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欧阳索引创编 欧阳索引创编 2021.02.02欧阳索引创编 2021.02.02一、双氧水+硫酸体系的微蚀液失效的原因：欧阳家百（2021.03.07）双氧水的稳定性（分解）原因：温度的影响：温度升高双氧水分解速度加快（30度）铜离子浓度的升高也使双氧水分解加快：25g/L时双氧水的分解速率加快（20g/L时开始促进双氧水分解）建议:1）控制反应的温度;2）反应时间长了要控制铜离子的浓度;3）添加双氧水的稳定剂（含有极性氢原子功能团的有机化合物,如:羟基-OH、羧基-COOH、磺酸基-SO3H、胺基-NH-）反应液中氯离子（0-）浓度的影响：反应中氯离子对微蚀速率影响很大，随着氯离子的升高，无论采用何种方式均只能维持低微蚀速率，要有效提高微蚀量只好采用微蚀作用时间来达到明显效果。作用的效果为（氯离子，温度，双氧水含量）附注：氯离子在酸性强氧化环境中会生成氯气Cl2Cl2+H2O==（可逆号）Cl-+2H++ClO-当酸性过强的时候,可逆反应转向生成氯气,但所添加的量,不足以挥发出来,还是溶解在水中,但当酸性不足的时候,可逆反应转向,以维持均衡的酸性,保证氧化效果的均匀.但当氯离子过高的时候,转欧阳索引创编 欧阳索引创编 2021.02.02欧阳索引创编 欧阳索引创编 2021.02.02向生成氯气一方,因此微蚀的速度就会降下来,同时还会挥发少量氯气。H2O2+Cl2=O2+2HCl（因为氯气的氧化性强于双氧水）（所以在双氧水体系中，控制氯离子的含量是很重要的）所以氯离子偏高会使双氧水分解。七：异常处理：板面发黑：降低硫酸浓度；2、微蚀深度达不到：化验分析硫酸、双氧水、铜离子；是否硫酸、双氧水浓度过低或铜离子偏高；如果硫酸、双氧水浓度过低可补充硫酸、双氧水达到设定值即可；如果铜离子偏高，排去槽液三分之一补充新液即可；3、如微蚀速率过高，检查温度是否偏高；硫酸、双氧水浓度是否偏高；4、如微蚀速率过低，化验氯离子是否偏高，如偏高需从新更换槽液；二、过硫酸钠体系的问题1、溶液中深度影响蚀刻速率：Na2S2O8+Cu=CuSO4+Na2SO4在硫酸浓度不高的时候，SO2-4的增加有利于与反应中的CU2+结合，反应速率加快；但当H2SO4增加到一定程度时，反应产物中的SO2-4浓度增加过大，抑制了反应的进程。2.硫酸铜含量的影响：铜离子浓度大于25g

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