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文档简介

—— 1 1 1 1 1数字电压源表 2 3 32.薄膜方块电阻 3 5 52.测试线连接方式 5 64.探针接触方式 85.数据测试指南 8第4章注意事项 I—本说明书主要介绍用四探针法测试薄膜方块电阻及电阻率的原理及具体操作方法。2.应用范围测量参数：方块电阻，电阻率测量样品：均匀薄膜，均匀薄片方块电阻测试范围：0.01Ω~500MΩ-5Ω∙cm～103Ω∙cm样品大小：直径>1cm3.测试设备广州四探针有限公司RTS-2型机械游移率:≤0.3%;探针：碳化钨或高速钢材质，探针直径Ф0.5mm；相对湿度：≤65%;—KEITHLEY2400高压源表测量范围：可选高电压（1100V）或大电流（3A）源/测量（A）KEITHLEY2400通用型源表,最大可测量200V的电流和1A的电流，输出功率20W.设计用于高速直流参数测度1100V,20Wto1000W可程控电流驱动和电压测量钳位的6位线电阻测量内置快速失败/通过测试比较器可选接触式检查功能数字I/O提供快速分选与机械手连接GPIB,RS-232,和触发式连接面板—第2章原理简述通以电流I(mA)，2、3探针间就产生一定的电压V(mV)(如图1)。测量此电压并根据测量方式和样品的尺寸不同，可分别按以下公式计算样品的电阻率、方块电阻、电阻：VVFigure2-线四探针法测试原理图Fsp—探针间距修正系数(四探针头合格证上的F值)；R—源表测量电阻值，单位Ω;2.薄膜方块电阻—Fsp—探针间距修正系数(四探针头合格证上的F值)；R—源表测量电阻值，单位Ω;—第3章操作方法电阻测量采用KEITHLEY2400高压源表测量，参照4探针测试原理，源表设置应采用42.测试线连接方式——Figure3-4先按►键，选中SENSE-MODE模式，按ENTER键。—4.探针接触方式变化而改变，因而测试前要依据具体的测试材料而适当的改变探针压力。5.数据测试指南待测试线连接无误，源表设置完成，探针加到样品表面后，可以开始测量电阻。样品电阻率范围样品电阻率范围(Ω∙cm）<0.010.01-130-1000通过样品电流<1mA<100μA<10μA—将测试得到的电阻，膜厚代入以下公式即可算出电阻率和方块电阻。），-4，

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