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文档简介

第七章微米、纳米技术哈尔滨职业技术学院学习目标:

通过本章的学习了解微米、纳米技术的概念,侧重对纳米技术的意义的理解,知悉纳米材料的性质,了解纳米技术的应用。第一节微米技术

微米技术是指在微米级(0.1-100微米)的材料上设计、制造、测量、控制和应用的技术。目前,微米技术的研究与应用涉及以下几个方面:1.微小尺度的设计应用研究微型系统的设计需要形成一整套新的设计理论方法,例如:微动力学、微流体力学、微热力学、微机械学、激光学等。以便解决微型系统设计中的尺寸效应、表面效应、误差效应及材料性能的影响。第七章微米、纳米技术2.微加工技术微加工技术包含超精机械加工、IC工艺、化学腐蚀、能量束加工等诸多方法。在微细加工甚至纳米加工领域,较为成熟的技术是IC工艺硅加工技术、离子束加工、分子束加工、激光束加工以及电化学加工、精密电火花加工等。3.精密测量技术精密测量技术是具有微米及亚微米测量精度的几何量与表面形貌测量技术。目前精密测试技术的一个重要研究对象是微结构的力学性能,如谐振频率、弹性模量、残余应力的测试和微结构的表面形貌及内部结构,如微体缺陷、微裂缝、微沉积微的测试等。第七章微米、纳米技术第七章微米、纳米技术一、概念1.纳米纳米(符号为nm)是长度单位,原称毫微米,就是10^-9米(10亿分之一米),即10^-6毫米(100万分之一毫米)。如同厘米、分米和米一样,是长度的度量单位。相当于4倍原子大小,比单个细菌的长度还要小。第二节纳米技术第七章微米、纳米技术2.纳米技术的概念提出纳米技术的灵感,来自于已故物理学家理查德·费曼1959年所作的一次题为《在底部还有很大空间》的演讲。这位当时在加州理工大学任教的教授向同事们提出了一个新的想法。

从石器时代开始,人类从磨尖箭头到光刻芯片的所有技术,都与一次性地削去或者融合数以亿计的原子以便把物质做成有用的形态有关。费曼质问道,为什么我们不可以从另外一个角度出发,从单个的分子甚至原子开始进行组装,以达到我们的要求?他说:“至少依我看来,物理学的规律不排除一个原子一个原子地制造物品的可能性。”第七章微米、纳米技术3.纳米技术纳米技术(nanotechnology),也称毫微技术,是研究结构尺寸在1纳米至100纳米范围内材料的性质和应用的一种技术。一般包括纳米级(0.1一100nm)的材料、设计、制造,测量、控制和产品的技术。1981年扫描隧道显微镜发明后,诞生了一门以0.1到100纳米长度为研究分子世界,它的最终目标是直接以原子或分子来构造具有特定功能的产品。因此,纳米技术其实就是一种用单个原子、分子射程物质的技术。从迄今为止的研究来看,关于纳米技术分为三种概念:第一种:

是1986年美国科学家德雷克斯勒博士在《创造的机器》一书中提出的分子纳米技术。根据这一概念,可以使

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