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文档简介

半导体生产与洁净度太阳电池材料与生产基础微电子的发展史-集成电路的发展1、1904年和1906年真空二极管和真空三极管的问世;2、1950年世界上第一个结型晶体管诞生;3、1958年世界上第一块集成电路研制成功;4、日本公司将集成电路从军事用途带入民用领域。1工9棋5贼1泉年绢在衔贝造尔傻实棕验遇室卵诞奇生散;6结0洽年套代猫用肿于黎航凶天晌领召域炎,厘转缺换讲效第率昨为味1恰0饥%古;7辽0渴年其代首技王术业迅贝速废发氏展茧,碗使起用剃于弃民蛮用袍领拐域瓜;句转驴换拌效漫率瓜为悼2纱0丈%扇;9卫0泼年赖代是在燥规贸模舟生椅产踢,划效煤率膜不敬断助提护高尺;遮销养售负量婶以耀每傍年成2剩5糖%析的滔速挡度恢递政增薪。微树电泊子屠的袖发己展务史绿-太透阳卖能务电病池安的枪发练展半州导屋体锄基锤本宿知唉识定岸义导湿体宇:锣能姿导贿电售的殿物符体丝式;焦(孔如握:锁银栏、垄铜贝、害铝恋等誉)绝史缘均体甘:究不薯容卫易庸导缝电梳的捧物番体弱;孔(链如某:轨橡踩皮群、植塑处料炊、躬玻栏璃姻等膝)半要导隆体蚀:招导给电还性弦能伯介延于莫导娘体企和钥绝胞缘材体惩之晌间击的娱物走体柴。扫(举如乓:晶锗录、叉硅长、散硒闹等纤)半售导课体援的叉特振性有颤两欲种蒸载秆流弱子板—绑—盾电连子挖和律空光穴酒。旧纯正净档的僵(倦不兼含棒杂格质狂)中的潮半斗导处体领(延称贺本井征蝇半毫导把体南)狐中逮有数一亿个练电乡丰子伪就行必洽然捆有扒一疲个年空能穴鞠。如即辰电程子岁和达空闭穴斜的萄数腿量规相挽等缺。电子空穴本征半导体示意图半丧导抛体塘的买导居电沸性与验导港体己和紫绝把缘肆体洋不翁同罩,剖半尼导像体历的潜导绍电羡性叉能间受陆温悟度绒的顽影御响斧很形大病。当恋温根度校升明级黑1键℃聪时鸽,螺它狸的秩电拿导无率自就退要企增旗加构百擦分太之为几锡到卷百陵分沫之被十猪几按,晚这鸣是奔由研于材半闸导冈体键中剃的凡本度征萝载础流反子贸随争温贤度鸦升斤高魂而旗增斤加猾的恭缘遵故生。蝴而惨导池体摧和橡绝迈缘竹体待的叉电翁导忧率先随底温射度协的读变病化稳却储很评小帮。N奥型步半歇导妖体掺回入纵杂托质谋锑甩(威或疫磷窗、敢砷著之播类芦)瓣:装新热产重生针的青电桶子糖数框量公远膛远辛超膏过跨原罢来控未煤掺军入炸杂与质扩前贺的触电架子劣或刺空耻穴若的窝数桶量未。屋电箩子帅的周数红目剪以限压六倒递多妇数准超鼠过头空奇穴割,惩导孝电携作曾用熊主盏要华由熊电让子城来遮决天定贤,嘉电鹿子刮称毕为辞“壁多衬数尚载塘流缸子炒,骡空哑穴迈称遣“黑少钞数课载裂流批子张”疫。岩这映种及类寄型贷半昏导壁体劈燕叫撤电肝子售型灭半此导摘体粪,促简大称考n算型卸半躺导象体南。电子空穴n型半导体示意图P尾型色半诱导资体掺脂入餐杂估质煮铟腊(沿或兰铝腐、借硼周之司类弯)要:数这既块跃半敢导扮体吹中时会诵产修生傻许筋多命新织的屡电混子脸和济空霉穴妹。头空渣穴佛的乒数祸目宪以敌压馅倒拾多姑数掉超棕过持电芝子抱,丽导尿电必作济用尘主能要贤由喷空百穴叨来赴决饰定变,络空畅穴戒是史多奏数掉载怖流般子恋,京电飘子折是圆少迹数遇载巩流策子头。彼这秃种永类敌型挥半倍导露体筑叫悼空惕穴升型有半左导表体则,投简杂称丘p抗型晌半贤导谎体梨。电子空穴p型半导体示意图N丝式型狐半响导辱体愁的工症作司原损理n雕型征半捏导浆体变的屡多假数祸载挨流脆子者—塑—宗电鬼子缺在集电把场贯作句用斤下生向忌外畜加庆电纲压钢的财“郑正奇端尖”齐移酸动虽,别而终少薪数绘载捕流陈子惰—辱—梁空尊穴桃在坦电拒场延作总用喝下肾向寄外董加轻电古压既的绢“麻负庙端坡”群移轿动抵,怖在毒半荒导闹体询内后构可成脊电伸流浮。在电每流故方丧向省与允带勤负冬电取的盒电晒子覆运周动育方药向泽相辆反密。n型半导体空穴移动方向电子移动方向电流方向P生型领半谦导遵体亲的工傲作冈原仔理p结型侨半馒导浓体沈的躁多统数裂载扩流泊子溜—爱—炉空赵穴虽在倦电健场舌作面用浪下粥向勒外明加飞电组压纳的码“槐负肢端萝”夹移扑动桶,撑而围少悼数鹿载岭流担子寒—咳—逝电价子巾在聚电泪场控作匠用评下桨向搁外挂加拣电笔压欲的零“习正聚端训”磨移浮动戚,泄在终半免导滋体膜内相构阴成象电愁流伯。湾电射流名方条向剃与齿带汇正艺电倦的抚空盐穴惕运榴动袭方渗向只相志同佩。p型半导体电子移动方向空穴移动方向电流方向二速、速P革-手N遭结京的任单持向坦导腹电壤性由坡于席两胳边描空核穴耕和拐电绵子蔬数贼量惕分借布捡的弓不教均柜匀抗:n杨型肠区浮域神中泄邻尝近天p持型姥区隙域烂一锯边坊的梨薄喂层咳A贝中梨就量有缸一电部帮分动电什子轻扩魂散谁到寺p铜区闭。锤薄料层个A巧失乞去齿了店一淘些度电败子旨,世带捡正尚电孙。晕如派图和(梅a舍)pn++++++薄层A(a)电子由n区扩散到p区载流子在半导体中的扩散p狠型遥区咸域泪中坦邻熄近胀n揪型攻区两域俊一虽边饲的臂薄危层臣b辱中届就侮有利一纸部健分更空龄穴仓扩谊散涌到径n浊区至。漏薄疼层充B仅失雹去慎了社一蜂些衬空角穴税,乞带茫负够电办。雄如蕉图批(抓b州)pn------薄层B(b)空穴由p区扩散到n区载流子在半导体中的扩散由限于蔬空旗穴说和验电偿子丢的斯扩宁散算,温使裤薄腹层龙A纷带昏正讯电宋,贞而井薄机层农B辰带辰负准电洋,晴因丙此倾在琴薄托层昆A贡、躁B耻间冈产恼生畜一乳个住电印场鲜,衬如窝下乓图稼。暗这陈个共电链场贫的纵方槽向魄是报由两n移区雪指墙向吐p蜘区央。优这画个销电哗场胳会新阻段止亩电缎子耐继障续遣往锹p收区握扩享散叮也陪阻害止秒空缩慧穴稍继命续鹅往炎n汽区搁扩奇散抽,溉但减是旱刚杰开广始搁电且子午和通空茄穴辩的锅扩隙散影占酸优炊势平。丈随历着咸电抵子倦和否空炭穴绍的轨不顷断蝴扩爆散旦,欧n圾区朱和踪蝶p亡区猛失谁去突的摘电弦子桶和忠空浅穴厕越球来推越处多摆,歪薄泻层苹A闲和淘B键越躁来抢越贷厚谜,滩形暖成姓的吉电仆场监的螺作勤用浸越愈来熊越安强痕。浇最们后罢,维电躺场孝的痰作赌完情全化抵适消促了哥扩梁散末,的达肝到稿了最动丽态嘉平病衡片状爆态耽。薄帅层页A纪和宵薄锡层理B原称峰为导“捷p已n劲结厚”吸,案又霉称性“搅阻荷挡厚层联”若,庙厚滥度历大逐约升为俭1挺0痰-传4崇~缘瑞1怀0汤-对5境c胃m握。BApn+++++++-------pn结电场方向电子和空穴扩散在pn交界处产生的电场实糟验霸:贝在厘p雅n津结垮两质端造接窜上钞电筝池典,服电男池义正巷极璃接洁p天型图半泽导踪蝶体巩,臣负勿极叛接德n锦型伟半薄导券体核,胖如多图张(秋a富)案,脊电阀流旨表细有句读饺数妨。浮电愧池浓正窝极聋接惧n呼型见半护导耽体币,摧负枝极添接门p星型重半相导雾体叹,村如登图坝(缩慧b姿)铃,员电腿流俭表寻的糕读想数铃接释近享零掠。结绪论坐:抚p康n症结膜具点有被只附让俯电啊流案从汉一弹个额方革向宋通贝过幻玉的暑单畅向轰导忆通疑性板。pn电流方向i(a)pn(b)pn结加压的实验分宜析址之床一郑外余加肥正白向望电绒压当脏p笔n罚结共正则向牢连帝接肆时扒,循即普p京区傍接哀电仪池丙正佣极猴,穗n金区色接吴电扶池天负省极完,激这孟时搞外末加茫电欺压勺在祖p兼n棍结辜中伴产滴生革的升电呢场蹲方黄向牛是架由吉p此区患指脂向伟n方区凉的区,科恰昏好油与砍p润n蓄结纲原处来瓣形大成佳的计电肤场饭方碗向妖相快反籍。pn++++++------pn结电场方向外加电场方向对pn结的影响外加正向电压产生的电场方向正向电流很大(a)外加正向电压时阻挡层变薄空穴移动方向电子移动方向+—分陷析怠之虑二粮-肯外末加提反息向宾电品压当竟p稠n讨结絮反秋向毒连厌接前时详,领即谢p摄区咐接絮电漏池蹄负雀极缠,痛n疮区霞接暗电茅池己正虫极杜,遗这制时碑外艺加董电哈压敏在院p积n齐结朗中搅产伞生反的坚电步场漂方器向垮是欣由炸n富区洽指木向容p藏区吵的帖,固恰蒙好院与仔p眯n身结准原斑来悦形底成撑的凯电列场链方励向维一纸致僚。因够此宫,绸p勉n睬结播中厚原奶来考的饿电赞场暗被波削兄弱床了括,洪阻榆挡弓层怖厚真度拌减睡少掠了泡。贼P国区剑的区空悄穴啄n绣区脚的拜电烟子彻在浅这稠个柳外院加击电碗场更作姓用竹下惊不迈不黄断躁走当向词交顽界今处偷。绿空浅穴谁由目左闪方邻向烈流踢向另右厘方锻和尿电回子弊由贯右义方长流瓶左泊方厘都到相铲当斥于拼电测流涨由战左读方脉流矮向罗右尖方皱。千由鸽于足p致区披空椒穴军很镇多必,椒n揪区侵电鼓子哭很扮多兵,缴这它股浙电伤流桐很例大文,武这声就神是垫正遗向僚连荐接戏时立出棍现袜大光电阴流字的视原崇因蒙。均外俊加助正魄向拍电熊压绢越订大岗,注在姜p葱n唯结燃中乌外衰加陶电馒场侧的落作事用兔就瓦越悟强株,展更笛进安一歪步王削古弱盏原饲来殖p察n田结压的圾电翻场应,碗所忽以屋电姿流蝇更录要兔增幅加笋。pn外加电场方向对pn结的影响(b)外加反向电压时阻挡层变厚++++++------pn结电场方向外加反向电压产生的电场方向反向电流很小空穴移动电子移动+—因异此洪,绣p划n掉结烧中病原访来率的较电差场捏被末加素强炎了灰,角阻丑挡臣层纵厚宰度左增恢加肆了轨。且n斑区饼中赖的梨多地数械载罚流昆子畏—仔—灯电滔子慈和存p所区慕中蒜的舒多溪数飘载矮流闷子般—孟—株空初穴烦很热难晌能耳过蹦p鲁n士结贼向锯对扬方拨移厅动盼,童这丘就略是他反玩向蔬连侍接件时壤电膜流淡极扯小移的蔬原汗因那。咬但像是挺,厌这童时分p嫌区宿中些的务少忠数滥载证流吩子私—翅—港电肾子平和酬n庄区设中环的哑少抄数列载消流料子填—嘉—床空盟穴筝在性反单向两电辞场痰帮剖助森向产交瞒界粗移贡动逐,省电感子深由陪左伐方所流贩向跟右抽方刃和牢空恐穴潜由榴右菠方京流住向漠左项方惩形炭成另反罪向粥电天流睁,漆但累由完于控少护数茶载务流罪子淋数肠量塞很薄少检,洗反境向躁电促流庙是奶很悟小慕的邀。因矛此坚,愈我裁们争可绝以揪把池p信n无结贸看璃成挽是杯电毒流龟通困道蜡上记的驻一腔道蛛开趋关裳,椒接猾上刷正巩向蚂电苹压唇时俯(列即溜p璃型仅半颈导感体验接朝电躺池窜正况极菠,覆n哄型磨半登导赚体屈接蚕电泊池团负衔极糖)现,是开糊关赢打软开此让递电晚流朵通织过腥,斯我陶们承称店此狭时命p邮n抬结点“壁导姜漏卡”膊接纽奉上强反捐向阶电尺压绸时米开趴关怕关弊上桌,捎阻悲止跳电苗流凉通责过灰,训我身们立称梯此忍时妹p洒n誓结池“仿截傅止秃”嚼。殖p郊n升结桑这鬼种盏只胡让浙电泪流听单房诚方岭向惨通馋过番的符性律能蔽称接p迁n隙结话的稀单善向笔导宫电吸性袜。p馒n登结怪的滋“志导煤通予”铸和告“膊截毯止者”亦是邀互蹄相塞矛娘盾美的朵两格个镜方意面触,驱双剥方荐半容争致又薪互牙相部依领存州着跟,驴共珠处首于俭一星个兄统笋一守体情中催,卷这徐两贫个牺对隶立滩的市双抽方要在权一箩定牛外瞎加必电杀压裁的辰条耐件湖下报互沉相叫转成化层。袜当沸外爬加亦电乌压丘极潮性厦改吸变小时福矛公盾正双火方冲各古转膜化拦到妥相尺反蔬的言方铅面肃。太年阳吴能娇电霉池器材箩料成制绳造架(礼以吉多辽晶铁硅浙为近例栗)Si原材料清洗将Si原材料和相应的掺杂源(B)输入石英炉进行熔化Si熔化后对石英炉慢降温,使SI缓慢结晶炉温降至室温时即制得多晶锭将Si锭四周切割去掉,因结晶过程中与石英炉接触形成的杂质层测参数、寿命、电阻率将块状的Si按要求切割成SI砖切割成薄片清洗包装太朵阳吩能咏电搜池价片爱生组产稠工贝艺在流澡程丛图穗(折以咽多按晶长硅狱为稳例什)对Si片(一般为P型掺杂)进行腐蚀以去掉切割过程中在Si片正反两面所形成的损伤层在KOH中以各向异性腐蚀将Si片表面制成增加光吸收的陷光效应的绒面结构将Si片送入高温电炉进行n型磷扩散,以形成所需要的pn结利用等离子体刻蚀去掉Si片的边缘以对电池片正反两面实现电隔离在电池片的正面沉积起减反射和钝化作用的Si3N4膜层利用丝网印刷在电池的背面制备金属铝层及焊接银点。半是导栽体负制命造驶过粒程亡的炭洁荐净奖度弃要汉求综含前枣所勤述挪杂女质汁对疼半瓣导赖体稍的辱特龙性屠有择着院改沈变之或悬破隆坏残其邪性速能元的其作涉用船,迁所烤以叛在飞半振导家体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