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文档简介

1TFT-LCD阵列工艺介绍2主要内容一、TFT-LCD的基本构造二、ARRAY工艺简介三、阵列检查介绍3一篮、T地F价T握-缸L惯C烛D的映基剩本酷构粘造图1混T贫F遣T慕-竞L倦C因D液泻晶蛛显畏示临屏迅的转构欧造4图2液重晶山盒免的蔽构掏造一持、T钢F滴T蔽-纷L学C系D的洋基瞒本税构侦造5二忠、A尺R怀R影A即Y工域艺航介视绍2到.测1阵恩列惜基太板宫的似构落造描和艰功沉能2亿.惹2阵松列言基炮板疑的晓制照造掀原检理2狐.葡3阵侨列泄基盟板辉的哗制挤造亲工削艺页流景程62皮.削1阵关列箭基内板益的领构病造叮和辆功哑能图3帜A齿R坊R秀A鱼Y基贡板耍等概效绸电耻路首图7GateDriverSourceDriver图4A宏r舞r惠a付y面池板信土号塞传滤输再说返明2寺.形1阵疏列倾基未板漆的馋构顶造墓和肢功不能82挤.狂1阵挪列寻基以板塞的屑构闲造迹和捆功伶能图5叨A色R烫R般A败Y基抬板灭的粥构殊造D滋R宜A惕I凑N端摩子T撤F友T部窝分栅奔极船(G早A毁T抵E)漏障极顶(D过R势A吓I攻N)源奇极蜘(S阳O义U停R孙C斗E们)9图6抚T杆F戴T器功件存的寇基已本爱构草造G舰A少T怨EG堆-铺S脑i缝N乱xa小-铁S焦in车+待a虎-病S绍iD澡R盟A贴I捧NS箱O瞧U刊R役C品EP效-枝S慕i窄N裕xI有T谈O像航素割电救极G拴L础A兰S雄S接概触纷孔G工周程I工拥程D工菠程C工辈程P锈I工斤程2而.栗1阵礼列叔基厦板庄的气构忽造译和旧功耻能1急0当V贤g≤V极t边h时I否d聪s原=亚0当V刘g终>酷V纺t年h且V豆d苗s澡<惰V积g孝-狼V茫t主h时I床d奇s松=强(带W电/票L腐)•μC0{槐(茄V旗g老-节V会t聋h顽)的V早d滔s汗-问V炎d炼s2/砍2最}当V腰g门>斩V轮t窜h且V柄d室s吓>喊V扰g学-婶V性t烦h时I秒d蚁s柄=些(雷W屋/轨L始)•μC0(夜V剂g粘-鹅V处t撑h明)2/旁2式梁中屿,V梨t永h伞:阈案值肚电拆压μ:瞧电凑子迈迁眼移济率C0:单留位碎面惕积监栅芝绝咐缘港层走电增容V争gV测dV荷sI社d嚼s2兵.右1阵插列法基判板夸的萌构思造风和厦功芹能1绑12团.净2阵使列园基担板夺的研制慌造辅原敬理A殃R轰R款A袋Y工倘程钟由裕成晕膜挡工平程尤、P洋R工辞程疫和仓刻拴蚀婶工沸程眠反钢复葱进连行4次警或5次捉完储成话。4次饱:4香M晨A均S世K工鲜艺5次室:5宗M逝A锹S屡K工狂艺图7象T展F悬T的口制浴造圈原肉理成膜工程(SPorCVD)PR工程(涂布、曝光、显像)刻蚀工程(DEorWE)PR剥离1形2工艺名称

工艺目的溅射(SPUTTER)成Al膜、Cr膜和ITO膜P-CVD成a-Si膜、n+a-Si膜和SiNx膜PR•曝光形成光刻胶图案湿刻(WE)刻蚀掉未被光刻胶掩蔽的金属膜干刻(DE)刻蚀掉未被光刻胶掩蔽的非金属膜剥离去掉残余的光刻胶2酿.童2阵甲列绩基歼板属的刑制器造陈原锣理表1阵俯列湖各造工桂程腊的间说输明1伸3图8初始放电和自续放电示意图阳极(+)阴极(-)E电子气体离子气体分子初期电子所公谓S驱p刮u温t下t慈e蚕r是颂指北利降用瞒借楼助卡电全场清加步速筝的辰气罩体雁离钉子云对寒靶泻材使的拼轰啄击屋,袭从赔而燃使突成屯膜袄材医料愧从抛靶滚材阻转含移冰到垦基让板您上住的括一评种冤物伶理害成惜膜岗方滑法去。S抽P志U故T介T秋E甘R原讨理2拆.周2阵寇列茅基桥板疑的败制蓬造冻原渠理1罚4P扭C岩V糕D原歪理①电赏子需和岸反宾映蛾气宁体晒分讯子吩碰航撞你,酷产迫生欠大献量春的洪活距性披基搁;②步活违性纸基赌被剂吸宿附刷在菠基骗板谜上汤,慰或询取屋代雕基眯板逗表张面月的H原叛子但;③荐被悲吸龟附则的均原苗子班在哭自掩身鼓动顺能难和沃基债板爸温微度眠的抽作兔用热下地,幕在百基否板芹表捧面让迁股移亿,巷选仍择嗓能影量搞最效低宝的尖点即安芽定作;④汽同严时笋,吓基凤板密上记的凭原探子贝不才断六脱丘离批周欺围澡原智子诸的孩束胜缚传,宰进施入骡等励离风子姨体讲气郑氛犯中颈,纸所窗以盯达炼到兔动宁态汽的舞平址衡资;⑤监不炕断谨的堆补绍充爬原蜘料门气假体震,筛使释原雀子抓沉贿积拒速堵度朗大必于幻玉原磨子彼逃特逸知速闲度扣,犯薄泪膜宪持喷续矛生朽长环。2浩.豆2阵国列需基超板怪的掀制变造酒原坚理图9P拒C独V迅D成夏膜姑示狭意栗图1蚁5P押R•曝条光原耀理Photoresist膜基板Photolithography工程Photoresist涂布曝光显影2丧.桌2阵扒列颈基城板凉的充制荒造映原剩理图1反0P观R工侨程惊示含意大图1肿6曝想光认原委理横倍率台形Mirror凸面Mirror凹面MirrorX非线形Scan光源CCD弧状SlitMaskFlyEye2惊.票2阵膏列拳基千板子的坏制听造诱原只理图1再1曝江光寺原赌理丹示伸意流图1短7湿套刻也原宅理■湿汁刻胀是饭通戏过厉对告象管材你料检(五一并般的为惠金案属宿导惭电钱膜克)纱与筝刻堤蚀轻液践之默间毒的冈化旦学有反汗应症,绪对笨对毒象治材片料静进豆行隙刻旋蚀卧的仗过箩程裕。■端湿叼刻雪的似过穷程刻睁蚀酷液童在纵对之象善物牵质河表吴面浙的州移陆送席阶桶段刻摩蚀蒸过叠程乌中蔬,狐刻秋蚀盼液绣不要断饶被议消既耗岁,史反午应旧生深成累物迁不规断葵生聚成台,饱刻拐蚀冲对缘瑞象忍周米围纱形引成邮浓弦度谅梯渴度猫,丸促后使普新友的永刻耀蚀苹液穷不苹断挺向勒刻粮蚀地对吃象忙输稠送棵,艳并江将趣反敞应悄生逢成赤物站从全其竿表朱面相除蒸去芝,品从困而努使扑新档的遣刻亚蚀戒液棍与格对释象示物跳质骨接瞒触关。刻暴蚀条液质与仆对附象来物但质封的前化狠学予反之应慕阶配段指月的性是闲在物对嗓象雁物嗓质副表祖面胃,堆药夜液和与堂刻墙蚀退对副象犁之明间凳的位化话学羽反勒应凳过假程稼。EtchingUnit水洗Unit干燥Unit2举.建2阵崖列竟基摊板昏的磨制需造殖原辟理图1黑2湿锐刻涛装宏置喂及奖原肺理剑示芝意突图1庭8反说应逗气娱体忧在丝式高砖频沟电握场秃作狼用粘下汪发优生难等抚离臣子挖体叮(P羊L枕A某S拥M示A)飞放挥电湖。等智离斑子观体中与蝴基汤板欺发哥生败作蜂用场将殿没饲有烫被椒光验刻疑胶败掩鞠蔽惠的农薄魔膜晋刻臂蚀烦掉涂。E扰T肢C妨H炒I仗N劳G翼G盏A扭SP科L浙A矿S尚M惑A干态刻乌原撒理2侮.暮2阵摄列贺基饮板鉴的叉制足造姓原瓦理图1增3干钉刻朝原短理教示吨意弹图1拔9光刻胶膜①初期状态②膨润·界面浸透③溶解剥竞离纽奉原榨理:寇刻佳蚀篇(密干祖刻顺、续湿哭刻穗)种完乒成钥后烛除夕去舒光熔刻旗胶作的洞过欠程产。2遥.值2阵幼列烟基润板弟的江制著造救原绵理图1郑4剥黎离季原遇理权示逃意宽图2斗04撞m嫌a押s它kG蓬-搁S治PG晓-踏P众RG宏-狼W斑EG摊-饥P习R剥波离1补s司t女S驰i鲜N哪C敬V堪D三汪层C佣V睛DD浩-众S染PD孤I碑-瘦P迟RD绑1盆-功W漂EI叼/蛙P阿R煤D集ED贫2软-倡W霞EC鹅H财-壮D缸ED馋I绩-边P臣R剥必离P稍A窜-神C投V巷DC屋-绸P逼RC纲-恭D杆EC廉-理P诱R剥跟离P辩I字-吉S幼PP灿I园-杯P雷RP蓄I雪-口W峰EP勤I翠-贿P惭R剥圣离G匪-装S百PG歼-斥P嫂RG桶-功W纠EG喝-菌P切R剥宅离1监s熟t用S躺i命N压-功C爽V外D三蚕层C索V饭DI滥-淘P丛RI缠-贱D织EI宅-辰P燃R剥粥离D展-源S射PD泼-着P团RD肾-时W陵EP叠A无-暗C本V港DC纽奉-笨P班RC姜-婆D耍EC尘-鸽P驳R剥网离P受I类-择S探PP币I州-消P捡RP极I虑-迈W祝EP沃I柳-完P炕R剥勺离C堂H雅-织D矛ED谷-好P浇R剥残离5惕m毅a辰s督k图1腰5站4像m休a阀s菜k和5址m裁a稿s受k工加艺舱流顿程挤图2菌.获3阵纠列孙基师板甩的贵制牲造除工恒艺泰流呈程2乖1三财、排阵勉列郑检妖查茧介幕绍工泄程史检让查粗的策目劣的对妇上羡一钳工辅序店的朋工正艺埋结激果透进郑行元监华测崭,蛛防吃止赛生械产伸线聪上亭不惊符拴合猴工统艺侍管客理脚规辫格绪的闭不耍良缸品器大形量帐产俭生仆。检查项目名称检查装置检查工程显影CheckMMMG-PR、DIPR、C-PR、PIPR剥离外观CheckMMMG-PR、DIPR、C-PR、PIPR尺寸测定SENG-PR、DIPRPR形状测定AFMDIPRCVD后自动外观AOIDIPR自动外观AOIG-PR、DIPR、C-PR、PIPR段差测定DANG-PR、DIPR、C-PR、PIPRELP测定ELPG绝缘膜、DIPR表2槐A做r滔r废a摧y工葱程邀检叶查瓣项志目艇概号况2培2工程微观项目宏观项目G-PR配列精度&预对位精度PR涂敷Mura等G剥离像素异常刻蚀Mura、剥离残留DIPR像素异常Mura有无DI剥离像素异常刻蚀Mura、剥离残留C-PRPattern变换、C/D重合精度PR涂敷Mura等C剥离Pattern变换刻蚀Mura、剥离残留PIPRPattern变换、PI/G重合精度PR涂敷Mura等PI剥离Pattern变换刻蚀Mura、剥离残留检偷查贼装碰置究:幅宏声观/微奸观栏检肌查唉装份置踢(M矩M墙M)3贺.剖1显填影C纳h森e辰c师k患&剥辆离础外冬观C赞h耐e拘c戚k表3显拌影著和吴剥悔离剥外皮观c墓h志e衫c衬k项律目・装床置毒原程理M瘦i廊c模r躲o検训査光陷学系做统X诞,玻Y轴钓可纳以象移别动表进腾行犹目卡视辜观长察。明昨/皇暗视鲁野、透府过照雹明爹、正干滋渉光甘观而察等唯。Lens基板CCDCameraOr接眼目視镜筒Stage透過照明落斜照明3语6图1抓6村M猎i晓c豪r佣o装描置牲示见意贱图2窜3M总a把c领r霞o検舒査移柳动A柳r绸r风a课y基生板核、改硬变照饶明方树式、从鉴不葛同腊的角抱度留目选視门検滩査基阅板。θxYθyXB的a帜c像k宇l鸣i沟g伯h糟t扩散革光收颗束光各种F病i虫l宾t买e牲r等Z轴暗驱尿动(可赚有截多暖种方悼式厦)3咐7图1缝7扯M刻a迎c叶r批o装共置岂示链意示图2风42欢53塌.限2尺涝寸孤测嫁定工程测量项目G-PRPR后光刻胶图形——G线线宽G剥离G剥离后金属图型——G线线宽DIPRPR后光刻胶图形——D线线宽、DI/G重合精度DI剥离DI剥离后图形——D线线宽、沟道长度L表4线腰幅c俊h缺e炸c包k项苹目检令查公装佳置四:崭线吊幅霜测颈定肝装杯置波(S团E技N)测颈定书原鸽理钩:尺自浑动其线晌幅随检圆测费是宵用U喘V光礼照烫射迁基伙板该待第测浪区创域口,暑然痒后西利浮用C鄙C忌D筛C抚a汗m郊e注r众a采秒集细基绕板却上勇的图俘案裤,斑采办集腔到今的狭图刃案唱经敢过钩电筐脑敞进抬行务二采值输化秀处擦理翁(摧所妖谓躺二柿值舒化称即拔将谈图辈案姿转倒化中为袍以醋数悄字0、1表文示的沃黑姜白涨图释案栏,打其矩灰含度虫等灿级贩以2进火制尽数买值党表军示怎)宁。额二吹值眉化抗处充理探后劣基渣板蛙上强各攻膜苦层挽、巡寿各低材性料锐就以变不这同烧的滔灰勺度滨加皮以浸区辛分唤,洒从慕而彩能冷够愉识治别福。2极63帽.榜3祥P液R形指状少测炭定工程测量项目DIPRPR后光刻胶图形——沟道处残膜厚度检体查肢装洲置慌:政原急子捐力输显折微拔镜续(A颈F余M)Gate残膜厚T1.5umChannel长L倾斜角θDrainResist2台73朽.辈4自耐动疲外赶观工程测量项目G-PRGMask起因共通缺陷检查DIPRDIMask起因共通缺陷检查IDEDIMask起因(沟道部分)共通缺陷检查C-PRCMask起因共通缺陷检查PIPRPIMask起因共通缺陷检查检皇查逃装御置西:跟自语动飞外拿观灵测艺定兔装考置叔(A拦O酱I)原疫理抖:本声装烛置通恳过娃对扑基芬板两上窗形之成待的妻图炭案律进尺行挠对独比古检巾查辣,趁检沃测冷出欣制际造追过吗程秤中腥发落生细的杆各软种疗类柿型没的爹缺谊陷械.表5自斥动继外部观c尾h渗e旋c务k项隶目D检F盗l强o僚wD草r泻a铜i鸡n壶E逐t村c必h营i介n婚g剥李离完蚀了・检蜻查結纷果勾例缺妥陷1X贷:4盖2断0筐.进1购1衬5Y惯:2宝2枯3弄.贪7抖6乏5自塑动馒外束观延检词查D竿r令a对i卫n辩E烫t材c锐h响i育n惊g结伪束存后检功查约出遗图匙案偷上板的汇缺径陷自古动预外迟观词检清查L倒a敏s橡e纤rR攀e演p籍a逆i皇r(s时h站o裕r纠t)L能a愧s碍e链rC闹V卧D(O晓p事e谣n)D挂-午DS雅h嫌o馅r炊tDO侍p未e沃n点缺阀陷・D-O脂p肚e胃n82躲8S竿y勒s夸t简e神m距c递o凤n渣t角r体o鞭l预l做e凡rK思e创y怀b职o纲a得r绢dMouseJoystickQ涨u告a抛d告o微p额t来i睬c品sM涝a浙i绢n扁w犯i数n销d挑o曾wR唐e照v位i价e掩w绞w使i盏n哨d扯o妹wC挺o楼m开m勉u侵n显i退c杀a捞t捎i遥o尝n览s奋t菠a现t忙u证s僚w睡i送n僻d样o央wS歉y画s衬t矮e是m麻m催o廊n记i播t幅o宗rI柜m励a初g荒e孟c阅o图m胖p棉u踩t裁e井r8螺b慰i导t抗A互D搂C崭o狭n僵v捞e仗r扛t蓬e映rM控a遇c蹈h莲i蛛n楼e揉c零o亦n武t马r龙o泳l滩l笼e昆r7图1午8艰A仇O温I装裁置吊示姥意缺图2扒9①画究像爱取查得②画揉像处膝理(比辉较)③缺填陷选检渡出L鹊o魂t在N昏o、P恒a慕n罚e舅l狭N精o、趟缺得陷汇坐书标听、S视i薪z奔e、M肯o世d离e.乐.粒.斗.相辛邻P险a踢t旨t烘e技r躁n比红较A塞r棚r挨a丧y监基齿板瓶全毫面扫掠描S冰e侵n鞭s呼o就r确厦定资像体素(仿4向3旺0予、罪1拳5福0窜)a责r辆e男a州3O来r葱i缘瑞g敌i络n93赖03夸13狮.箱5遇E扯L量P测劣定工程测量项目G绝缘膜(G-SiNx)G-SiNx膜厚DIPR(3层CVD后)G-SiNx、a-Si、n+a-Si三层膜厚C-PR(PA-SiNx)PA-SiNx膜厚检押查渐装鹿置蚕:E奖l钥i仓p朋s勺o软m顿e牲t栋e纤r(E唇L寨P)表6膜近厚c啄h洲e待c积k项秀目3腔2检拥测叠原坊理雷:光除线项经叙过置透从明们薄蝇膜保表条面绸进厦行僚反慕射掏时使,厦由皇于静光网线券在隐薄沫膜索上马下巾表摆面刷均晋产双生英反微射蹄,究因摔此希反幅射鸟光怖产床生傍光诉程例差辟Δ(敌图1所翼示活)艘。济当刮入懒射结光涝为腊线段偏安光棒时遭,抵反晃射朗光年为恼椭奏偏冈光际。笔根甲据陡光祖线决反舌射胡前浇后雨偏葬振寸状镇态重的互改陈变环,宇可辟以抖测泻量鸦薄过膜幼的叔光忍学求参脏数柜和忌膜染厚娱,吹这怜种飘方迫法药叫宝做E状l稠l席i革p胡s搭o誓m番e拘t矩r窝y法贵(叼椭拢圆枯偏毅光惠解象析违法颗)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