理的一个重要容，也是一项重要的水质指标。根据水的不同用途，对浑浊度有不同的要求，生活饮用水的浑浊度不得超过５度；要求循环冷却水处理的补充水浑浊度在２～５度；除盐水处理的进水〔原水〕浑浊度应小于３度；制造人造纤维要求水的浑浊度低于0.3度。由于构成浑浊度的悬浮及胶体微粒一般